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Einsatz von Vakuum in Industrieanwendungen

Innovationsführend seit mehr als 100 Jahren

Seit mehr als 100 Jahren entwickeln wir unsere Vakuumpumpentechnologie und -systeme kontinuierlich weiter, um Ihre Fertigung sauberer, intelligenter, wirtschaftlicher und umweltfreundlicher zu machen.

Auswahl der richtigen Vakuumlösung für Ihre industrielle Anwendung

Vakuumpumpen werden häufig in verschiedenen industriellen Anwendungen eingesetzt, um eine Vakuum- oder Niederdruckumgebung zu schaffen, die sehr unterschiedlichen Betriebs- und Prozessbedingungen ausgesetzt ist. Bei der Auswahl einer Vakuumpumpe sind viele Faktoren zu berücksichtigen, wie z. B. physikalische Volumina, Gaszusammensetzung, Prozessparameter oder Umgebungsbedingungen. 

Vakuumpumpen in verschiedenen Branchen

Diese Faktoren sind für die richtige Pumpenauswahl und das Erreichen eines optimalen Designs und einer optimalen Produktivität von entscheidender Bedeutung. Die Anwendungsingenieure von Edwards stehen Ihnen jederzeit zur Verfügung, um Ihnen bei der Auswahl der richtigen Vakuumlösung für Ihre Produktionsanforderungen zu helfen, und das alles dank unseres jahrzehntelangen Anwendungs-Know-hows und unserer eigenen fortschrittlichen Modellierungssoftware.

Industrielle Anwendungen, die wir unterstützen

Industrielle Gasproduktion

 

Vakuumpumpen werden in der industriellen Gasproduktion für eine Vielzahl von Anwendungen eingesetzt, darunter die Befüllung von Gastanks, die Vakuumdruckschwankungsadsorption (VPSA) zur Rückgewinnung von hochreinem Wasserstoff, Methan und Kohlendioxid (Kohlenstoffabscheidung) sowie die Erzeugung von Sauerstoff und Stickstoff (Luftabscheidung).

Ein weiterer Anwendungsbereich von trockenlaufenden Pumpen von Edwards sind kryogene Anwendungen wie die Gasverflüssigung, bei denen Vakuum zur thermischen Isolierung eingesetzt wird, um Wärmeverluste und Auskochen zu reduzieren.

Industrielle Produktion

Sterilisierung

 

Vakuumtechnologie spielt in verschiedenen Anwendungen im Gesundheitswesen und in den Biowissenschaften eine wichtige Rolle. Die Sterilisation ist ein kritischer Prozess, der zur Beseitigung von Mikroorganismen erforderlich ist, die pharmazeutisches Material, Geräte oder medizinische Ausrüstung kontaminieren und dadurch eine Gesundheitsgefahr darstellen könnten. Zu den Sterilisationsprozessen gehören Hochtemperatur- (Dampf) oder Niedertemperaturprozesse (Ethylenoxid oder ETO, Wasserstoffperoxid, Plasma, Elektronenstrahl oder E-Beam) zur Dekontamination hitzeempfindlicher Gegenstände. Die trockene chemische Vakuumtechnologie von Edwards für Anwendungen in Gefahrenbereichen ermöglicht die meisten dieser Sterilisationsprozesse.

Sterilisierung

Plasmabehandlung

 

Ein Plasma ist einfach ausgedrückt ein teilionisiertes Gas und wird oft als vierter Zustand bezeichnet. Die Plasmatechnologie kommt in der Dünnschichtbeschichtung oder in metallurgischen Anwendungen zum Einsatz; die Plasmabehandlung bezieht sich jedoch in der Regel auf die Nutzung von Plasma zur Oberflächenaktivierung (Modifikation der Oberflächenenergie) oder Oberflächenreinigung (Entfernung organischer Verunreinigungen).

Unsere trockenlaufenden Schraubenpumpen in Kombination mit mechanischen Rootspumpen ermöglichen physikalische Bedingungen für die Plasmazündung und sind daher in den meisten dieser Anwendungen vorhanden. 

Plasmabehandlung

Kristallzüchtung

Kristallzucht ist ein Prozess, bei dem Schichten von Atomen in sehr geordneten und strukturierten Anordnungen gezüchtet werden, um hochreine Kristalle zu bilden. Verschiedene Techniken kommen zum Einsatz, wie z. B. der Anbau aus einem Samenkristall oder eine epitaxiale Ablagerung. Zu den verwendeten Materialien gehören typischerweise Silizium für den Halbleiter- und Solarzellenmarkt, Gallium für Compound-Halbleiterwafer (III-V), Siliziumkarbid für Leistungsgeräte. Der Diamantanbau ist eine aufstrebende Technologie für Halbleiter, Hochfrequenzsensoren, Quantenrechner sowie im Labor gezüchtete Konsumdiamanten und wird täglich nachgefragt.

Unsere GXS-Pumpen und -Kombinationen mit integrierter Steuerung und modernster Schraubentechnologie eignen sich aufgrund ihrer hohen Zuverlässigkeit und Dampfverarbeitungsfähigkeit ideal für Ihren Kristallzuchtprozess.

Kristallzüchtung

Innovative Produkte für eine sich wandelnde Branche

Wir bei Edwards arbeiten kontinuierlich daran, unsere Pumpen mit marktführenden Innovationen auszustatten, um den sich ändernden Anforderungen der Branche gerecht zu werden. Unsere Vakuumlösungen kommen in vielen anderen industriellen Anwendungen zum Einsatz, wie z. B. unsere trockenlaufenden Pumpen für die Dampfrückgewinnung, ölgedichtete Drehschieberpumpen für die Produktion von Wärmeableitungsrohren, Glasfaserproduktion, bei der unsere trockenlaufenden Schraubenpumpen Prozessstäube handhaben können, Ölschraubenpumpen mit hoher Kapazität für Umgebungskammern mit großem Volumen oder Flüssigkeitsringpumpen für die Mineralien-, Bergbau- sowie Zellstoff- und Papierindustrie.

Wir sind führend bei Innovationen für aufstrebende Industriemärkte. Bitte wenden Sie sich an Ihre Edwards-Niederlassung vor Ort, um mehr über Ihre Anforderungen an Industrievakuum zu erfahren. Unsere Anwendungsexperten helfen Ihnen gerne bei der Auswahl der richtigen Vakuumlösung für Ihren Prozess.