Dosiahnite novú úroveň výkonu kryočerpadla
Kryočerpadlo CTI-Cryogenics On-Board IS XVS 320F zachováva tradíciu spoločnosti Edwards dodávania najspoľahlivejších a najvýkonnejších kryočerpadiel implantátov na trhu.
Kryočerpadlo On-Board® 320F XVS je navrhnuté tak, aby poskytovalo najvyšší výkon čerpania vodíka pre vyššiu výťažnosť a kapacitu procesu, čím ponúka dokonalú odpoveď na výzvy dnešných aplikácií s iónovými implantátmi. Inteligentné riadenie systému integrované v kryogenickom čerpadle zaisťuje lepšiu kvalitu procesu, konzistentnosť vákua a čas prevádzkyschopnosti, pričom poskytuje informácie o systéme v reálnom čase na optimálne riadenie teplôt polí. Kvalita vákua sa zvyšuje automatickou adaptáciou na meniace sa podmienky tepelného/plynového zaťaženia.
Funkcie a výhody
Stabilný podtlakový výkon:
- Znížené kolísanie rýchlosti čerpania H2 medzi regeneráciami
- Znížený vplyv na rýchlosť čerpania H2 vďaka fotorezistentnej kontaminácii
- Optimalizované stabilné teploty polí
Vylepšený podtlakový výkon:
- Vysoká rýchlosť čerpania H2 – 15 500 l/s
- Vysoká kapacita H2 – 40 STD-L
Kompatibilita systému:
- Zabudované systémy kryočerpadiel IS
- Kompresory IS-1000, IS-2000V, IS-1800 XVS
