EUVは、システムとサービスをサポートします

当社のEUVリソグラフィサポートシステムは、ポンプ能力と除害装置を組み合わせたものであり、EUV半導体製造プロセス中の不要なガスを排出したり、除害したりするために最大効率で連携するように設計されています。生産性を最大化するということは、EUVリソグラフィの複雑化する要求を理解することです。実際、ツールの可用性と出力が当社の技術革新を推進しています。たとえば、最近のアップグレードは、エネルギー需要と排出を削減しながら、より大きなシステムパワーと保守性を実現しています。

今日、半導体は、成長とチャンバの生産性の要求を満たしながら、持続可能で責任ある方法で製造されることへの商業的期待が高まっています。持続可能性は、設計プロセスに影響を与えます。一例として、エドワーズの現在のEUVアップグレードでは、システムあたり270,000kg/年の平均CO₂削減を実現しています。

エドワーズは、20年にわたるデータと性能分析を活用したローカルソリューションで、グローバルなお客様をサポートするユニークな立場にあります。これは、世界最大のシステム設置ベースと、それに伴うサービス経験から得られたものです。サービスセンター、エンジニア、エキスパートのグローバルネットワークにより、お客様は常に実際の情報に基づいて必要なサポートを受けることができます。

可燃性水素の使用量が増加しているため、可能な限り安全性を設計しています。エドワーズのソリューションには、EUVツールとエドワーズの各システムの両方の継続的な安全運転を保証するシステム監視が含まれています。