xvs kriyopompa üst banner

Yeni seviyelerde kriyopompa performansına ulaşın

CTI-Cryogenics On-Board IS XVS 320F Kriyopompa, Edwards'ın piyasadaki en güvenilir ve en iyi performans gösteren implant kriyopompalarını sunma geleneğini sürdürmektedir.

On-Board® 320F XVS kriyopompa, gelişmiş proses verimi ve verimi için en yüksek hidrojen pompalama performansını sağlayacak şekilde tasarlanmıştır ve günümüzün İyon İmplant uygulamalarındaki zorluklara mükemmel bir yanıt sunar. Kriyopompaya entegre edilmiş akıllı sistem kontrolü, dizi sıcaklıklarının optimum kontrolü için gerçek zamanlı sistem bilgileri sağlarken daha iyi proses kalitesi, vakum tutarlılığı ve çalışma süresi sağlar. Vakum kalitesi, değişen termal/gaz yükü koşullarına otomatik olarak uyarlanarak iyileştirilir.

Dikey konumda Edwards CTI-Cryogenics On-Board IS 320F XVS Kriyopompası

Özellikleri ve Faydaları

Kararlı vakum performansı:

  • Rejenerasyonlar Arasında Azaltılmış H2 Pompalama Hızı Varyasyonu​
  • FotodirençKontaminasyonu Nedeniyle H2 Pompalama Hızı Üzerindeki Azalmış Etki​
  • Optimize edilmiş stabil dizilim sıcaklıkları​

​ Gelişmiş vakum performansı:

  • Yüksek H2 Pompalama Hızı-15.500 L/S​
  • Yüksek H2 Kapasitesi - 40 STD-L​

Uyumluluk:

  • Yerleşik IS Kriyopompa sistemleri​
  • IS-1000, IS-2000V, IS-1800 XVS Kompresörler​