Alcance nuevos niveles de rendimiento de la bomba criogénica
La bomba criogénica CTI-Cryogenics On-Board IS XVS 320F mantiene la tradición de Edwards de ofrecer las bombas criogénicas para implantes más fiables y de mejor rendimiento del mercado.
La bomba criogénica On-Board® 320F XVS está diseñada para ofrecer el máximo rendimiento de bombeo de hidrógeno para mejorar el rendimiento y la productividad del proceso, ofreciendo la respuesta perfecta a los retos actuales de las aplicaciones de implantes de iones. El control inteligente del sistema integrado en la bomba criogénica garantiza una mejor calidad del proceso, consistencia del vacío y tiempo de actividad, a la vez que proporciona información del sistema en tiempo real para un control óptimo de las temperaturas de la matriz. La calidad del vacío se mejora gracias a la adaptación automática a las condiciones cambiantes de carga térmica/de gas.
Características y ventajas
Rendimiento de vacío estable:
- Variación reducida de la velocidad de bombeo de H2 entre regeneraciones
- Reducción del impacto en la velocidad de bombeo de H2 debido a la contaminación fotorresistente
- Temperaturas de matriz estables optimizadas
Mayor rendimiento de vacío:
- Alta velocidad de bombeo de H2 - 15 500 l/s
- Alta capacidad de H2 - 40 STD-L
Compatibilidad del sistema:
- Sistemas de bomba criogénica IS integrados
- Compresores IS-1000, IS-2000V, IS-1800 XVS
