AIGX Active Ion Gauge - Datasheet
Indirecte Drukmeetmeters
Veelzijdige oplossingen voor drukbewaking
Onze indirecte drukmeetmeters zijn perfect voor omgevingen met lage druk en bieden nauwkeurige metingen over een breed assortiment.
Deze meters passen zich aan verschillende gastypen aan voor nauwkeurige resultaten. Voor geavanceerde controle, ontdek onze digitale varianten, met eenvoudige integratie in digitale systemen.
Ontworpen voor naadloze integratie in zowel nieuwe als bestaande vacuümsystemen, bieden deze meters een gebruiksvriendelijke oplossing voor een breed assortiment vacuümtoepassingen.
Ontdek de juiste meter voor uw behoeften.
Indirecte drukmeetmeters: ideaal voor gebruik bij lage drukken
Indirecte drukmeetmeters meten drukafhankelijke eigenschappen, zoals thermische geleidbaarheid, waardoor ze ideaal zijn voor gebruik bij lage drukken waar de deeltjesdichtheid laag is voor een nauwkeurige directe drukmeting.
Drukmetingen met deze meters zijn afhankelijk van het gas type, daarom kunnen correctiefactoren worden gebruikt om de juiste druk af te lezen volgens de specificaties van uw systeem.
Deze meters bieden nauwkeurige metingen over een breed scala aan drukken, geschikt voor diverse industriële, halfgeleider- en wetenschappelijke toepassingen. Raadpleeg het overzicht om technologieën te vergelijken en de meest geschikte oplossing voor uw vacuümsysteem te identificeren.
Voor verbeterde integratie en controle, bieden wij digitale varianten van enkele van onze populairste meters aan, zoals:
- nAPG200 - Pirani-meter
- nAIM200 - Omgekeerde magnetronmeter
- nWRG200 - Breed assortiment meter.
Deze digitale versies beschikken over RS232- of RS485-communicatie-interfaces, waardoor eenvoudige integratie met pc's of PLC's mogelijk is zonder dat analoge controllers nodig zijn. Deze optie is vooral nuttig voor systemen die directe digitale ingangen en nauwkeurige bewaking vereisen.
APG Pirani-meters
De Active Pirani Gauge (APG200) is geschikt voor alle vacuümmarkten, van analytische instrumenten die kunnen profiteren van het kleinere vloeroppervlak en de flexibele uitgangen, tot halfgeleiders waarvoor de nieuwe interfaces en lichtkringen beter onderhoud van systemen mogelijk maken, tot onderzoek & ontwikkeling waar de lokale drukindicatie helpt bij het monitoren van experimenten weg van de hoofdinterfaces.
De digitale variant van onze APG200 Pirani-meter, bekend als nAPG200, biedt RS232- of RS485-digitale communicatieopties. Dit maakt naadloze integratie met pc's of programmeerbare logische controllers (PLC's) mogelijk, waardoor het een uitstekende keuze is voor systemen die directe digitale ingangen vereisen.
Wat zijn de kenmerken van de APG200?
- 360° LED-lichtkring drukindicator
- Compact formaat
- Lang filament
- Geïntegreerd filter (versie zonder filter beschikbaar)
- Compatibel met drop-in
- Breed assortiment stroomtoevoer van 15-48V
- Digitaal/Analoog
- Instelpuntrelais
APG200 Pirani Manometer
APG200 actieve pirani-meter - exploded view
0:11
APG200 actieve Pirani-meter - draaiview
0:12
APG200 actieve pirani-meter - LED-lichtring
0:20
AIM Omgekeerde Magnetron Drukmeters
De Active Inverted Magnetron (AIM200) meters bieden nauwkeurige meting over het vacuüm bereik van 1 x 10-2 tot 1 x 10-9 mbar.
Deze meter is robuust en betrouwbaar in een breed scala aan toepassingen, variërend van wetenschappelijke instrumenten tot industriële processen.
De AIM200-meter is een omgekeerde magnetron meterkop en metercontroller gecombineerd in één compact apparaat, en beschikt over een zeer laag extern magnetisch veld, gecombineerd met een verbeterd ontstekingsmechanisme waardoor het ideaal is voor gebruik met gevoelige analytische instrumenten of in toepassingen waarbij de meter dicht bij gevoelige apparatuur moet worden gemonteerd.
De nAIM is de digitale versie van onze AIM200, het ondersteunt RS232- of RS485-communicatie, en biedt dezelfde afmetingen en prestaties als de analoge versie, terwijl het eenvoudigere gegevensverzameling en controle via digitale systemen mogelijk maakt.
Wat zijn de kenmerken van AIM200?
- 360° LED-lichtkring drukindicator
- Kleiner vloeroppervlak
- Multipoint stervormige schroevendraaier
- Geen externe controller nodig
- Beschikbare stuurprogramma's
- Compatibel met drop-in
- Breed assortiment stroomtoevoer van 15-48V
- Nieuwe magneten
- Instelpuntrelais
- Variant compatibel met C-klem
Actieve omgekeerde magnetronmeter (AIM200)
WRG koudkathode combinatie meters
De Wide Range Gauge (WRG200) biedt de mogelijkheid van eenpuntsdrukmeting in het bereik van atmosfeer tot 10-9 mbar, waarmee niet alleen de initiële kamerontluchting, maar ook procesdrukken allemaal in één worden gedekt.
De WRG200-meter is robuust en betrouwbaar in een breed scala aan toepassingen, variërend van wetenschappelijke instrumenten tot halfgeleider- en industriële processen omdat hij gebruikmaakt van de nieuwste filament Pirani- en koude kathode-technologie.
Een alles-in-één meter die u het voordeel biedt automatisch over te schakelen van de ruwe vacuümsensor naar de hoge vacuümsensor en beschikt over een laag magnetisch lekveld om interferentie met de omgeving te voorkomen.
De nWRG is het digitale tegenhanger van de WRG200, met hetzelfde vloeroppervlak en prestaties, terwijl hij de flexibiliteit van digitale communicatie biedt. Dit maakt het ideaal voor toepassingen waar nauwkeurige en directe digitale drukmetingen vereist zijn.
Wat zijn de kenmerken van de WRG200?
- 360° LED-lichtkring drukindicator
- Kleiner vloeroppervlak
- Geavanceerde filamenttechnologie
- Geen externe controller nodig
- Beschikbare stuurprogramma's
- Compatibel met drop-in
- Breed assortiment stroomtoevoer van 15-48V
- Nieuwe magneten
- Instelpuntrelais
- Variant compatibel met C-klem
Breed assortiment meter koude kathode/pirani (WRG200 en nWRG200)
Active Inverted Magnetron (AIM200) en Wide Range Gauge (WRG200) - Explosieve weergave
0:11
Actieve Omgekeerde Magnetron (AIM200) en Wide Range Meter (WRG200) - Rotatiezicht
0:13
Active Inverted Magnetron (AIM200) en Wide Range Gauge (WRG200) - LED-lichtkring Visuele Drukindicator weergave
0:27
APGX-H Lineaire Convectie Vacuümmeter
De Active Linear Convection Vacuum Gauge (APGX-H) heeft een groot meetbereik van 1333 tot 3 x 10-4 mbar.
Het gebruik van convectietechnologie zorgt ervoor dat nauwkeurigheid en gevoeligheid behouden blijven tot aan het hoogste drukbereik in vergelijking met conventionele Pirani-meters, die boven de 100 mbar nauwkeurigheid verliezen.
De meter is compact en kan in elke oriëntatie worden gemonteerd, wat de installatie vereenvoudigt wanneer de ruimte beperkt is.
Actieve lineaire convectie vacuümmeter (APGX-H)
AIGX Ion Meters
De Active Ion Gauge (AIGX) is een compacte actieve ionengauge met dubbele yttria-gecoate iridiumfilamenten, een breed meetbereik van 6,6 x 10-2 tot 6,6 x 10-10 mbar, en een lineaire uitgang van 1 Volt/decade.
De AIGX bevat alle voordelen van de industrienorm actief meetconcept, met geïntegreerde elektronica en vervangbare buis. De meter heeft een ontgassingsfunctie en bevat kenmerken om de gloeidraden te beschermen en de levensduur te verlengen.
De AIGX profiteert van extreem lage emissies van geladen deeltjes, wat het een uitstekende keuze maakt voor processen waarbij achtergrondgeluid ongewenst is.
Actieve Ionengauge (AIGX)
WRH Warmkathode Combinatie Manometer
De Active Hot Cathode Wide Range Gauge (WRH) biedt de mogelijkheid om te meten van atmosfeer tot 10-10 mbar met één enkele meter, met nauwkeurigheid en herhaalbaarheid.
De WRH-meter maakt gebruik van 2 meetmethoden (Bayard-Alpert & Pirani) in één enkele behuizing, waardoor u alles hebt wat u nodig hebt om uw systeem te meten en te regelen.
Met analoge en RS485-uitgang beschikbaar via de D-SUB-connector, 2 ingebouwde relais en eenvoudige kalibratie, is regeling en bewaking eenvoudig.
Met de meegeleverde software kunt u eenvoudig de prestaties van uw systeem volgen en registreren en ook aanpassingen maken aan het gedrag van de meters, zoals het instellen van de setpunten of het wijzigen van de uitgangsschaal.
Deze meter is de perfecte metgezel voor vele toepassingen, van R&D-instituten tot high-end massaspectrometrie en tot de algemene industrie.
Actieve warmkathode breedteregelaar (WRH)
Passieve manometers
Edwards Passive meters zijn meterkoppen zonder ingebouwde elektronica: goed geschikt voor omgevingen met hoge stralingsniveaus of zeer hoge omgevingstemperaturen.
Hoewel actieve meting nu de markt domineert, zijn er nog steeds niche toepassingen waarbij passieve meting superieur is. Deze omvatten elke toepassing waar het hebben van elektronica dicht bij het experiment zou leiden tot falen van het apparaat.
Aandrijf-elektronica is nog steeds nodig om de meter te bedienen, maar deze kan op afstand worden gehouden in onze speciale regeling die tot 50 m van de meter verwijderd kan worden geplaatst om een “lokale” weergave en drukuitgang naar uw systeem te geven.
De kop die aan het systeem is bevestigd bevat alleen de onderdelen die nodig zijn voor de fysieke meting en alle overige elektronica bevindt zich in de controller.
De regelaar en kabel moeten specifiek zijn voor de gewenste maat.
Robuuste en nauwkeurige oplossingen voor de meest veeleisende omgevingen: perfect voor toepassingen in de Hoge Energie Fysica en R&D waar straling de elektronica van een normale actieve meter zou beschadigen. Deze meters hebben een lange en bewezen staat van dienst in dergelijke omgevingen.
Bij deze toepassingen die vaak Ultra High Vacuum-druk vereisen, hebben onze passieve manometers het grootste meetbereik, in staat om metingen te bereiken tot 2 x 10⁻¹² mbar met onze IG40-EX-serie.
Passieve manometerfamilie
Veelgestelde vragen over indirecte drukmeetmeters
Kunnen Edwards manometers worden geïntegreerd in bestaande vacuümsystemen?
Veel Edwards-manometers zijn ontworpen voor eenvoudige integratie in zowel nieuwe als bestaande vacuümsystemen en zijn verkrijgbaar met analoge en digitale communicatieopties.
Wat zijn de voordelen van Edwards indirecte drukmeetmeters?
- Naadloze integratie met nieuwe en bestaande vacuümsystemen
- Geselecteerde meters worden intern vervaardigd
- Vertrouwde Edwards vacuümexpertise en technische ondersteuning
- Compleet portfolio vacuümmeters voor diverse drukmeetspecificaties
- Verminderde levertijden voor geselecteerde meters*
- Betrouwbare productbeschikbaarheid en wereldwijde ondersteuning
Levertijden en beschikbaarheid kunnen per regio verschillen
Welke vacuümmeter wordt gebruikt voor halfgeleidertoepassingen?
Halfgeleiderapparatuur vereist vaak meters die in staat zijn om vacuümniveaus te monitoren tijdens het leegpompen, verwerken en ontluchten. Edwards biedt verschillende geschikte technologieën, waaronder Pirani-, omgekeerde magnetron- en breedbereikmeters, afhankelijk van het drukbereik en de eisen m.b.t. de toepassing.
Welke vacuümmeter zijn geschikte analytische instrumenten?
Analytische instrumenten vereisen vaak een stabiele en nauwkeurige vacuümmeting met volledige integratie. APG200- en AIM200-meters worden veel gebruikt in analytische en wetenschappelijke toepassingen.
- Documentatie
- Review van een klant
- Aanvullende literatuur
