OLYAN KÖRNYEZETEK MEGTEREMTÉSE, AHOL AZ INNOVÁCIÓ VIRÁGZIK
Az Edwards élen jár az EUV gyártmánytámogató berendezések tervezésében és gyártásában, minden lehetőségnél növelve a hatékonyságot és az innovációt.
Az extrém ultraibolya litográfia, vagy EUV eljárás olyan technológia, amelyet a vezető félvezető chipgyártók a legfejlettebb alkatrészek gyártásához használnak. A sürgető kihívás mindig a szerszám rendelkezésre állási ideje, és folyamatosan innováljuk integrált SubFab rendszereinket, hogy minden mércén teljesítményt nyújtsunk.
Az Edwards 20 éve vezeti az innovációt az űrben, és több mint 150 rendszert telepített. Egyértelműen az EUV-megoldások terén a legtöbb tapasztalattal rendelkezünk, és egyedülálló helyzetben vagyunk, mély adattörténettel és globális szerviztámogatással, hogy bármilyen kihívással szembenézzünk.
EUV-ügyfeleink kihívásainak teljesítése
Növelje a termelékenységet
EUV litográfiai támogató rendszereink a szivattyúteljesítmény és a gázkezelő egységek kombinációja, amelyeket arra terveztek, hogy maximális hatékonysággal működjenek együtt a nemkívánatos gázok kiürítése és kezelése érdekében az EUV félvezetőgyártási folyamatok során. A termelékenység maximalizálása az EUV litográfia egyre összetettebb követelményeinek megértését jelenti. Valójában a szerszámok rendelkezésre állása és a teljesítmény ösztönzi innovációnkat. Például a legújabb fejlesztésünk nagyobb rendszerteljesítményt és szervizelhetőséget biztosít alacsonyabb energiaigény és kibocsátás mellett.
Fenntarthatóság
Napjainkban nagyobb kereskedelmi elvárásokat támasztanak a félvezetők fenntartható és felelősségteljes módon történő gyártása iránt. Mindezt a növekedési és a kamra termelékenységi igényeinek kielégítése mellett. A fenntarthatóság hatással van tervezési folyamatunkra. Csak egy példát említve, az Edwards jelenlegi EUV-frissítése rendszerenként átlagosan 270.000 kg pa CO2-csökkenést biztosít.
Globális szakértelem helyi alkalmazása
Az Edwards egyedülálló helyzetben van, hogy 20 éves adat- és teljesítményelemzési tapasztalatunkat felhasználva helyi megoldásokkal támogassa ügyfeleinket világszerte. Ez a világ legnagyobb rendszertelepítő bázisából és a hozzá kapcsolódó szerviz tapasztalatból származik. Szervizközpontjaink, mérnökeink és szakértőink globális hálózata azt jelenti, hogy ügyfeleink mindig a tényleges információk alapján kapják meg a szükséges támogatást.
Biztonság
Az alkalmazott gyúlékony hidrogén mennyiségének növekedése azt jelenti, hogy a biztonságot minden lehetséges módon figyelembe vesszük. Az Edwards megoldás rendszerfelügyeletet is tartalmaz az EUV eszköz és az egyes Edwards rendszerek folyamatos biztonságos működésének biztosítása érdekében.
Nézze meg most: A termelékenység maximalizálása az EUV-ben
Edwards EUV litográfia
Az EUV jövője, amit szakértőink mondanak
Szolgáltatási megoldások EUV rendszerekhez
- Kiegészítők
- Szerviztervek
- Speciális karbantartási tervek
Kiegészítők
EUV vákuumrendszereink korszerűsítését úgy terveztük, hogy javítsa litográfiai berendezései teljesítményét, biztosítva az optimális félvezető-hozamnövekedést és a kisebb környezeti hatást.
Szerviztervek
Az Edwards számos karbantartási tervet kínál az EUV vákuum- és kipufogógáz-kezelő rendszerek védelmére, és segít elérni a kiváló működésre vonatkozó céljait.
Több előrejelző karbantartási terv
A fejlett szerviztervek előrejelző elemzési algoritmusai az EUV vákuum- és kipufogógáz-kezelő rendszerek speciális igényeire vannak szabva. Fejlett figyelmeztetéseket küldenek, amikor egy gép valószínűleg meghibásodik, lehetővé téve az EUV szerszám karbantartásának szinkronizálását a vákuum- és a kipufogógáz-kezelő rendszer karbantartásával, minimálisra csökkentve az állásidővel kapcsolatos kockázatot és bizonytalanságot.
Energiamegtakarítás és termelékenységnövelés az EUV szivattyúk korszerűsítésével
