Pada vakum tinggi dan ultra tinggi, tekanan akhir yang dicapai oleh sistem pam turbomolekul terhad oleh keadaan di inlet dan ekzosnya.
Di sini kami menerangkan mengapa:
Beban proses dalam sistem vakum
Proses beban dalam sistem vakum boleh diringkaskan dalam rajah di bawah:
- Beban proses
- Pengeluaran gas
- Kebocoran
- Aliran balik
- Gas awal
Dalam HV, UHV dan XHV, beban gas yang dominan adalah dari pengeluaran gas.
... yang secara amnya merupakan satu ringkasan tentang:
- Desorpsi permukaan
- Pengedaran besar dinding bilik
- Penetrasi atmosfera luar
- Permeasi
- Permukaan luar
- Permukaan dalaman
- Difusi
- Penguapan
- Desorpsi
Dalam julat vakum ini terdapat satu corollari kepada 'beban proses'.
Sebagai contoh dalam pemecut/penggempur di mana 'desorpsi terangsang' permukaan daripada impak elektron, foton dan ion boleh menjadi sumber gas yang signifikan.
Tekanan total atau akhir Ptot di atas pam turbomolekul adalah:
di mana PTi adalah tekanan separa gas ke-i; ini ditentukan oleh tekanan separa saluran sokongan pam turbomolekul (PTbi) melalui Nisbah Pemampatan (CRi) pam turbomolekul untuk setiap gas ke-i.
Pengeluaran gas (dan sumber gas lain) dalam ruang gas ke-i memberikan beban tambahan PQi.
di mana Qi adalah beban gas bagi gas ke-i dan Si adalah kelajuan pam turbomolekul untuk gas ke-i.
Namun terdapat faktor-faktor yang menyulitkan...
PQi dan PTi adalah bergantung secara fungsional kerana:
Si dan CRi kedua-duanya bergantung kepada tekanan inlet dan tekanan sokongan serta aliran.
di mana So adalah kelajuan aliran sifar dan Kmax adalah nisbah mampatan aliran ‘sifar’. Oleh itu, tanpa mengambil kira pengeluaran gas dan beban gas lain, tekanan akhir yang dijangkakan adalah:
Muat turun nota permohonan lengkap
