Capai tahap prestasi cryopump yang baru
Pam Cryopump CTI-Cryogenics On-Board IS XVS 320F mengekalkan tradisi Edwards dalam menyediakan cryopump implantasi yang paling boleh dipercayai dan berprestasi terbaik di pasaran.
Cryopump On-Board® 320F XVS direka untuk memberikan prestasi pam hidrogen tertinggi bagi meningkatkan hasil dan kelajuan proses, menawarkan jawapan sempurna kepada cabaran aplikasi Ion Implant hari ini. Kawalan sistem pintar yang terintegrasi dalam cryopump memastikan kualiti proses yang lebih baik, konsistensi vakum, dan masa operasi, sambil menyediakan maklumat sistem masa nyata untuk kawalan optimum suhu susunan. Kualiti vakum dipertingkatkan melalui penyesuaian automatik kepada keadaan beban terma/gas yang berubah.
Ciri-ciri dan manfaat
Prestasi vakum yang stabil
- Pengurangan Variasi Kelajuan Pam H2 antara Penjanaan Semula
- Pengurangan Kesan terhadap Kelajuan Pam H2 disebabkan oleh Pencemaran Photoresist
- Suhu tatasusunan stabil yang dioptimumkan
Prestasi vakum yang dipertingkatkan:
- Kelajuan Pam H2 Tinggi-15,500 L/S
- Kapasiti H2 Tinggi – 40 STD-L
Keserasian sistem:
- Sistem Cryopump IS Dalam Kapal
- Pemampat IS-1000, IS-2000V, IS-1800 XVS
