Érjen el új szinteket a kriopumpa teljesítményében
A CTI-Cryogenics On-Board IS XVS 320F kriopumpa továbbviszi az Edwards hagyományát, amely a legmegbízhatóbb és legjobb teljesítményű implantációs kriopumpák piacra juttatásáról ismert.
The On-Board® 320F XVS cryopump is designed to deliver the highest hydrogen pumping performance for improved process yield and throughput, offering the perfect answer to today’s Ion Implant applications challenges. The intelligent system control integrated in the cryopump ensures better process quality, vacuum consistency, and uptime, while providing real-time system information for optimum control of array temperatures. Vacuum quality is enhanced by automatic adaptation to changing thermal/gas loading conditions.
Tulajdonságok és előnyök
Stabil vákuumteljesítmény
- Csökkentett H2 szivattyúzási sebesség-ingadozás a regenerálások között
- Csökkent hatás a H2 szivattyúzási sebességére a fotoreziszt szennyeződés miatt
- Optimalizált, stabil tömbhőmérsékletek
Fokozott vákuumteljesítmény:
- Magas H2 szivattyúzási sebesség - 15 500 L/s
- Nagy H2 kapacitás – 40 STD-L
Rendszerkompatibilitás:
- Fedélzeti IS kriopumpa rendszerek
- IS-1000, IS-2000V, IS-1800 XVS Kompresszorok
