OMGEVINGEN WAAR INNOVATIE FLOREERT MOGELIJK MAKEN
Edwards is toonaangevend in het ontwerp en de productie van EUV Fab-ondersteuningsapparatuur, waardoor efficiëntie en innovatie bij elke gelegenheid worden bevorderd.
Het proces van extreme ultraviolette lithografie, of EUV, is een technologie die toonaangevende fabrikanten van halfgeleiderchips gebruiken bij de productie van de meest geavanceerde componenten. De urgente uitdaging is altijd de uptime van het gereedschap en we innoveren voortdurend onze geïntegreerde SubFab-systemen om prestaties te leveren op alle benchmarks.
Als vooruitstrevende innovator in de ruimte heeft Edwards al 20 jaar een installatiebasis van meer dan 150 systemen. Wij zijn duidelijk de meest ervaren op het gebied van EUV-oplossingen en hebben een unieke positie met een diepgaande gegevensgeschiedenis en wereldwijde serviceondersteuning om elke uitdaging aan te gaan.
De uitdagingen van onze EUV-klanten aangaan
Verbeterde productiviteit
Onze EUV-lithografieondersteuningssystemen zijn een combinatie van pompvermogen en bestrijdingseenheden die zijn ontworpen om samen te werken op maximale efficiëntie om ongewenste gassen af te voeren en te bestrijden tijdens de processen van de EUV-halfgeleiderproductie. De productiviteit maximaliseren betekent inzicht krijgen in de steeds complexere eisen van EUV-lithografie. In feite zijn de beschikbaarheid en output van gereedschappen de drijvende kracht achter onze innovatie. Onze recente upgrade levert bijvoorbeeld meer systeemvermogen en onderhoudsvriendelijkheid met een lagere energievraag en minder uitstoot.
Duurzaamheid
Vandaag de dag zijn de commerciële verwachtingen groter dat halfgeleiders op een duurzame en verantwoorde manier worden geproduceerd. Dit terwijl nog steeds wordt voldaan aan de groei- en productiviteitseisen van de kamer. Duurzaamheid heeft invloed op ons ontwerpproces. Als we maar één voorbeeld nemen, levert de huidige EUV-upgrade van Edwards een gemiddelde CO2-reductie per systeem van 270.000 kg pa op.
Wereldwijde expertise lokaal toegepast
Edwards is uniek gepositioneerd om onze wereldwijde klanten te ondersteunen met lokale oplossingen die gebruik maken van onze 20 jaar data- en prestatieanalyse. Dit is te danken aan 's werelds grootste installatiebasis voor systemen en de bijbehorende service-ervaring. Ons wereldwijde netwerk van servicecentra, technici en experts zorgt ervoor dat onze klanten altijd de ondersteuning hebben die ze nodig hebben op basis van actuele informatie.
Veiligheid
Door de toenemende hoeveelheden brandbare waterstof die worden gebruikt, ontwerpen we waar mogelijk veilig. De oplossing van Edwards omvat systeembewaking om de continue veilige werking van zowel het EUV-gereedschap als elk Edwards-systeem te garanderen.
Bekijk nu: Maximaliseer de productiviteit in EUV
Edwards EUV-lithografie
De toekomst van EUV, wat onze experts zeggen
Serviceoplossingen voor EUV-systemen
- Upgrades
- Serviceplannen
- Geavanceerde serviceplannen
Upgrades
Onze upgrades voor EUV-vacuümsystemen zijn ontworpen om de prestaties van uw lithografie-apparatuur te verbeteren, wat zorgt voor een optimale verbetering van de opbrengst van halfgeleiders en een lagere impact op het milieu.
Serviceplannen
Edwards biedt een reeks serviceplannen om uw EUV-vacuüm- en bestrijdingssystemen te beschermen en u te helpen uw doelstellingen op het gebied van operationele uitmuntendheid te bereiken.
Meer voorspellende serviceplannen
Onze algoritmen voor voorspellende analyse in geavanceerde serviceplannen zijn afgestemd op de specifieke behoeften van EUV-vacuüm- en bestrijdingssystemen. Ze bieden geavanceerde waarschuwingen wanneer een machine waarschijnlijk defect raakt, waardoor het onderhoud van het EUV-gereedschap kan worden gesynchroniseerd met het onderhoud van het vacuüm- en bestrijdingssysteem, waardoor het risico en de onzekerheid in verband met stilstandtijd worden geminimaliseerd.
Energie besparen en de productiviteit verhogen met EUV-pompupgrades
