Dosáhněte nových úrovní výkonu kryovývěvy
Kryovývěva CTI-Cryogenics On-Board IS XVS 320F zachovává tradici společnosti Edwards v poskytování nejspolehlivějších a nejvýkonnějších kryovývěv na trhu.
Kryogenní vývěva On-Board® 320F XVS je navržena tak, aby poskytovala nejvyšší výkon čerpání vodíku pro lepší výtěžnost a průchodnost procesu, což nabízí dokonalou odpověď na dnešní výzvy v oblasti aplikací s iontovými implantáty. Inteligentní řízení systému integrované do kryogenní vývěvy zajišťuje lepší kvalitu procesu, konzistenci vakua a Provozuschopnost a zároveň poskytuje informace o systému v reálném čase pro optimální řízení teplot pole. Kvalita vakua se zvyšuje automatickým přizpůsobením měnícím se podmínkám tepelného/plynového zatížení.
Funkce a výhody
Stabilní výkon vakua:
- Snížené kolísání rychlosti čerpání H2 mezi regeneracemi
- Snížený dopad na rychlost čerpání H2 díky fotorezistenci a kontaminaci
- Optimalizované stabilní teploty pole
Vyšší vakuový výkon:
- Vysoká rychlost čerpání H2 – 15 500 l/s
- Vysoká kapacita H2 – 40 STD-L
Systémová kompatibilita:
- Systémy kryovývěv On-Board IS
- Kompresory IS-1000, IS-2000V, IS-1800 XVS
