ความท้าทายที่ EUV ต้องเผชิญในการผลิตปริมาณมากคืออะไร

การทําความเข้าใจความท้าทายของกระบวนการจากมุมมองด้านสุญญากาศและการบําบัด เป็นหนึ่งในปัจจัยสําคัญในการเพิ่มความพร้อมใช้งานของเครื่องมือให้สูงสุด การส่องสว่าง EUV ที่ความยาวคลื่นสั้นกว่าช่วยให้สามารถสร้างคุณลักษณะที่มีขนาดเล็กลงได้ แต่ยังทําให้ระบบลิโธกราฟีมีความซับซ้อนมากขึ้นอีกด้วย แสง EUV ถูกดูดกลืนอย่างมากจากวัสดุใดๆ และต้องใช้ออปติกส์สะท้อนแสงที่แม่นยําและการกักเก็บสุญญากาศของเส้นทางลําแสงทั้งหมด

เพื่อให้แน่ใจว่าระบบออปติกที่สําคัญเหล่านี้จะปราศจากสิ่งปนเปื้อน ไฮโดรเจนจะถูกใช้ในกระบวนการ EUV เพื่อทําปฏิกิริยากับวัสดุในกระบวนการ และนําออกจากเครื่องมือในกระบวนการและนําไปสู่ระบบสุญญากาศ ปัจจุบัน จําเป็นต้องมีระบบสุญญากาศและระบบบําบัดเพื่อจัดการไฮโดรเจนที่ไหลสูงเหล่านี้อย่างปลอดภัยและมีประสิทธิภาพ

ศิลปะแห่งนวัตกรรมอยู่ที่การค้นหาวิธีเพื่อให้แน่ใจถึงความปลอดภัยของบุคลากรในโรงงาน ชุมชนโดยรอบ และสิ่งแวดล้อม ในขณะเดียวกันก็เพิ่มประสิทธิภาพและลดต้นทุนการดําเนินงาน

EUV ใช้ไฮโดรเจนในปริมาณมาก ซึ่งทําให้มุ่งเน้นความปลอดภัยและสิ่งแวดล้อมเป็นอย่างมากเนื่องจากลักษณะที่ติดไฟได้ง่ายในอากาศ ระบบ EUV ของ Edwards ใช้ปั๊มสุญญากาศที่ออกแบบมาโดยเฉพาะสําหรับกระบวนการ EUV ซึ่งมีตัวดักในตัวเพื่อดักจับสารประกอบที่ทําปฏิกิริยา ระบบทั้งหมดประกอบด้วยเซนเซอร์ความปลอดภัยเพื่อให้แน่ใจว่าไม่มีส่วนผสมที่ติดไฟได้ผ่านระบบ แบบดั้งเดิม มีการใช้ระบบบําบัดเชื้อเพลิงเพื่อเผาไหม้ไฮโดรเจนปลายทางของปั๊มสุญญากาศ อย่างไรก็ตาม วิธีการนี้ต้องใช้พลังงานและทรัพยากรจํานวนมากและต้องมีการบํารุงรักษาอย่างต่อเนื่อง

แนวทางใหม่ของเราที่ปราศจากเชื้อเพลิงจะก้าวออกไปจากการบําบัดด้วยเชื้อเพลิง และให้การเจือจางไฮโดรเจนที่ปลอดภัยในระดับที่ต่ํากว่าช่วงที่ติดไฟได้มาก ซึ่งในขณะเดียวกันก็รับประกันความปลอดภัยตลอดเวลาและลดความต้องการด้านพลังงานลงอย่างมาก

โชคดีที่ไฮโดรเจนเองไม่มีผลกระทบเชิงลบต่อสิ่งแวดล้อม เมื่อความเข้มข้นต่ํากว่าระดับการติดไฟขั้นต่ํา ก็ค่อนข้างปลอดภัย การจัดการไฮโดรเจนที่ปราศจากเชื้อเพลิงขึ้นอยู่กับความเข้าใจอย่างลึกซึ้งเกี่ยวกับระดับการติดไฟ เทคโนโลยีการเจือจาง และมาตรฐานความปลอดภัยของอุตสาหกรรม การทํางานที่สําคัญคือการเจือจางไฮโดรเจนด้วยอากาศ ซึ่งเป็นวิธีการที่เข้าใจยาก อย่างไรก็ตาม ด้วยการรักษาเส้นทางวิกฤตที่สารผสมติดไฟง่าย สั้นมาก และได้รับการตรวจสอบอย่างระมัดระวัง ก๊าซจะถูกเจือจางอย่างรวดเร็วจนมีความเข้มข้นที่ไม่ติดไฟ ซึ่งสามารถลําเลียงผ่าน Fab ได้อย่างปลอดภัยและปล่อยออกสู่บรรยากาศโดยตรง

การจัดการไฮโดรเจนที่ปราศจากเชื้อเพลิงช่วยขจัดต้นทุนเชื้อเพลิงและการปล่อยก๊าซคาร์บอนจากการเผาไหม้ที่ควบคุมได้ และต้นทุนสูงของไนโตรเจนสําหรับการเจือจาง Edwards นําเสนอโซลูชัน EUV แบบครบวงจรที่สนับสนุนโดยความสามารถในการผลิตที่ทันสมัยและโครงสร้างพื้นฐานการบริการทั่วโลก ในขณะเดียวกันก็สร้างมูลค่าด้านสิ่งแวดล้อมและสังคม ไม่เพียงแต่สําหรับลูกค้าเท่านั้น แต่สําหรับผู้มีส่วนได้ส่วนเสียทั้งหมดที่เกี่ยวข้องด้วย

ด้วยความสามารถในการผลิตที่ทันสมัยและโครงสร้างพื้นฐานการบริการทั่วโลก Edwards จึงนําเสนอโซลูชัน EUV แบบครบวงจร ในขณะเดียวกันก็สร้างคุณค่าด้านสิ่งแวดล้อมและสังคม ไม่เพียงแต่สําหรับลูกค้าเท่านั้น แต่สําหรับผู้มีส่วนได้ส่วนเสียทั้งหมด