Osiągnij nowe poziomy wydajności pompy kriogenicznej
Cryopomp CTI-Cryogenics On-Board IS XVS 320F utrzymuje tradycję firmy Edwards, dostarczając najbardziej niezawodne i najlepiej działające cryopompy implantacyjne na rynku.
Kriopompa On-Board® 320F XVS została zaprojektowana, aby zapewnić najwyższą wydajność pompowania wodoru, co przekłada się na poprawę wydajności procesu i przepustowości, oferując idealne rozwiązanie dla wyzwań współczesnych zastosowań w implantacji jonowej. Inteligentne sterowanie systemem zintegrowane w kriopompie gwarantuje lepszą jakość procesu, stabilność próżni oraz czas pracy, jednocześnie dostarczając informacje o systemie w czasie rzeczywistym dla optymalnej kontroli temperatur matryc. Jakość próżni jest poprawiona dzięki automatycznemu dostosowaniu do zmieniających się warunków termicznych i obciążenia gazowego.
Cechy i korzyści
Stabilna wydajność próżni
- Zmniejszona zmienność prędkości pompowania H2 między regeneracjami
- Zmniejszony wpływ zanieczyszczenia fotorezystem na prędkość pompowania H2
- Optymalizowane stabilne temperatury matrycy
Zwiększona wydajność próżniowa:
- Wysoka prędkość pompowania H2 - 15 500 L/s
- Wysoka pojemność H2 – 40 STD-L
Kompatybilność systemu:
- Systemy kriopomp On-Board IS
- Sprężarki IS-1000, IS-2000V, IS-1800 XVS
