Empat cara untuk mengurangkan pengeluaran gas dalam sistem vakum

Terdapat empat cara utama yang boleh anda gunakan untuk mengurangkan pengeluaran gas dalam sistem vakum anda. Ini adalah: 

• Pembersihan dan pengendalian (bakeout)
• Rawatan permukaan
• Pasivasi
• Pembersihan dan pengisian semula.

Dalam nota Permohonan ini, kami akan melihat dengan lebih dekat setiap kaedah ini.

Teknik-teknik ini termasuk kaedah yang agak mudah yang mengambil masa yang singkat dan kebanyakannya dilakukan pada bahagian individu di luar lokasi.

Ia berkesan terhadap pencemaran permukaan kasar dan halus dan boleh mengurangkan kadar pengeluaran gas dari 50% hingga lima urutan magnitud. Persiapan bahan yang betul adalah penting untuk mencapai kadar pengeluaran gas yang rendah dan mencapai UHV.

Pembersihan harus diikuti dengan proses bakar untuk mengurangkan kadar gas yang keluar. Adalah penting bahawa barang-barang ditangani dengan berhati-hati setelah persiapan bahan dimulakan. Ini mencegah pencemaran, kerana sekumpulan cap jari (contohnya) boleh mengambil masa beberapa hari untuk terlepas. Tempoh pendedahan kepada kelembapan harus dihadkan di mana sahaja yang mungkin.

Rawatan permukaan mengurangkan luas permukaan bersih dengan mengurangkan kekasaran; teknik yang paling biasa adalah penggilapan mekanikal dan penggilapan elektro.

Penggilapan mekanikal sering kali merupakan salah satu rawatan bahan yang pertama digunakan untuk menghilangkan pencemar kasar, sementara penggilapan elektro menggantikan lapisan permukaan amorf dengan lapisan oksida yang teratur. Elektropolishing sangat berkesan terhadap hidrogen/hidrokarbon.

Kesan bersih mengurangkan kekasaran permukaan ditunjukkan di bawah:

Passivasi melalui lapisan salutan mencipta lapisan penghalang terhadap penyerapan dan penembusan pencemar.

Salutan biasanya diaplikasikan melalui CVD, PVD atau salutan sputter pada suhu tinggi (200-500°C) dan boleh menjadi:

• Pasif — satu halangan yang mudah
• Aktif — mengepam gas (H2, CO, H2O, O2 dan N2) dari ruang dan menjebaknya. Salutan (Getter Tidak Menguap) ini memerlukan pengaktifan berkala melalui haba untuk memastikan tapak permukaan bebas.

Aliran gas kering yang berterusan melalui ruang boleh menghapuskan pencemaran dan mengurangkan kepekatan wap air. Walaupun pembersihan yang singkat berkesan dalam mengurangkan pengeluaran gas. Selepas aliran pembersihan berhenti, kelembapan boleh meningkat melebihi 30% dalam beberapa jam. Anda boleh melihat kesan-kesan ini yang diwakili dalam graf.

Pengisian semula, atau pengudaraan, dengan N2 juga boleh mengurangkan wap air untuk sistem yang secara berkala dibenarkan ke atmosfera seperti yang ditunjukkan di bawah:

Satu teknik yang agak baru untuk bakeout/purge menggunakan kitaran pam/purge gas tidak reaktif semasa bakeout dan memberikan bakeout yang lebih cepat seperti yang ditunjukkan di sini: