MEMBINA PERSEKITARAN DI MANA INOVASI BERKEMBANG
Edwards berada di barisan hadapan dalam reka bentuk dan pembuatan peralatan sokongan EUV Fab, mendorong kecekapan dan inovasi pada setiap peluang.
Proses litografi ultraviolet ekstrem, atau EUV, adalah teknologi yang digunakan oleh pengeluar cip semikonduktor terkemuka dalam pembuatan komponen yang paling maju. Cabaran yang mendesak sentiasa adalah masa operasi alat dan kami sentiasa berinovasi sistem SubFab terintegrasi kami untuk memberikan prestasi yang cemerlang di semua penanda aras.
Sebagai perintis inovasi dalam bidang ini selama 20 tahun, Edwards telah membina asas pemasangan lebih daripada 150 sistem. Jelas sekali, dengan pengalaman paling banyak dalam penyelesaian EUV, kami berada dalam kedudukan yang unik dengan sejarah data yang mendalam dan sokongan perkhidmatan global untuk menghadapi sebarang cabaran.
Menghadapi cabaran pelanggan EUV kami
Memaksimumkan produktiviti
Sistem sokongan litografi EUV kami adalah gabungan unit kuasa pam dan unit pengurangan yang direka untuk berfungsi bersama dengan kecekapan maksimum bagi mengeluarkan dan mengurangkan gas yang tidak diingini semasa proses pembuatan semikonduktor EUV. Memaksimumkan produktiviti bermakna memahami tuntutan yang semakin kompleks daripada litografi EUV. Sebenarnya, ketersediaan alat dan hasilnya mendorong inovasi kami. Sebagai contoh, peningkatan terbaru kami memberikan kuasa sistem dan kebolehlayanan yang lebih baik dengan pengurangan permintaan tenaga dan emisi.
Kelestarian
Hari ini terdapat harapan komersial yang lebih besar untuk semikonduktor dihasilkan dengan cara yang lestari dan bertanggungjawab. Ini, sambil tetap memenuhi permintaan pertumbuhan dan produktiviti bilik. Kelestarian mempengaruhi proses reka bentuk kami. Mengambil satu contoh, peningkatan EUV semasa Edwards memberikan pengurangan purata CO2 sebanyak 270,000kg setahun bagi setiap sistem.
Kepakaran global yang diterapkan secara tempatan
Edwards berada dalam kedudukan yang unik untuk menyokong pelanggan global kami dengan penyelesaian tempatan yang memanfaatkan 20 tahun data dan analitik prestasi kami. Ini diperoleh daripada pangkalan pemasangan sistem terbesar di dunia dan pengalaman perkhidmatan yang menyertainya. Rangkaian Pusat Perkhidmatan, jurutera dan pakar global kami bermakna pelanggan kami sentiasa mempunyai sokongan yang mereka perlukan berdasarkan maklumat sebenar.
Keselamatan
Jumlah hidrogen mudah terbakar yang semakin meningkat bermakna kami merancang keselamatan di mana sahaja yang mungkin. Penyelesaian Edwards merangkumi pemantauan sistem untuk memastikan operasi selamat yang berterusan bagi kedua-dua Alat EUV dan setiap sistem Edwards.
Tonton sekarang: Memaksimumkan produktiviti dalam EUV
Lithografi EUV Edwards
Masa depan EUV, apa yang dikatakan oleh pakar kami
Penyelesaian Perkhidmatan untuk Sistem EUV
- Peningkatan
- Pelan Perkhidmatan
- Pelan Perkhidmatan Lanjutan
Peningkatan
Peningkatan kami untuk sistem vakum EUV direka untuk meningkatkan prestasi peralatan litografi anda, memastikan peningkatan hasil semikonduktor yang optimum dan impak alam sekitar yang lebih rendah.
Pelan Perkhidmatan
Edwards menawarkan pelbagai pelan perkhidmatan untuk melindungi sistem vakum dan pengurangan EUV anda serta membantu anda mencapai matlamat kecemerlangan operasi.
Pelan Perkhidmatan yang Lebih Ramalan
Algoritma analitik ramalan kami dalam pelan perkhidmatan lanjutan disesuaikan untuk memenuhi keperluan khusus sistem vakum dan pengurangan EUV. Mereka memberikan amaran awal apabila mesin berkemungkinan akan gagal, membolehkan penyelarasan penyelenggaraan alat EUV dengan penyelenggaraan sistem vakum dan pengurangan, meminimumkan risiko dan ketidakpastian yang berkaitan dengan waktu henti.
Menjimatkan tenaga dan meningkatkan produktiviti dengan peningkatan pam EUV
