Systèmes et services d’assistance EUV

Nos systèmes d’assistance à la lithographie EUV sont une combinaison de puissance de pompage et d’unités de traitement conçues pour fonctionner ensemble avec une efficacité maximale pour évacuer et réduire les gaz indésirables pendant les procédés de fabrication des semi-conducteurs EUV. Maximiser la productivité signifie comprendre les exigences de plus en plus complexes de la lithographie EUV. En fait, la disponibilité des outils et la production sont les moteurs de notre innovation. Par exemple, notre récente upgrade offre une puissance et une facilité d’entretien accrues du système avec une demande d’énergie et des émissions réduites.

Aujourd’hui, les attentes commerciales en matière de fabrication durable et responsable des semi-conducteurs sont plus élevées. Tout en répondant aux demandes de croissance et de productivité des cuves. La durabilité a un impact sur notre processus de conception. Prenons un seul exemple : l'upgrade EUV actuelle d’Edwards permet une réduction moyenne du CO₂ par système de 270000 kg pa.

Edwards se trouve dans une position unique pour soutenir ses clients du monde entier avec des solutions locales basées sur 20 ans d’analyse des données et des performances. C’est grâce à la plus grande base d’installation de systèmes au monde et à l’expérience de service qui s'y rattache. Notre réseau mondial de centres de service, d’ingénieurs et d’experts signifie que nos clients disposent toujours de l’assistance dont ils ont besoin sur la base d’informations réelles.

Les volumes croissants d’hydrogène inflammable utilisés signifient que nous concevons la sécurité dans la mesure du possible. La solution Edwards inclut la surveillance du système pour garantir le fonctionnement continu et sûr de l’outil EUV et de chaque système Edwards.