WSPIERANIE ŚRODOWISK, W KTÓRYCH ROZWIJAJĄ SIĘ INNOWACJE
Firma Edwards jest liderem w projektowaniu i produkcji urządzeń pomocniczych EUV Fab, zwiększając wydajność i innowacyjność przy każdej okazji.
Proces litografii ultrafioletowej, czyli EUV, to technologia stosowana przez czołowych producentów chipów półprzewodnikowych do produkcji najbardziej zaawansowanych komponentów. Nagłym wyzwaniem jest zawsze czas sprawnego działania narzędzi, a my nieustannie wprowadzamy innowacje w naszych zintegrowanych systemach SubFab, aby zapewnić wydajność we wszystkich punktach odniesienia.
Jako pionier w dziedzinie innowacji kosmicznych od 20 lat firma Edwards posiada bazę instalacyjną obejmującą ponad 150 systemów. Jesteśmy bez wątpienia najbardziej doświadczonym dostawcą rozwiązań EUV, który dysponuje bogatą historią danych i globalnym wsparciem serwisowym, aby sprostać każdemu wyzwaniu.
Sprostanie wyzwaniom naszych klientów EUV
Maksymalizuj produktywność
Nasze systemy wspomagające litografię EUV to połączenie mocy pomp i jednostek oczyszczania zaprojektowane tak, aby współpracować z maksymalną wydajnością w celu usuwania i oczyszczania niepożądanych gazów podczas procesów produkcji półprzewodników EUV. Maksymalizacja wydajności oznacza zrozumienie coraz bardziej złożonych wymagań związanych z litografią EUV. W rzeczywistości dostępność narzędzi i wydajność napędzają nasze innowacje. Na przykład nasza niedawna modernizacja zapewnia większą moc systemu i łatwość serwisowania przy mniejszym zapotrzebowaniu na energię i emisji.
Zrównoważony rozwój
Obecnie rosną komercyjne oczekiwania dotyczące produkcji półprzewodników w sposób zrównoważony i odpowiedzialny. Przy jednoczesnym spełnieniu wymagań dotyczących wzrostu i wydajności komory. Zrównoważony rozwój wpływa na nasz proces projektowania. Na jednym przykładzie obecna modernizacja EUV firmy Edwards zapewnia średnią redukcję emisji CO2 na system wynoszącą 270 000 kg pa.
Globalna wiedza w praktyce lokalnej
Firma Edwards jest w wyjątkowej pozycji, aby wspierać naszych klientów na całym świecie lokalnymi rozwiązaniami wykorzystującymi nasze 20-letnie doświadczenie w dziedzinie analizy danych i wydajności. Jest to możliwe dzięki największej na świecie bazie zainstalowanych systemów i związanemu z tym doświadczeniu serwisowemu. Nasza globalna sieć centrów serwisowych, inżynierów i ekspertów oznacza, że nasi klienci zawsze mają potrzebne wsparcie oparte na rzeczywistych informacjach.
Bezpieczeństwo
Rosnące ilości stosowanego łatwopalnego wodoru oznaczają, że projektujemy bezpieczeństwo tam, gdzie jest to możliwe. Rozwiązanie firmy Edwards obejmuje monitorowanie systemu w celu zapewnienia ciągłej bezpiecznej pracy zarówno narzędzia EUV, jak i każdego systemu Edwards.
Obejrzyj teraz: Maksymalizacja produktywności w EUV
Litografia EUV firmy Edwards
Przyszłość EUV, co mówią nasi eksperci
Rozwiązania serwisowe dla systemów EUV
- Modernizacje
- Plany serwisowe
- Zaawansowane plany serwisowe
Modernizacje
Nasze modernizacje systemów próżniowych EUV zostały zaprojektowane w celu zwiększenia wydajności urządzeń litograficznych, zapewniając optymalną poprawę wydajności półprzewodników i mniejszy wpływ na środowisko.
Plany serwisowe
Firma Edwards oferuje szereg planów serwisowych, które chronią systemy próżniowe i systemy oczyszczania spalin EUV i pomagają osiągnąć cele w zakresie doskonałości operacyjnej.
Więcej planów konserwacji zapobiegawczej
Nasze algorytmy analizy predykcyjnej w zaawansowanych planach serwisowych są dostosowane do konkretnych potrzeb systemów próżniowych i oczyszczania spalin EUV. Zapewniają one zaawansowane ostrzeżenia w przypadku prawdopodobieństwa awarii maszyny, umożliwiając synchronizację konserwacji narzędzi EUV z konserwacją systemu próżniowego i układu oczyszczania spalin, minimalizując ryzyko i niepewność związane z przestojami.
Oszczędność energii i zwiększenie wydajności dzięki modernizacji pomp EUV
