Your browser is not supported

Anda sedang menggunakan pelayar yang tidak lagi kami sokong. Untuk terus melayari laman web kami, sila pilih salah satu pelayar yang disokong berikut.

Search Edwards Vacuum

Penyelesaian Serbaguna untuk Pemantauan Tekanan

Pengukur tekanan tidak langsung kami sangat sesuai untuk persekitaran tekanan rendah, menawarkan bacaan yang tepat merentasi julat yang luas.

Pengukur ini menyesuaikan dengan pelbagai jenis gas untuk hasil yang tepat. Untuk kawalan lanjutan, terokai varian digital kami, dengan integrasi mudah ke dalam sistem digital.

Direka untuk integrasi lancar ke dalam sistem vakum baru dan sedia ada, alat pengukur ini menyediakan penyelesaian mudah untuk pelbagai aplikasi vakum.

Temui pengukur yang sesuai untuk keperluan anda.

Pengukur tekanan tidak langsung: sesuai untuk digunakan pada tekanan rendah

Pengukur tekanan tidak langsung mengukur sifat yang bergantung pada tekanan, seperti kekonduksian terma, menjadikannya sesuai untuk digunakan pada tekanan rendah di mana ketumpatan bilangan zarah rendah untuk pengukuran tekanan langsung yang tepat.

Pengukuran tekanan dengan alat pengukur ini bergantung pada jenis gas, oleh itu faktor pembetulan boleh digunakan untuk membaca tekanan yang betul mengikut spesifikasi sistem anda.

Pengukur ini menawarkan bacaan tepat merentasi julat tekanan yang luas, sesuai untuk pelbagai aplikasi industri, semikonduktor dan saintifik. Rujuk gambaran keseluruhan untuk membandingkan teknologi dan mengenal pasti penyelesaian yang paling sesuai untuk sistem vakum anda.

Untuk integrasi dan kawalan yang dipertingkatkan, kami menawarkan varian digital bagi beberapa pengukur paling popular kami seperti:

  • nAPG200 - Pengukur Pirani
  • nAIM200 - Pengukur Magnetron Terbalik 
  • nWRG200 - Pengukur Julat Luas.

Versi digital ini menampilkan antara muka komunikasi RS232 atau RS485, membolehkan integrasi mudah dengan PC atau PLC tanpa memerlukan pengawal analog. Pilihan ini amat berguna untuk sistem yang memerlukan input digital langsung dan pemantauan yang tepat.

Pengukur Pirani APG

The Pengukur Pirani Aktif (APG200) adalah sesuai untuk semua pasaran vakum, daripada instrumen analitik yang boleh memanfaatkan saiz yang dikurangkan dan output yang fleksibel, kepada semikonduktor yang mana antara muka baru dan cincin cahaya membolehkan penyelenggaraan sistem yang lebih baik, kepada penyelidikan & pembangunan di mana petunjuk tekanan tempatan membantu memantau eksperimen jauh dari antara muka utama.

Varian digital bagi pengukur Pirani APG200 kami, dikenali sebagai nAPG200, menawarkan pilihan komunikasi digital RS232 atau RS485. Ini membolehkan integrasi lancar dengan PC atau pengawal logik boleh atur cara (PLC), menjadikannya pilihan yang sangat baik untuk sistem yang memerlukan input digital terus.

Apakah ciri-ciri APG200?

  • Penunjuk tekanan cincin lampu LED 360°
  • Saiz padat
  • Filamen panjang
  • Penapis bersepadu (versi tanpa penapis tersedia)
  • Sesuai untuk dipasang terus
  • Bekalan kuasa julat luas dari 15-48V
  • Digital/Analog
  • Relay titik tetapan
Pengukur Pirani Edwards APG200 - pandangan hadapan

Pengukur Pirani APG200

Pengukur pirani aktif APG200 - pandangan meletup
APG200 pengukur pirani aktif - gambar pecahan kecil
Pengukur pirani aktif APG200 - pandangan meletup
0:11
Penunjuk pirani aktif APG200 - gambar kecil pandangan putaran
Pengukur pirani aktif APG200 - pandangan putaran
0:12
Pengukur pirani aktif APG200 - cincin lampu LED gambar kecil
Cincin lampu LED pengukur pirani aktif APG200
0:20

Pengukur Magnetron Terbalik AIM

Pengukur Magnetron Terbalik Aktif (AIM200) menyediakan pengukuran tepat dalam julat vakum 1 x 10-2 hingga 1 x 10-9 mbar.

Pengukur ini tahan lasak dan boleh dipercayai dalam pelbagai aplikasi, bermula dari instrumen saintifik hingga proses industri.

Pengukur AIM200 adalah kepala pengukur magnetron terbalik dan pengawal pengukur yang digabungkan dalam satu unit padat, dan menampilkan medan magnet luaran yang sangat rendah, digabungkan dengan mekanisme pencucuhan yang dipertingkatkan menjadikannya ideal untuk digunakan dengan instrumen analitik sensitif atau dalam aplikasi di mana pengukur perlu dipasang berhampiran dengan peralatan sensitif.

The nAIM adalah versi digital bagi AIM200 kami, ia menyokong komunikasi RS232 atau RS485, memberikan jejak dan prestasi yang sama seperti versi analog sambil memudahkan pemerolehan data dan kawalan melalui sistem digital.

Apakah ciri-ciri AIM200?

  • Penunjuk tekanan cincin lampu LED 360°
  • Jejak yang dikurangkan
  • Penyerang bintang pelbagai titik
  • Tidak memerlukan pengawal luaran
  • Pemandu tersedia
  • Sesuai pasang
  • Bekalan kuasa julat lebar dari 15-48V
  • Magnet baru
  • Relay titik tetapan
  • Varian yang serasi dengan C-clamp
Pengukur magnetron songsang aktif Edwards (AIM200)

Pengukur magnetron songsang aktif (AIM200)

Pengukur Gabungan Katod Sejuk WRG

Pengukur Julat Luas (WRG200) menawarkan keupayaan pengukuran tekanan port tunggal dalam julat atmosfera hingga 10-9 mbar, merangkumi bukan sahaja pam bilik awal, tetapi juga tekanan proses semuanya dalam satu.

Pengukur WRG200 adalah tahan lasak dan boleh dipercayai dalam pelbagai aplikasi yang meliputi instrumen saintifik hingga proses semikonduktor dan industri kerana ia menggunakan teknologi filamen Pirani dan katod sejuk terkini.

Satu penunjuk serba boleh yang memberi anda kelebihan menukar secara automatik dari sensor vakum kasar ke sensor vakum tinggi dan mempunyai medan stray magnetik yang rendah untuk memastikan tiada gangguan dengan persekitaran sekitar.

The nWRG adalah rakan digital kepada WRG200, mengekalkan jejak dan prestasi yang sama sambil menawarkan fleksibiliti komunikasi digital. Ini menjadikannya sesuai untuk aplikasi yang memerlukan bacaan tekanan digital yang tepat dan langsung.

Apakah ciri-ciri WRG200?

  • Penunjuk tekanan cincin lampu LED 360°
  • Jejak yang dikurangkan
  • Teknologi filamen maju
  • Tidak memerlukan pengawal luaran
  • Pemandu tersedia
  • Sesuai pasang
  • Bekalan kuasa julat lebar dari 15-48V
  • Magnet baru
  • Relay titik tetapan
  • Varian yang serasi dengan C-clamp
Pengukur julat luas katod sejuk/pirani (WRG200 dan nWRG200)

Pengukur julat lebar katod sejuk/pirani (WRG200 dan nWRG200)

Magnetron Terbalik Aktif (AIM200) dan Pengukur Julat Luas (WRG200) - Pandangan Pecah
Magnetron Terbalik Aktif (AIM200) dan Pengukur Julat Luas (WRG200) - Gambar pecahan pandangan kecil
Magnetron Terbalik Aktif (AIM200) dan Pengukur Julat Luas (WRG200) - Pandangan Pecah
0:11
Magnetron Terbalik Aktif (AIM200) dan Pengukur Julat Luas (WRG200) - Gambar Rajah Putaran
Magnetron Terbalik Aktif (AIM200) dan Pengukur Julat Luas (WRG200) - Pandangan Putaran
0:13
Magnetron Terbalik Aktif (AIM200) dan Pengukur Julat Luas (WRG200) - Penunjuk Tekanan Visual Cincin Lampu LED lihat gambar kecil
Magnetron Terbalik Aktif (AIM200) dan Pengukur Julat Luas (WRG200) - Penunjuk Tekanan Visual Cincin Lampu LED
0:27

Pengukur Vakum Konveksi Linear APGX-H

Pengukur Vakum Konveksi Linear Aktif (APGX-H) mempunyai julat pengukuran yang luas dari 1333 hingga 3 x 10-4 mbar.

Penggunaan teknologi konveksi memastikan ketepatan dan kepekaan dikekalkan sehingga ke tahap tertinggi julat tekanan berbanding dengan pengukur Pirani konvensional, yang kehilangan ketepatan di atas 100 mbar.

Pengukur ini padat dan boleh dipasang dalam sebarang orientasi, memudahkan pemasangan di tempat yang ruangnya terhad.

Pengukur vakum konveksi linear aktif (APGX-H)

Pengukur vakum konveksi linear aktif (APGX-H)

Pengukur Ion AIGX

Penunjuk Ion Aktif (AIGX) adalah penunjuk ion aktif yang padat dengan filamen iridium bersalut yttria berganda, julatan pengukuran luas dari 6.6 x 10-2  hingga 6.6 x 10-10 mbar, dan output linear 1 Volt/dekade.

AIGX menggabungkan semua manfaat konsep pengukuran aktif piawai industri, dengan elektronik terintegrasi dan tiub boleh diganti. Pengukur ini mempunyai kemudahan degas dan termasuk ciri-ciri untuk melindungi serta memanjangkan hayat filamen.

AIGX mendapat manfaat daripada pelepasan zarah bermuatan yang sangat rendah, yang menjadikannya pilihan yang sangat baik untuk proses di mana bunyi latar tidak diingini.

Pengukur Ion Aktif (AIGX)

Pengukur Ion Aktif (AIGX)

Pengukur Gabungan Katod Panas WRH

Pengukur Julat Lebar Katod Panas Aktif (WRH) menawarkan keupayaan untuk mengukur dari atmosfera hingga 10-10mbar dengan satu pengukur, dengan ketepatan dan kebolehulangan.

Pengukur WRH menggunakan 2 kaedah pengukuran (Bayard-Alpert & Pirani) dalam satu pakej, memberikan anda segala yang diperlukan untuk mengukur dan mengawal sistem anda.

Dengan output analog dan RS485 yang tersedia melalui penyambung D-SUB, 2 relay terbina dalam dan kalibrasi mudah, pengawalan dan pemantauan menjadi mudah.

Menggunakan perisian yang disertakan, anda boleh mudah menjejak dan merekod prestasi sistem anda dan juga melakukan penyesuaian terhadap tingkah laku pengukur, seperti menetapkan titik set atau mengubah skala output.

Penunjuk ini adalah teman sempurna untuk pelbagai aplikasi, dari institut R&D hingga spektrometri massa berkelas tinggi sehingga ke industri am.

Pengukur julat luas katod panas aktif Edwards (WRH)

Pengukur Julat Luas Katod Panas Aktif (WRH)

Pengukur Pasif

Pengukur pasif Edwards adalah kepala pengukur tanpa elektronik terbina dalam: sangat sesuai untuk persekitaran dengan jumlah radiasi yang tinggi atau suhu persekitaran yang sangat tinggi.

Walaupun pengukuran aktif kini menguasai pasaran, masih terdapat aplikasi khusus di mana pengukuran pasif adalah unggul. Ini termasuk mana-mana aplikasi di mana mempunyai elektronik berhampiran eksperimen akan menyebabkan kegagalan peranti.

Elektronik pemacu masih diperlukan untuk mengawal pengukur, tetapi ini boleh disimpan secara jauh dalam pengawal khusus kami yang boleh diletakkan sehingga 50m dari pengukur untuk memberikan paparan "tempatan" dan output tekanan kepada sistem anda.

Kepala yang dipasang pada sistem hanya mengandungi item yang diperlukan untuk pengukuran fizikal dan semua elektronik lain terkandung dalam pengawal.

Oleh itu, pengawal dan kabel mesti khusus untuk ukuran yang dikehendaki.

Penyelesaian tahan lasak dan tepat untuk persekitaran yang paling keras: sempurna untuk aplikasi Fizik Tenaga Tinggi dan R&D di mana radiasi boleh merosakkan elektronik pengukur aktif biasa. Pengukur ini mempunyai rekod prestasi yang panjang dan terbukti dalam persekitaran sedemikian.

Dengan aplikasi ini yang sering memerlukan tekanan Vakum Ultra Tinggi, pengukur pasif kami mempunyai julat pengukuran terluas, mampu mencapai pengukuran sehingga 2 x 10⁻¹² mbar dengan rangkaian IG40-EX kami.

Keluarga pengukur pasif

Keluarga pengukur pasif

Soalan Lazim mengenai pengukur tekanan tidak langsung

Bolehkah pengukur Edwards diintegrasikan ke dalam sistem vakum sedia ada?

Banyak pengukur Edwards direka untuk integrasi mudah ke dalam sistem vakum baru dan sedia ada serta tersedia dengan pilihan komunikasi analog dan digital.

Apakah manfaat pengukur tekanan tidak langsung Edwards?

  • Integrasi lancar dengan sistem vakum baru dan sedia ada
  • Pengukur terpilih dihasilkan secara dalaman
  • Kepakaran vakum Edwards yang dipercayai dan sokongan teknikal
  • Portfolio pengukur vakum lengkap untuk keperluan pengukuran tekanan yang pelbagai
  • Masa penghantaran dikurangkan untuk pengukur terpilih*
  • Ketersediaan produk yang boleh dipercayai dan sokongan global

*Masa penghantaran dan ketersediaan mungkin berbeza mengikut kawasan

Jenis pengukur vakum manakah yang digunakan untuk aplikasi semikonduktor?

Peralatan semikonduktor sering memerlukan pengukur yang mampu memantau tahap vakum sepanjang proses pam, pemprosesan dan pengudaraan. Edwards menawarkan beberapa teknologi yang sesuai, termasuk Pirani, magnetron terbalik dan pengukur julat luas, bergantung pada julat tekanan dan keperluan aplikasi.

Manakah pengukur vakum yang sesuai sebagai instrumen analitik?

Instrumen analitik sering memerlukan pengukuran vakum yang stabil dan tepat dengan integrasi yang padat. Pengukur APG200 dan AIM200 sering digunakan dalam aplikasi analitik dan saintifik.

AIGX Active Ion Gauge - Datasheet
3601-0131-01-AIGX-datasheet

PDF

525.6 kB

PDF

525.6 kB

↓
WRH Active Hot Cathode Pirani Gauge - Datasheet
3601-0613-01-WRH-Datasheet

PDF

407.2 kB

Passive Gauges and Controllers - Datasheet
3601-0307-01-Passive-Gauges

PDF

1.7 MB

PDF

1.7 MB

↓
AIM200 Active Inverted Magnetron Gauge - Datasheet
3601-0754-01-AIM200-Datasheet

PDF

768.1 kB

Edwards employees standing in corridor smiling
SERVICE SOLUTIONS

Eliminate Unplanned Downtime. Maximize Efficiency. Minimize Costs — Stay Ahead with ServicePlan™