Uppnå nya prestandanivåer för kryopumpar
CTI-Cryogenics On-Board IS XVS 320F Cryopump fortsätter Edwards tradition av att leverera de mest tillförlitliga och högpresterande implantatkryopumparna på marknaden.
On-Board® 320F XVS kryopump är konstruerad för att leverera högsta vätgaspumpningsprestanda för förbättrad processavkastning och genomströmning, vilket erbjuder det perfekta svaret på dagens utmaningar inom jonimplantattillämpningar. Den intelligenta systemstyrningen som är integrerad i kryopumpen säkerställer bättre processkvalitet, vakuumkonsistens och drifttid, samtidigt som den tillhandahåller systeminformation i realtid för optimal styrning av matristemperaturer. Vakuumkvaliteten förbättras genom automatisk anpassning till ändrade termiska/gasbelastningsförhållanden.
Egenskaper och fördelar
Stabil vakuumprestanda:
- Minskad variation i H2-pumphastighet mellan regenereringar
- Minskad påverkan på H2-pumphastigheten på grund av fotoresistentförorening
- Optimerade stabila matristemperaturer
Ökad vakuumprestanda:
- Hög H2-pumphastighet-15 500 l/s
- Hög H2-kapacitet – 40 STD-L
Kompatibilitet:
- Inbyggda IS-kryopumpsystem
- Kompressorerna IS-1000, IS-2000V, IS-1800 XVS
