Saavuta cryopumpun suorituskyvyn uudet tasot
CTI-Cryogenics On-Board IS XVS 320F -kylmäpumppu jatkaa Edwardsin perinnettä toimittaa markkinoiden luotettavimmat ja parhaiten suoriutuvat implanttikylmäpumput.
On-Board® 320F XVS -kryopumppu on suunniteltu tarjoamaan paras vetyimuteho prosessin tuoton ja läpimenon parantamiseksi, tarjoten täydellisen ratkaisun tämän päivän ionisädeimplanttisovellusten haasteisiin. Kryopumppuun integroitu älykäs järjestelmän ohjaus varmistaa paremman prosessilaadun, vakaan tyhjiön ja käyttöajan, samalla kun se tarjoaa reaaliaikaista järjestelmätietoa optimaaliseen kennoston lämpötilojen hallintaan. Tyhjiön laatua parantaa automaattinen sopeutuminen muuttuviin lämpö- ja kaasukuormitusolosuhteisiin.
Ominaisuudet ja edut
Vakaa tyhjiösuorituskyky
- Vähennetty H2-pumppausnopeuden vaihtelu regenerointien välillä
- Vähentynyt vaikutus H2-pumppausnopeuteen valokovetteen aiheutuvan saastumisen vuoksi
- Optimoidut vakaat kennoston lämpötilat
Parannettu tyhjiösuorituskyky:
- Korkea H2-pumppausnopeus - 15 500 L/S
- Korkea H2-kapasiteetti – 40 STD-L
Järjestelmän yhteensopivuus:
- Paikalla olevat IS-cryopumppujärjestelmät
- IS-1000, IS-2000V, IS-1800 XVS Kompressorit
