Alcance novos níveis de desempenho da bomba criogénica
A bomba criogénica CTI-Cryogenics On-Board IS XVS 320F mantém a tradição da Edwards de fornecer as bombas criogénicas de implante mais fiáveis e de melhor desempenho do mercado.
A bomba criogénica On-Board® 320F XVS foi concebida para fornecer o mais elevado desempenho de bombeamento de hidrogénio para um melhor rendimento e rendimento do processo, oferecendo a resposta perfeita aos desafios atuais das aplicações de implantes de iões. O controlo inteligente do sistema integrado na bomba criogénica garante uma melhor qualidade do processo, consistência do vácuo e tempo de atividade, ao mesmo tempo que fornece informações do sistema em tempo real para um controlo ideal das temperaturas da matriz. A qualidade do vácuo é melhorada através da adaptação automática às condições de carga térmica/de gás em mudança.
Benefícios e funcionalidades
Desempenho de vácuo estável:
- Variação reduzida da velocidade de bombeamento de H2 entre regenerações
- Impacto reduzido na velocidade de bombeamento de H2 devido à contaminação fotorresistente
- Temperaturas estáveis otimizadas da matriz
Desempenho de vácuo melhorado:
- Velocidade de bombeamento de H2 elevada - 15.500 L/S
- Elevada capacidade de H2 - 40 STD-L
Compatível com:
- Sistemas de bomba criogénica IS integrados
- Compressores IS-1000, IS-2000V, IS-1800 XVS
