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    • Halbleiter
    • Products for the semiconductor industry
    • EUV-Lithografie-Unterstützungssysteme und -Service
    ENABLING ENVIRONMENTS WHERE INNOVATION THRIVES

    Edwards ist führend in der Entwicklung und Herstellung von EUV-Fab-Supportgeräten und treibt Effizienz und Innovation bei jeder Gelegenheit voran.

    Das Verfahren der Extrem-Ultraviolett-Lithographie, kurz EUV, ist eine Technologie, die führende Halbleiterchiphersteller bei der Herstellung der fortschrittlichsten Komponenten einsetzen. Die dringende Herausforderung ist immer die Werkzeugverfügbarkeit, und wir entwickeln unsere integrierten SubFab-Systeme ständig weiter, um Leistungen über alle Benchmarks hinweg zu liefern. 

    Als führender Innovator im Weltraum seit 20 Jahren hat Edwards eine Installationsbasis von über 150 Systemen etabliert. Wir sind die erfahrensten Anbieter von EUV-Lösungen und verfügen über eine umfassende Datenhistorie und einen globalen Service-Support, um jede Herausforderung zu meistern.

    EUV front on

    Wie wir die Herausforderungen unserer EUV-Kunden lösen

    Produktivität maximieren

    Unsere EUV-Lithografieunterstützungssysteme sind eine Kombination aus Pumpenleistung und Abgasreinigungseinheiten, die so konzipiert sind, dass sie mit maximaler Effizienz zusammenarbeiten, um unerwünschte Gase während der Prozesse der EUV-Halbleiterherstellung abzusaugen und zu reduzieren. Die Maximierung der Produktivität bedeutet, die zunehmend komplexen Anforderungen der EUV-Lithographie zu verstehen. Werkzeugverfügbarkeit und -leistung sind der Motor unserer Innovation. So bietet zum Beispiel unser kürzlich durchgeführtes Upgrade eine höhere Systemleistung und Wartungsfreundlichkeit bei geringerem Energiebedarf und geringeren Emissionen.

    Nachhaltigkeit

    Heutzutage bestehen höhere wirtschaftliche Anforderungen an eine nachhaltige und verantwortungsvolle Herstellung von Halbleitern, während gleichzeitig die Anforderungen an Wachstum und Kammerproduktivität erfüllt werden müssen. Nachhaltigkeit beeinflusst unseren Designprozess. Nehmen wir nur ein Beispiel: Das aktuelle EUV-Upgrade von Edwards führt zu einer durchschnittlichen CO2 -Reduktion pro System von 270.000 kg pa.

    Unsere globale Expertise in Ihrer Nähe.

    Edwards verfügt über eine einzigartige Ausgangsposition, um unsere globalen Kunden mit lokalen Lösungen zu unterstützen, die auf unserer 20-jährigen Erfahrung in der Daten- und Leistungsanalyse basieren. Dies wird durch die weltweit größte Systeminstallationsbasis und die damit verbundene Serviceerfahrung erreicht. Unser globales Netzwerk aus Servicezentren, Ingenieuren und Experten sorgt dafür, dass unsere Kunden immer den Support erhalten, den sie benötigen.

    Arbeitssicherheit in der Fertigung

    Die wachsenden Mengen an brennbarem Wasserstoff bedeuten, dass wir überall dort, wo es möglich ist, auf Sicherheit achten. Die Lösung von Edwards umfasst eine Systemüberwachung, um den kontinuierlichen sicheren Betrieb sowohl des EUV-Tools als auch jedes einzelnen Edwards-Systems sicherzustellen.

    Jetzt ansehen: Maximierung der Produktivität in der EUV

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    Edwards EUV-Lithographie

    Die Zukunft der EUV - was unsere Experten sagen

    Servicelösungen für EUV-Systeme​

    Upgrades

    Unsere Upgrades für EUV-Vakuumsysteme wurden entwickelt, um die Leistung Ihrer Lithografiegeräte zu verbessern und eine optimale Halbleiterertragsverbesserung und geringere Umweltauswirkungen zu gewährleisten.

    Servicepläne

    Edwards bietet eine Reihe von Serviceplänen an, um Ihre EUV-Vakuum- und Abgasreinigungssysteme zu schützen und Ihnen dabei zu helfen, Ihre betrieblichen Exzellenzziele zu erreichen.

    Mehr Predictive Servicepläne​

    Unsere Algorithmen für vorausschauende Analysen in erweiterten Serviceplänen sind auf die spezifischen Anforderungen von EUV-Vakuum- und Abgasreinigungssystemen zugeschnitten. Sie liefern frühzeitige Warnungen, wenn eine Maschine wahrscheinlich ausfällt, und ermöglichen die Synchronisierung der Wartung von EUV-Werkzeugen mit der Wartung von Vakuum- und Abgasreinigungssystemen, wodurch das Risiko und die Unsicherheit im Zusammenhang mit Ausfallzeiten minimiert werden.

    EUV-LITHOGRAPHY

    Um mehr über diese Herausforderungen zu erfahren, steht David Engerrans interaktives Paper zum Thema EUV unten zum Download für Desktop und Mobilgeräte zur Verfügung.

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