Opnå nye niveauer af kryopumpeydeevne
CTI-Cryogenics On-Board IS XVS 320F Cryopump fortsætter Edwards’ tradition med at levere de mest pålidelige og højtydende implantat-kryopumper på markedet.
On-Board® 320F XVS-kryopumpen er designet til at levere den højeste brintpumpeydelse med henblik på forbedret procesudbytte og gennemløb, hvilket giver det perfekte svar på nutidens udfordringer i forbindelse med ionimplantatapplikationer. Den intelligente systemstyring, der er integreret i kryopumpen, sikrer bedre proceskvalitet, vakuumkonsistens og oppetid, samtidig med at den leverer systeminformation i realtid til optimal styring af array-temperaturer. Vakuumkvaliteten forbedres ved automatisk tilpasning til skiftende termiske/gasbelastningsforhold.
Egenskaber og fordele
Stabil vakuumydelse:
- Reduceret variation i H2-pumpehastighed mellem regenereringer
- Reduceret indvirkning på H2-pumpehastigheden på grund af fotoresistentforurening
- Optimerede stabile array-temperaturer
Forbedret vakuumydelse:
- Høj H2-pumpehastighed-15.500 l/s
- Høj H2-kapacitet – 40 STD-L
Kompatibilitet:
- Indbyggede IS-kryopumpesystemer
- IS-1000, IS-2000V, IS-1800 XVS kompressorer
