Hệ thống và dịch vụ hỗ trợ EUV

Hệ thống hỗ trợ in litho EUV của chúng tôi là sự kết hợp giữa công suất bơm và các thiết bị xử lý được thiết kế để hoạt động cùng nhau với hiệu quả tối đa để hút và xử lý khí không mong muốn trong quá trình sản xuất chất bán dẫn EUV. Tối đa hóa năng suất đồng nghĩa với việc hiểu được các yêu cầu ngày càng phức tạp từ in litho EUV. Trên thực tế, tính khả dụng của công cụ và sản lượng thúc đẩy sự đổi mới của chúng tôi. Ví dụ, bản nâng cấp gần đây của chúng tôi cung cấp công suất hệ thống và khả năng bảo trì cao hơn với nhu cầu năng lượng và phát thải giảm.

Ngày nay, kỳ vọng thương mại lớn hơn đối với chất bán dẫn được sản xuất theo cách bền vững và có trách nhiệm. Điều này, trong khi vẫn đáp ứng nhu cầu tăng trưởng và năng suất khoang. Tính bền vững ảnh hưởng đến quy trình thiết kế của chúng tôi. Chỉ lấy một ví dụ, bản nâng cấp EUV hiện tại của Edwards cung cấp mức giảm CO₂ trung bình cho mỗi hệ thống là 270.000kg pa.

Edwards có vị trí độc đáo để hỗ trợ khách hàng toàn cầu với các giải pháp địa phương sử dụng 20 năm phân tích dữ liệu và hiệu suất của chúng tôi. Điều này đạt được từ cơ sở lắp đặt hệ thống lớn nhất thế giới và kinh nghiệm dịch vụ đi kèm. Mạng lưới Trung tâm dịch vụ, kỹ sư và chuyên gia toàn cầu của chúng tôi có nghĩa là khách hàng của chúng tôi luôn có sự hỗ trợ mà họ cần dựa trên thông tin thực tế.

Lượng hydro dễ cháy ngày càng tăng có nghĩa là chúng tôi thiết kế an toàn bất cứ khi nào có thể. Giải pháp của Edwards bao gồm giám sát hệ thống để đảm bảo hoạt động an toàn liên tục của cả Công cụ EUV và mỗi hệ thống Edwards.