Pengukur vakum telah dibangunkan secara selari dengan pembangunan pam vakum.
Pengukuran tekanan adalah penting untuk pelbagai sebab yang merangkumi penentuan keadaan persekitaran vakum hingga mengintegrasikan rutin pam, penguncian, dan kawalan proses serta bahkan untuk keselamatan.
Apa yang perlu saya pertimbangkan semasa memilih pengukur vakum?
Disiplin vakum hampir unik kerana mempunyai julat dinamik 15 atau lebih pesanan dalam aplikasinya.
Seperti pam, terdapat tiada satu mekanisme pengukur yang boleh merangkumi julat ini. Terdapat banyak aspek dan pembolehubah tambahan yang perlu dipertimbangkan ketika memilih pengukur.
Ini termasuk:
- Parameter teknikal seperti ketepatan/ketidakpastian (jangkaan ralat sistematik)
- Ketepatan (tahap ralat rawak)
- Resolusi
- Julat pengukuran
- Lineariti output
- Reproduksibiliti
- Ketahanan (keserasian proses, ketahanan terhadap sinaran, dan medan magnet)
- Masa respons.
Selain itu, saiz, protokol komunikasi, dan kos semuanya mempengaruhi pilihan.
Dua jenis utama pengukur
Pembacaan langsung atau pengukur mekanikal
Pembacaan langsung atau pengukur mekanikal dipanggil demikian kerana ia mengukur tekanan 'secara langsung' sebagai daya per unit kawasan (kawasan pepejal atau cecair).
Ini adalah pengukur tekanan 'Jumlah' (hukum Dalton: Tekanan total campuran gas = ∑ tekanan separa setiap gas) dan termasuk manometer tiub-U, manometer diafragma kapasitif dan pengukur bourdon.
Pengukur tidak langsung
Pengukur tidak langsung sering kali merupakan pengukur yang paling praktikal dan digunakan serta mengukur sifat fizikal gas yang bergantung kepada tekanan, contohnya konduktiviti terma atau kelikatan, atau kuantiti fizikal yang berkadar dengan ketumpatan nombor.
Pengukur Tekanan Jumlah ini termasuk Pirani, Bayard-Alpert Hot Cathode Ionization (BAG), Penning dan Pengukur Rotor Berputar. Pengukur tekanan separa (Penganalisis Gas Residual) yang bergantung kepada ionisasi boleh digunakan untuk menganalisis komponen relatif dalam vakum.
Untuk kajian yang lebih mendalam, anda boleh membaca kertas ‘Gas correction factors for vacuum pressure gauges’ dari perpustakaan dalam talian Wiley.