ENABLING ENVIRONMENTS WHERE INNOVATION THRIVES
Edwards는 EUV 팹 지원 장비의 설계 및 제조 분야의 선두 주자로서 효율성과 혁신을 주도하고 있습니다.
극자외선 리소그래피(EUV) 공정은 선도적인 반도체 칩 제조업체들이 최첨단 반도체를 생산하는 데 사용하는 핵심 기술입니다. 이 공정에서 가장 시급한 과제는 항상 장비의 가동 시간 확보이며, Edwards는 모든 성능 기준을 충족하기 위해 통합 서브팹 시스템의 지속적인 혁신을 이어가고 있습니다.
20년 동안 이 분야에서 혁신을 주도해 온 Edwards의 통합 시스템은 전 세계에 150대 이상이 운영되고 있습니다. 또한 EUV 솔루션 분야에서 가장 경험이 풍부한 Edwards는 어떠한 문제에도 대처할 수 있는 데이터 기반의 문제 해결 솔루션과 글로벌 서비스 지원을 제공하고 있습니다.
EUV 고객의 문제 해결
생산성 극대화
Edwards의 EUV 리소그래피 지원 시스템은 펌프와 가스 저감 장치를 최적의 조합으로 설계해, 공정 중 발생하는 불필요한 가스를 효과적으로 제거하고 저감합니다. 점점 복잡해지는 EUV 공정의 요구를 충족시키기 위해 Edwards는 공정 장비의 가용성과 출력 향상을 중심으로 지속적인 혁신을 이어가고 있습니다. 최근 출시된 업그레이드를 통해 에너지 소비와 배출은 줄이고, 시스템 성능과 유지보수 효율은 더욱 향상되었습니다.
지속 가능성
오늘날 반도체는 기술적으로 뛰어날 뿐만 아니라, 지속 가능하고 책임 있는 방식으로 제조되어야 한다는 기대가 커지고 있습니다. 이는 챔버 생산성을 충족하면서 이루어져야 합니다. Edwards는 제품 설계 과정부터 지속 가능성을 고려하고 있으며, 그 결과 EUV 업그레이드를 통해 시스템당 평균 270,000kg의 CO2 배출을 절감하고 있습니다.
글로벌 전문 지식을 현지에 적용
Edwards는 20년간의 데이터 및 성능을 분석한 로컬 솔루션을 통해 글로벌 고객을 지원할 수 있는 독보적인 입지를 갖추고 있습니다. 이는 세계 최대의 시스템 설치 기반과 그에 따른 서비스 경험에서 비롯된 것으로, 서비스 센터, 엔지니어 및 전문가들로 구성된 글로벌 네트워크로 고객은 항상 실제 데이터를 기반으로 한 지원을 받을 수 있습니다.
안전
가연성 수소의 사용이 점점 늘어남에 따라 Edwards는 모든 영역에서 안전을 최우선으로 고려해 제품을 설계하고 있습니다. Edwards의 솔루션은 EUV 장비와 각 시스템이 지속적으로 안전하게 운영될 수 있도록 설계된 모니터링 기능을 포함하고 있습니다.
지금 시청하기: EUV 생산성 극대화 전략
Edwards의 EUV 리소그래피 지원 솔루션
EUV의 미래에 대한 전문가들의 의견
EUV 시스템을 위한 서비스 솔루션
- 업그레이드
- 서비스 플랜
- Advanced 서비스 플랜
업그레이드
Edwards의 EUV 진공 시스템 업그레이드는 리소그래피 장비의 성능을 향상시켜 반도체 수율을 최적으로 개선하고 환경에 미치는 영향을 줄이도록 설계되었습니다.
서비스 플랜
Edwards는 EUV 진공 및 가스 저감 시스템을 보호하고 운영 우수성 목표를 달성하는 데 도움이 되는 다양한 서비스 플랜을 제공합니다.
예측 가능한 서비스 계획
Advanced 서비스 플랜의 예측 분석 알고리즘은 EUV 진공 및 가스 저감 시스템의 특수한 요구 사항에 맞춰 최적화되어 있습니다. 장비 고장이 예상될 경우 사전 경고를 제공함으로써, EUV 장비의 유지보수를 진공 및 제거 시스템의 유지보수와 연계해 계획할 수 있어 예기치 않은 가동 중지로 인한 위험과 불확실성을 최소화할 수 있습니다.
서비스 플랜에 대해 더 알아보시려면 아래에서 David Engerran의 문서를 다운로드하십시오.
