Bereik nieuwe niveaus van cryopomp-prestaties
De CTI-Cryogenics On-Board IS XVS 320F Cryopomp zet de traditie van Edwards voort door de meest betrouwbare en best presterende implantatie-cryopompen op de markt te leveren.
De On-Board® 320F XVS cryopomp is ontworpen om de hoogste waterstofpompprestaties te leveren voor een verbeterde procesefficiëntie en doorvoer, en biedt het perfecte antwoord op de uitdagingen van de huidige Ion Implant-toepassingen. De intelligente systeemregeling, geïntegreerd in de cryopomp, zorgt voor een betere proceskwaliteit, vacuümconsistentie en uptime, terwijl het realtime systeeminformatie biedt voor optimale controle van de arraytemperaturen. De vacuümkwaliteit wordt verbeterd door automatische aanpassing aan veranderende thermische/gasbelastingsomstandigheden.
Kenmerken en voordelen
Stabiele vacuümprestaties
- Verminderde variatie in H2-pompsnelheid tussen regeneraties
- Verminderde impact op H2-pompsnelheid door fotolakverontreiniging
- Geoptimaliseerde stabiele arraytemperaturen
Verbeterde vacuümprestaties:
- Hoge H2-pompsnelheid - 15.500 L/S
- Hoge H2-capaciteit – 40 STD-L
Systeemcompatibiliteit:
- On-Board IS Cryopumpsystemen
- IS-1000, IS-2000V, IS-1800 XVS Compressoren
