MÖJLIGGÖRA MILJÖER DÄR INNOVATION TRIVS
Edwards ligger i framkant när det gäller utformning och tillverkning av EUV Fab-stödutrustning, vilket ökar effektiviteten och innovationen vid varje tillfälle.
Processen med extrem ultraviolett litografi, eller EUV, är en teknik som ledande halvledarchiptillverkare använder vid tillverkningen av de mest avancerade komponenterna. Den akuta utmaningen är alltid verktygens drifttid och vi förnyar ständigt våra integrerade SubFab-system för att leverera prestanda över alla riktmärken.
Som ledande innovatör inom rymden i 20 år har Edwards etablerat en installationsbas på mer än 150 system. Vi är helt klart de mest erfarna inom EUV-lösningar och har en unik position med djupgående datahistorik och global servicesupport för att möta alla utmaningar.
Möta våra EUV-kunders utmaningar
Förbättra produktiviteten
Våra stödsystem för EUV-litografi är en kombination av pumpkraft och reduktionsenheter som är utformade för att arbeta tillsammans med maximal effektivitet för att evakuera och reducera oönskade gaser under EUV-halvledartillverkningsprocessen. Att maximera produktiviteten innebär att förstå de alltmer komplexa kraven från EUV-litografi. Faktum är att verktygstillgänglighet och uteffekt driver vår innovation. Vår nyligen genomförda uppgradering ger till exempel större systemeffekt och servicevänlighet med minskat energibehov och minskade utsläpp.
Hållbarhet
Idag finns det större kommersiella förväntningar på att halvledare ska tillverkas på ett hållbart och ansvarsfullt sätt. Detta samtidigt som kraven på tillväxt och kammarproduktivitet uppfylls. Hållbarhet påverkar vår designprocess. Om vi bara tar ett exempel ger Edwards nuvarande EUV-uppgradering en genomsnittlig CO2-minskning per system på 270 000 kg pa.
Global expertis tillämpad lokalt
Edwards har en unik position för att stödja våra globala kunder med lokala lösningar som bygger på 20 års erfarenhet av data- och prestandaanalys. Detta är resultatet av världens största systeminstallationsbas och den serviceerfarenhet som följer med. Vårt globala nätverk av servicecenter, ingenjörer och experter innebär att våra kunder alltid har den support de behöver baserat på faktisk information.
Säkerhet
De växande mängderna brandfarlig vätgas som används innebär att vi utformar säkerhet där det är möjligt. Edwards lösning inkluderar systemövervakning för att säkerställa fortsatt säker drift av både EUV-verktyget och varje Edwards-system.
Titta nu: Maximera produktiviteten inom EUV
Edwards EUV-litografi
Framtiden för EUV, vad våra experter säger
Servicelösningar för EUV-system
- Uppgraderingar
- Serviceplaner
- Avancerade serviceplaner
Uppgraderingar
Våra uppgraderingar för EUV-vakuumsystem är utformade för att förbättra prestandan hos din litografiutrustning, vilket säkerställer optimal förbättring av halvledaravkastningen och lägre miljöpåverkan.
Serviceplaner
Edwards erbjuder en rad olika serviceplaner för att skydda dina EUV-vakuum- och reduktionssystem och hjälpa dig att uppnå dina mål för driftsoptimering.
Mer prediktiva serviceplaner
Våra algoritmer för prediktiv analys i avancerade serviceplaner är skräddarsydda för att uppfylla de specifika behoven hos EUV-vakuum- och reduktionssystem. De ger avancerade varningar när en maskin sannolikt går sönder, vilket möjliggör synkronisering av underhåll av EUV-verktyg med underhåll av vakuum- och avgasreningssystem, vilket minimerar risken och osäkerheten som är förknippad med driftstopp.
Spara energi och öka produktiviteten med EUV-pumpuppgraderingar
