AIGX Active Ion Gauge - Datasheet
Epäsuorat paineenmittausmittarit
Monikäyttöisiä ratkaisuja paineen valvontaan
Epäsuorat paineenmittausmittarimme ovat täydellisiä matalan paineen ympäristöihin, tarjoten tarkkoja mittauksia laajalla valikoimalla.
Nämä mittarit mukautuvat eri kaasutyypeille tarkkojen tulosten saavuttamiseksi. Edistykselliseen ohjaukseen tutustu digitaalisiin versioihimme, jotka tarjoavat helpon integroinnin digitaalisiin järjestelmiin.
Nämä mittarit on suunniteltu saumattomaan integrointiin sekä uusiin että olemassa oleviin alipainejärjestelmiin, tarjoten suoraviivaisen ratkaisun laajaan valikoimaan alipainekäyttökohteita.
Löydä tarpeisiisi sopiva mittari.
Epäsuorat paineenmittausmittarit: ihanteelliset käytettäväksi matalissa paineissa
Epäsuorat paineenmittausmittarit mittaavat paineesta riippuvia ominaisuuksia, kuten lämmönjohtavuutta, mikä tekee niistä ihanteellisia käytettäväksi matalissa paineissa, joissa hiukkasten lukumäärätiheys on alhainen tarkkaa suoraa paineenmittausta varten.
Painemittaukset näillä mittareilla riippuvat kaasutyypistä, joten korjauskertoimia voidaan käyttää oikean paineen lukemiseen järjestelmäsi erityispiirteiden mukaan.
Nämä mittarit tarjoavat tarkat lukemat laajalla painealueella, ja ne soveltuvat erilaisiin teollisiin, puolijohde- ja tieteellisiin sovelluksiin. Katso yleiskatsaus vertaillaksesi tekniikoita ja löytääksesi sopivimman ratkaisun tyhjiöjärjestelmääsi varten.
Parannetun integroinnin ja ohjauksen tarjoamme digitaalisia versioita joistakin suosituimmista mittareistamme, kuten:
- nAPG200 - Pirani-mittari
- nAIM200 - Käänteinen magnetronmittari
- nWRG200 - Laaja mittausalueen mittari.
APG Pirani -mittarit
Active Pirani -mittari (APG200) on sopiva kaikille tyhjiömarkkinoille, analyyttisista laitteista, jotka hyötyvät pienemmästä koosta ja joustavista lähtöliitännöistä, puolijohdeteollisuuteen, jossa uudet liitännät ja valorenkaat mahdollistavat järjestelmien paremman huollon, sekä tutkimus- ja kehitystyöhön, jossa paikallinen paineen ilmaisu auttaa seuraamaan kokeita pääliitäntöjen ulkopuolella.
The digitaalinen versio APG200 Pirani -mittaristamme, tunnettu nimellä nAPG200, tarjoaa RS232- tai RS485-digitaalisen viestintävaihtoehdon. Tämä mahdollistaa saumattoman integroinnin PC-tietokoneiden tai ohjelmoitavien logiikkaohjainten (PLC) kanssa, tehden siitä erinomaisen valinnan järjestelmiin, jotka vaativat suoria digitaalisia tuloja.
Mitkä ovat APG200:n ominaisuudet?
- 360° LED-valorengas paineenilmaisimessa
- Kompakti koko
- Pitkä filamentti
- Integroitu suodatin (versio ilman suodatinta saatavilla)
- Yhteensopiva pudotettava
- Laaja jännitealue 15–48 V tehonsyötöstä
- Digitaalinen/Analoginen
- Set-piste-rele
APG200 Pirani -mittari
APG200 aktiivinen Pirani-mittari - räjäytyskuva
0:11
APG200 aktiivinen Pirani-mittari - pyörivä näkymä
0:12
APG200 aktiivinen Pirani-mittari - LED-valorengas
0:20
AIM-käänteiset magnetronmittarit
Active Inverted Magnetron (AIM200) -mittarit tarjoavat tarkan mittauksen tyhjiöalueella 1 x 10-2 - 1 x 10-9 mbar.
Tämä mittari on kestävä ja luotettava monenlaisissa sovelluksissa, vaihdellen tieteellisistä instrumenteista teollisiin prosesseihin.
AIM200-mittari on käänteinen magnetroni mittapää ja mittarinohjain yhdistettynä yhdeksi kompaktiksi yksiköksi, ja siinä on erittäin alhainen ulkoinen magneettikenttä sekä parannettu iskunmekanismi, mikä tekee siitä ihanteellisen käytettäväksi herkissä analyysilaitteissa tai sovelluksissa, joissa mittari on asennettava lähelle herkkää laitteistoa.
The nAIM on digitaalinen versio AIM200-mallistamme, se tukee RS232- tai RS485-yhteyttä, tarjoten saman koko- ja suorituskyvyn kuin analoginen versio samalla kun mahdollistaa helpomman tiedonkeruun ja ohjauksen digitaalisten järjestelmien kautta.
Mitkä ovat AIM200:n ominaisuudet?
- 360° LED-valorengas paineenilmaisimessa
- Pienempi koko
- Monipisteinen tähtipurkaaja
- Ei tarvita ulkoista ohjainta
- Kuljettajia saatavilla
- Yhteensopiva pudotettava
- Laaja jännitealue 15-48 V tehonsyötöltä
- Uudet magneetit
- Set-piste-rele
- C-kiristimen kanssa yhteensopiva versio
Aktiivinen käänteismagnetronimittari (AIM200)
WRG kylmäkatodiyhdistelmämittarit
Laaja valikoima -mittari (WRG200) tarjoaa mahdollisuuden yksittäisen portin paineen mittaukseen alueella ilmakehästä 10-9 mbar, kattaen sekä alkupään kammiopumpun tyhjennyksen että prosessipaineet yhdellä laitteella.
WRG200-mittari on kestävä ja luotettava monenlaisissa sovelluksissa, aina tieteellisistä instrumenteista puolijohde- ja teollisuusprosesseihin, sillä se hyödyntää uusinta filamenttipirani- ja kylmäkatoditeknologiaa.
Kaikki yhdessä mittarissa, joka antaa sinulle edun vaihtaa automaattisesti karkean tyhjiön anturista korkeaan tyhjiöanturiin ja jolla on matala magneettinen häiriökenttä varmistaen, ettei se aiheuta häiriöitä ympäröivälle käyttöympäristölle.
The nWRG on WRG200:n digitaalinen vastine, joka säilyttää saman pienemmän koon ja suorituskyvyn samalla kun se tarjoaa digitaalisen viestinnän joustavuuden. Tämä tekee siitä ihanteellisen sovelluksiin, joissa vaaditaan tarkkoja ja suoria digitaalisia paineen mittauksia.
Mitkä ovat WRG200:n ominaisuudet?
- 360° LED-valorenkaan paineenilmaisin
- Pienempi koko
- Edistynyt filamenttiteknologia
- Ei tarvita ulkoista ohjainta
- Kuljettajia saatavilla
- Yhteensopiva pudotettava
- Laaja valikoima tehoa 15-48 V tehonsyötöstä
- Uudet magneetit
- Set-piste-rele
- C-kiristimen kanssa yhteensopiva versio
Laajakaistainen kylmäkatodi/pirani (WRG200 ja nWRG200)
Active Inverted Magnetron (AIM200) ja Laaja valikoima -mittari (WRG200) - Räjäytyskuva
0:11
Aktiivinen käänteinen magnetroni (AIM200) ja laajakaistamittari (WRG200) - Pyörivä näkymä
0:13
Active Inverted Magnetron (AIM200) ja Laaja valikoima -mittari (WRG200) - LED-valorengas visuaalinen paineilmaisin
0:27
APGX-H lineaariset konvektiotyhjiömittarit
Active Linear Convection Vacuum Gauge (APGX-H) -mittarilla on laaja mittausalue 1333:sta 3 x 10-4 mbariin.
Konvektiotekniikan käyttö varmistaa, että tarkkuus ja herkkyys säilyvät painealueen yläosassa verrattuna perinteisiin Pirani-mittareihin, joiden tarkkuus heikkenee yli 100 mbarin paineissa.
Mittari on pienikokoinen ja se voidaan asentaa mihin tahansa suuntaan, mikä yksinkertaistaa asennusta tilan ollessa rajallinen.
Aktiivinen lineaarinen konvektiotyhjiömittari (APGX-H)
AIGX-ionimittarit
Active Ion Gauge (AIGX) on kompakti aktiivinen ionimittari, jossa on kaksi yttriumoksidilla päällystettyä iridiumlankaa, laaja mittausalue 6,6 x 10-2 – 6,6 x 10-10 mbar ja 1 voltin/desiadi lineaarinen lähtö.
AIGX sisältää kaikki teollisuusstandardin aktiivisen mittauskonseptin edut, integroidulla elektroniikalla ja vaihdettavalla putkella. Mittarissa on degas-toiminto ja se sisältää ominaisuuksia, jotka suojaavat ja pidentävät filamenttien käyttöikää.
AIGX hyötyy erittäin alhaisista varattujen hiukkasten päästöistä, mikä tekee siitä erinomaisen valinnan prosesseihin, joissa taustakohina on ei-toivottua.
Aktiivinen ionimittari (AIGX)
WRH:n kuumakatodinen yhdistelmämittari
Active Hot Cathode Wide Range Gauge (WRH) tarjoaa mahdollisuuden mitata ilmakehästä aina 10-10 mbarin paineeseen yhdellä mittarilla, tarkkuudella ja toistettavuudella.
WRH-mittari hyödyntää kahta mittausmenetelmää (Bayard-Alpert & Pirani) yhdessä paketissa, tarjoten kaiken tarvittavan järjestelmäsi mittaamiseen ja hallintaan.
Analogisen ja RS485-lähdön ansiosta D-SUB-liittimen kautta, 2 sisäistä relettä ja helpon kalibroinnin avulla ohjaus ja valvonta on yksinkertaista.
Sisältyvää ohjelmistoa hyödyntämällä voit helposti seurata ja kirjata järjestelmäsi suorituskykyä ja myös tehdä säätöjä mittarien toimintaan, kuten asettaa asetusarvot tai muuttaa lähtöasteikkoa.
Tämä mittari on täydellinen kumppani moniin sovelluksiin, tutkimus- ja kehityslaitoksista huippuluokan massaspektrometriaan ja yleiseen teollisuuteen.
Aktiivinen kuumakatodinen laaja-alueinen mittari (WRH)
Passiiviset mittarit
Edwardsin passiiviset mittarit ovat mittaripäitä ilman sisäistä elektroniikkaa: hyvin sopivia ympäristöihin, joissa on suuria säteilymääriä tai erittäin korkeat ympäristön lämpötilat.
Vaikka aktiivinen mittaus hallitsee nyt markkinoita, on edelleen kapeita sovelluksia, joissa passiivinen mittaus on ylivertainen. Näihin kuuluvat kaikki sovellukset, joissa elektroniikan sijoittaminen lähelle koetta aiheuttaisi laitteen toimintahäiriön.
Ajoelektroniikka tarvitaan edelleen mittarin ohjaamiseen, mutta nämä voidaan sijoittaa etäohjattuna omassa ohjaimessamme, joka voidaan sijoittaa jopa 50 metrin päähän mittarista tarjoten "paikallisen" näytön ja paineen ulostulon järjestelmääsi varten.
Päähän, joka on kiinnitetty järjestelmään, sisältyvät vain fyysiseen mittaukseen tarvittavat osat, ja kaikki muu elektroniikka on sijoitettu ohjausyksikköön.
Siten ohjain ja kaapeli on oltava erityisesti halutulle mittarille sopivat.
Kestäviä ja tarkkoja ratkaisuja vaativimpiin ympäristöihin: täydellisiä korkean energian fysiikan ja T&K-sovelluksiin joissa säteily vahingoittaisi tavallisen aktiivisen mittarin elektroniikkaa. Näillä mittareilla on pitkä ja todistettu käyttöhistoria tällaisissa ympäristöissä.
Näissä sovelluksissa, joissa vaaditaan usein ultra-korkean tyhjiön paineita, passiivisilla painemittareillamme on laajin mittausalue, pystyvät saavuttamaan mittauksen jopa 2 x 10⁻¹² mbar asti IG40-EX-sarjallamme.
Passiivisten mittarien perhe
Usein kysytyt kysymykset epäsuorista paineenmittausmittareista
Voidaanko Edwardsin mittarit integroida olemassa oleviin tyhjiöjärjestelmiin?
Monet Edwardsin mittarit on suunniteltu mutkattomaan integrointiin sekä uusiin että olemassa oleviin tyhjiöjärjestelmiin, ja ne ovat saatavilla sekä analogisilla että digitaalisilla viestintävaihtoehdoilla.
Mitkä ovat Edwardsin epäsuorien paineenmittausmittarien edut?
- Saumaton integrointi uusiin ja olemassa oleviin alipainejärjestelmiin
- Valitut mittarit valmistetaan itse
- Luotettava Edwardsin tyhjiöalan asiantuntemus ja tekninen tuki
- Täydellinen tyhjiömittarivalikoima monipuolisiin paineenmittausvaatimuksiin
- Lyhennetyt toimitusajat valituissa mittareissa*
- Luotettava tuotteen saatavuus ja maailmanlaajuinen tuki
Toimitusajat ja saatavuus voivat vaihdella alueittain
Mitä tyhjiömittareita käytetään puolijohdesovelluksissa?
Puolijohdelaitteet vaativat usein mittareita, jotka pystyvät seuraamaan tyhjiötasoja pumpun tyhjennyksen, käsittelyn ja tuuletuksen aikana. Edwards tarjoaa useita sopivia teknologioita, mukaan lukien Pirani-, käänteismagnetroni- ja laajakaistamittarit, painealueesta ja sovellusvaatimuksista riippuen.
Mitkä alipainemittarit soveltuvat analyyttisiin instrumentteihin?
Analyyttiset instrumentit vaativat usein vakaan ja tarkan tyhjiön mittauksen, jossa on kompakti integrointi. APG200- ja AIM200-mittarit ovat yleisesti käytettyjä analyyttisissä ja tieteellisissä sovelluksissa.
- Asiakirjat
- Asiakastarina
- Lisää lukemista
