Capai tahap vakum yang lebih rendah dengan cepat
Edwards Polycold® MaxCool Cryochillers adalah sistem penyejukan kriogenik gelung tertutup yang berkesan menangkap wap air, yang merangkumi 65% hingga 95% gas sisa dalam sistem vakum tinggi.
Cryochiller ini boleh digunakan untuk menangkap wap air dan bahan kondensasi lain dengan membekukannya pada permukaan sejuk seperti cryocoil atau penghalang chevron. MaxCool Cryochiller juga digunakan untuk menyejukkan dan memanaskan objek seperti chuck elektrostatik yang digunakan dalam pemprosesan wafer semikonduktor. Model-model berbeza dalam rangkaian kami menyediakan penyejukan sebanyak 2,000, 2,500 atau 4,000 watt.
Pam Stim Air
Wap air biasanya merupakan pencemar yang paling reaktif dalam sistem vakum tinggi. Dengan MaxCool Cryochillers kami, anda boleh menjangkakan peningkatan hasil produk dalam sistem sedia ada anda sebanyak 20% hingga 100% dan meningkatkan kualiti pemendapan.
Kelebihan MaxCool
- Masa pam vakum tinggi dipendekkan sehingga 75%
- Peningkatan hasil produk sebanyak 20% hingga 100%
- Tekanan separa wap air yang lebih rendah semasa pemprosesan untuk kualiti filem yang lebih tinggi, lekatan yang lebih baik dan pemendapan yang lebih boleh diulang
- Pulangan pelaburan yang cepat dengan menghapuskan kos berulang nitrogen cecair
- Mengurangkan kos pemilikan dengan pengurusan kuasa
- Penyejukan dan pemanasan kapasiti tinggi untuk pelbagai jenis proses
Apabila ditambah ke sistem vakum anda, MaxCool Cryochillers boleh mengurangkan masa pam secara dramatik dan meningkatkan hasil produk. MaxCool akan mengepam wap air dalam beberapa minit dari permulaan dan boleh mencairkan ais dalam masa kurang daripada empat minit, memberikan keupayaan kitaran pantas yang sebenar.
Menggunakan campuran penyejuk Polycold® yang dipatenkan, MaxCool Cryochillers kami berfungsi berdasarkan prinsip perangkap Meissner. Wap air ditangkap melalui kondensasi pada permukaan yang disejukkan secara kriogenik, yang dipanggil gegelung Meissner. Gegelung Meissner (kriogelegung) dipasang terus di dalam ruang vakum supaya konduktansi tidak terhad oleh port, manifold, injap, dan pembatas. Kriogelegung mudah dipasang dan boleh disesuaikan untuk sesuai dengan mana-mana sistem. Ia tidak memerlukan injap vakum tinggi.
MaxCool Cryochillers adalah peningkatan yang paling berkesan dari segi kos yang boleh anda tambahkan kepada mana-mana sistem yang dipam difusi, dipam turbo, atau dipam helium-cryopumped.
MaxCool Cryochillers mematuhi Peraturan Aplikasi Penyejuk Eropah (EC 1005/2009), Protokol Montreal dan US EPA SNAP.
Manfaat
- Pilihan untuk pengurusan kuasa bagi meminimumkan kos pemilikan
- Kawalan suhu
- Cas penyejuk hijau yang dipatenkan mematuhi piawaian global, tidak beracun dan tidak mudah terbakar
- Berdasarkan penyejukan gas campuran yang terbukti, inovatif, dan boleh dipercayai dari Polycold®
- Mematuhi EU PED dan MD
- TUV Rheinland Disenaraikan mengikut Standard Keselamatan NRTL/KANADA
- pengilang yang disahkan ISO 9001:2008
Spesifikasi model MaxCool
|
MaxCool 1500 |
MaxCool 2200 |
MaxCool 2500L |
MaxCool 4000H |
Kapasiti Penyejukan Maksimum |
1,500 W |
2,200 W |
2,500 W |
4,000 W |
Suhu pada Kapasiti Penyejukan Maksimum |
-118 °C |
-105 °C |
-120 °C |
-98 °C |
Suhu Terendah |
-141 °C |
-149 °C |
-145 °C |
-133 °C |
Tekanan Operasi Maksimum (25% daripada kelajuan pam maksimum) |
1E-9 torr |
8E-10 torr |
7E-10 torr |
5E-8 torr |
Kawasan Perangkap Sejuk Biasa |
0.5 m2 |
1.1 m2 |
1.4 m2 |
2.2 m2 |
Kelajuan Pam Wap Air Maksimum dari Kawasan Perangkap Sejuk Biasa |
74,500 l/s |
163,900 l/s |
208,600 l/s |
327,800 l/s |
Kawasan Perangkap Sejuk Maksimum Konservatif* |
1.5 m2 |
1.5 m2 |
2.0 m2 |
2.8 m2 |
Penggunaan Elektrik (Mod Siaga) |
4.5 kW |
4.5 kW |
8.0 kW |
8.0 kW |
Penggunaan Elektrik (Kuasa Tipikal, Mod Sejuk, Beban Rendah) |
5.0 kW |
5.0 kW |
8.0 kW |
8.0 kW |
Penggunaan Elektrik (Mod Sejuk, Beban Maksimum) |
7.8 kW |
8.6 kW |
11 kW |
14.0 kW |
Aliran air penyejuk untuk 13 °C |
6.8 l/min |
6.8 l/min |
15.1 l/min |
15.1 l/min |
Aliran air penyejuk untuk 18 °C |
9.1 l/min |
9.1 l/min | 18.2 l/min |
18.2 l/min |
Aliran air penyejuk untuk 24 °C |
13.6 l/min |
13.6 l/min |
27.3 l/min |
27.3 l/min |
Aliran air penyejuk untuk 29 °C |
27.6 l/min |
27.6 l/min |
54.1 l/min |
54.1 l/min |
Mematuhi PED Eropah |
Ya |
Ya |
Ya |
Ya |
Penyejuk Tidak Beracun |
Ya |
Ya |
Ya |
Ya |
Penyejuk Tidak Mudah Terbakar |
Ya |
Ya |
Ya |
Ya |
- Polycold Edwards MaxCool Cryochillers Datasheet v02 914.7 kB, PDF
- Polycold Edwards MaxCool 2200 Datasheet v02 747 kB, PDF
- Polycold Edwards Maxcool 2500L Datasheet v02 735 kB, PDF
- Polycold Edwards MaxCool 4000H datasheet v02 801.2 kB, PDF
