Atteignez de nouveaux niveaux de performances en termes de pompe cryogénique
La pompe cryogénique IS XVS 320F On-Board CTI-Cryogenics perpétue la tradition d'Edwards pour fournir les pompes cryogéniques d'implantation les plus fiables et les plus performantes du marché.
La pompe cryogénique On-Board® 320F XVS est conçue pour fournir les performances de pompage d’hydrogène les plus élevées pour un rendement et un rendement de procédé améliorés, offrant la réponse parfaite aux défis actuels des applications d’implants ioniques. Le contrôle intelligent du système intégré à la pompe cryogénique garantit une meilleure qualité du procédé, une meilleure homogénéité du vide et une meilleure disponibilité, tout en fournissant des informations système en temps réel pour un contrôle optimal des températures du réseau. La qualité du vide est améliorée grâce à l’adaptation automatique aux conditions de charge thermique/gazeuse changeantes.
Fonctionnalités et avantages clés
Performances de vide stables :
- Variation réduite de la vitesse de pompage de H2 entre les régénérations
- Impact réduit sur la vitesse de pompage du H2 grâce à la photorésistanceContamination
- Températures de réseau stables optimisées
Performances de vide améliorées :
- Vitesse de pompage de H2 élevée - 15 500 L/S
- Haute capacité H2 – 40 STD-L
Compatibilité du système :
- Systèmes de pompe cryogénique IS On-Board
- Compresseurs IS-1000, IS-2000V, IS-1800 XVS
