Indirekte trykmålere

Indirekte trykmålere

Fleksible løsninger til trykovervågning

Vores indirekte trykmåleinstrumenter er perfekte til lavtryksmiljøer og tilbyder præcise trykvisninger over et stort udvalg.

Disse målere tilpasses forskellige gastyper for nøjagtige resultater. For avanceret kontrol kan du udforske vores digitale varianter, med nem integration i digitale systemer.

Designet til problemfri integration i både nye og eksisterende vakuumsystemer, tilbyder disse måleinstrumenter en ukompliceret løsning til en bred vifte af vakuumapplikationer.

Find det rette måleinstrument til dine behov.

Indirekte trykmålere: ideelle til brug ved lavtryk

Indirekte trykmålere måler trykafhængige egenskaber, såsom termisk ledningsevne, hvilket gør dem ideelle til brug ved lavtryk, hvor partikelantallet er lavt for nøjagtig direkte trykmåling.

Trykmålinger med disse målere afhænger af gastypen, derfor kan korrektionsfaktorer bruges til at aflæse det korrekte tryk i henhold til specifikationerne for dit system.

Disse måleinstrumenter giver præcise aflæsninger over et bredt trykområde, velegnede til forskellige industrielle, halvleder- og videnskabelige anvendelser. Se oversigten for at sammenligne teknologier og identificere den mest egnede løsning til dit vakuumsystem.

For forbedret integration og styring, tilbyder vi digitale varianter af nogle af vores mest populære måleinstrumenter såsom:

  • nAPG200 - Pirani-måler
  • nAIM200 - Inverteret magnetronmåler 
  • nWRG200 - Måleinstrument med bredt område.

Disse digitale versioner har RS232- eller RS485-kommunikationsgrænseflader, hvilket muliggør nem integration med PC'er eller PLC'er uden behov for analoge controllere. Denne mulighed er især nyttig for systemer, der kræver direkte digitale input og præcis overvågning.

APG Pirani-målere

The Active Pirani Gauge (APG200) er egnet til alle vakuummarkeder, fra analytiske instrumenter, der kan drage fordel af den reducerede størrelse og fleksible udgange, til halvlederindustrien, hvor de nye grænseflader og lysringe muliggør bedre vedligeholdelse af systemer, til forskning og udvikling, hvor den lokale trykindikation hjælper med at overvåge eksperimenter væk fra hovedgrænsefladerne.

Den digitale variant af vores APG200 Pirani-måler, kendt som nAPG200, tilbyder RS232 eller RS485 digitale kommunikationsmuligheder. Dette muliggør problemfri integration med PC'er eller programmerbare logiske styringer (PLS), hvilket gør den til et fremragende valg for systemer, der kræver direkte digitale input.

Hvad er funktionerne ved APG200?

  • 360° LED-lysrings trykindikator
  • Kompakt størrelse
  • Lang filament
  • Integreret filter (version uden filter tilgængelig)
  • Drop kompatibel
  • Strømforsyning med bredt spændingsområde fra 15-48V
  • Digital/Analog
  • Indstillingsrelæ
Edwards APG200 Pirani-måler - set forfra

APG200 Pirani-måler

APG200 aktiv pirani-måler - eksploderet visning
APG200 aktiv pirani-måler - eksploderet visning miniaturebillede
APG200 aktiv pirani-måler - eksploderet visning
0:11
APG200 aktiv pirani-måler - rotationsvisning miniaturebillede
APG200 aktiv Pirani-måler - rotationsvisning
0:12
APG200 aktiv pirani-måler - LED-lysrings-miniaturebillede
APG200 aktiv pirani-måler - LED-lysring
0:20

AIM Inverterede Magnetronmålere

De aktive inverterede magnetronmåler (AIM200) giver præcis måling over vakuumområdet fra 1 x 10-2 til 1 x 10-9 mbar.

Denne måler er robust og pålidelig i en bred vifte af anvendelser, der spænder fra videnskabelige instrumenter til industrielle processer.

AIM200-måleren er et inverteret magnetron målehoved og målekontrolenhed kombineret i en enkelt kompakt enhed, og har et meget lavt eksternt magnetfelt, kombineret med en forbedret antændingsmekanisme, hvilket gør den ideel til brug med følsomme analytiske instrumenter eller i applikationer, hvor måleren skal monteres tæt på følsomt udstyr.

The nAIM er den digitale version af vores AIM200, den understøtter RS232 eller RS485 kommunikation, og leverer samme footprint og ydeevne som den analoge version, samtidig med at den muliggør nemmere dataindsamling og styring gennem digitale systemer.

Hvad er funktionerne ved AIM200?

  • 360° LED-lysrings trykindikator
  • Reduceret fladeareal
  • Multipunkt stjernespids
  • Ingen ekstern controller nødvendig
  • Tilgængelige chauffører
  • Drop-in kompatibel
  • Strømforsyning med bredt spændingsområde fra 15-48V
  • Nye magneter
  • Indstillingsrelæ
  • Variant kompatibel med C-klemme
Edwards aktiv inverteret magnetronmåler (AIM200)

Aktiv inverteret magnetronmåler (AIM200)

WRG koldkathode kombinationsmålere

Wide Range Gauge (WRG200) tilbyder mulighed for trykmåling på et enkelt punkt i området atmosfære til 10-9 mbar, hvilket dækker ikke kun den indledende kammerpumpning, men også procestryk, alt sammen i én enhed.

WRG200-måleren er robust og pålidelig i en bred vifte af anvendelser, der spænder fra videnskabelige instrumenter til halvleder- og industrielle processer, da den udnytter den nyeste filament Pirani- og koldkatodeteknologi.

En alt-i-én måler, der giver dig fordelen ved automatisk at skifte fra den grove vakuumsensor til den høje vakuumsensor og har et lavt magnetisk spredningsfelt for at sikre, at der ikke opstår forstyrrelser i det omkringliggende miljø.

The nWRG er den digitale modpart til WRG200, der bevarer samme anlægsflade og ydeevne samtidig med at tilbyde fleksibiliteten ved digital kommunikation. Dette gør den ideel til applikationer, hvor præcise og direkte digitale trykmålinger er påkrævet.

Hvad er funktionerne ved WRG200?

  • 360° LED-lysrings trykindikator
  • Reduceret fladeareal
  • Avanceret filamentteknologi
  • Ingen ekstern controller nødvendig
  • Tilgængelige chauffører
  • Drop-in kompatibel
  • Strømforsyning med bredt spændingsområde fra 15-48V
  • Nye magneter
  • Indstillingsrelæ
  • Variant kompatibel med C-klemme
Edwards bredspektrede måler med kold katode/pirani (WRG200 og nWRG200)

Wide range målekolde katode/pirani (WRG200 og nWRG200)

Active Inverted Magnetron (AIM200) og Wide Range Gauge (WRG200) - Exploderet visning
Active Inverted Magnetron (AIM200) og Wide Range Gauge (WRG200) - Eksploderet visning miniaturebillede
Active Inverted Magnetron (AIM200) og Wide Range Gauge (WRG200) - Exploderet visning
0:11
Aktiv Inverteret Magnetron (AIM200) og Wide Range Gauge (WRG200) - Rotationsvisning miniaturebillede
Aktiv inverteret magnetron (AIM200) og Wide Range Gauge (WRG200) - Rotationsvisning
0:13
Active Inverted Magnetron (AIM200) og Wide Range Gauge (WRG200) - LED-lysrings visuel trykindikator vis miniaturebillede
Active Inverted Magnetron (AIM200) og Wide Range Gauge (WRG200) - LED-lysrings visuel trykindikator visning
0:27

APGX-H lineære konvektionsvakuummålere

Det aktive lineære konvektionsvakuummåler (APGX-H) har et bredt måleområde fra 1333 til 3 x 10-4 mbar.

Brugen af konvektionsteknologi sikrer, at nøjagtighed og følsomhed opretholdes i den øverste del af trykområdet sammenlignet med konventionelle Pirani-målere, som mister nøjagtighed over 100 mbar.

Måleren er kompakt og kan monteres i enhver orientering, hvilket forenkler installationen, hvor pladsen er begrænset.

Aktiv lineær konvektionsvakuummåler (APGX-H)

Aktiv lineær konvektionsvakuummåler (APGX-H)

AIGX Ionmålere

Den aktive ionmåler (AIGX) er en kompakt aktiv ionmåler med dobbelte iridiumfilamenter belagt med yttria, et bredt måleområde fra 6,6 x 10-2 til 6,6 x 10-10 mbar og en lineær udgang på 1 Volt/decade.

AIGX inkorporerer alle fordelene ved branchestandarden for aktiv måling, med integreret elektronik og udskifteligt rør. Måleren har en affugtningsfunktion og inkluderer egenskaber, der beskytter og forlænger levetiden for filamenterne.

AIGX drager fordel af ekstremt lave emissioner af ladede partikler, hvilket gør den til et fremragende valg til processer, hvor baggrundsstøj er uønsket.

Aktiv Ionmåler (AIGX)

Aktiv Ionmåler (AIGX)

WRH varm katode kombinationsmåler

Den aktive hotkathode bredt område måler (WRH) tilbyder muligheden for at måle fra atmosfære til 10-10 mbar med en enkelt måler, med nøjagtighed og reproducerbarhed.

WRH-måleren anvender 2 målemetoder (Bayard-Alpert & Pirani) i én enkelt enhed, hvilket giver dig alt, hvad du behøver for at måle og kontrollere dit system.

Med analog og RS485 udgang tilgængelig via D-SUB-stikket, 2 indbyggede relæer og nem kalibrering, er styring og overvågning enkel.

Ved hjælp af den medfølgende software kan du let spore og registrere dit systems ydeevne og også foretage justeringer af målerens adfærd, såsom at indstille sætpunktet eller ændre outputskaleringen.

Denne måler er den perfekte ledsager til mange anvendelser, fra forsknings- og udviklingsinstitutter til avanceret massespektrometri og videre til generel industri.

Edwards aktiv varm katode bredt område måler (WRH)

Aktiv varm katode bredt område måler (WRH)

Passive målere

Edwards Passive målere er målehoved uden indbygget elektronik: velegnet til miljøer med høje mængder stråling eller meget høje omgivelsestemperaturer.

Mens aktiv måling nu dominerer markedet, er der stadig niche anvendelsesområder, hvor passiv måling er overlegen. Disse inkluderer enhver anvendelse hvor tilstedeværelsen af elektronik tæt på eksperimentet ville resultere i, at enheden fejler.

Driveelektronik er stadig nødvendig for at styre måleren, men disse kan holdes eksternt i vores dedikerede styreenhed, som kan placeres op til 50 m væk fra måleren for at give en "lokal" visning og trykafgang til dit system.

Hovedet, der er tilsluttet systemet, indeholder kun de elementer, der er nødvendige for den fysiske måling, og al anden elektronik er indeholdt i controlleren.

Som sådan skal styreenheden og kablet være specifikke for den ønskede målemetode.

Robuste og præcise løsninger til barskeste miljøer: perfekte til High Energy Physics og R&D-anvendelser hvor stråling ville beskadige en normal aktiv målers elektronik. Disse målere har en lang og dokumenteret erfaring i sådanne miljøer.

Med disse applikationer, der ofte kræver Ultra High Vacuum-tryk, har vores passive trykmålere det bredeste måleområde, i stand til at opnå målinger ned til 2 x 10⁻¹² mbar med vores IG40-EX-serie.

Familie af passive trykmålere

Passive målerfamilie

Ofte stillede spørgsmål om indirekte trykmåleinstrumenter

Kan Edwards-målere integreres i eksisterende vakuumsystemer?

Mange Edwards-målere er designet til ukompliceret integration i både nye og eksisterende vakuumsystemer og fås med både analoge og digitale kommunikationsmuligheder.

Hvad er fordelene ved Edwards indirekte trykmålere?

  • Problemfri integration med nye og eksisterende vakuumsystemer
  • Udvalgte måleinstrumenter fremstilles internt
  • Pålidelig Edwards vakuumekspertise og teknisk support
  • Komplet vakuummålerportefølje til forskellige trykmålebehov
  • Reducerede leveringstider på udvalgte måleinstrumenter*
  • Pålidelig produkt tilgængelighed og global support

Leveringstider og tilgængelighed kan variere efter område

Hvilke vakuummålere anvendes til halvlederapplikationer?

Halvlederudstyr kræver ofte måleinstrumenter, der kan overvåge vakuumniveauer gennem hele pumpenedsænkning, behandling og ventilation. Edwards tilbyder flere egnede teknologier, herunder Pirani, inverteret magnetron og måleinstrumenter med bredt trykområde, afhængigt af trykområdet og applikationskravene.

Hvilke vakuummålere er egnede analytiske instrumenter?

Analytiske instrumenter kræver ofte stabil og præcis vakuummåling med kompakt integration. APG200 og AIM200 måleinstrumenter anvendes almindeligvis i analytiske og videnskabelige applikationer.

AIGX Active Ion Gauge - Datasheet
3601-0131-01-AIGX-datasheet

PDF

525.6 kB

PDF

525.6 kB

↓
WRH Active Hot Cathode Pirani Gauge - Datasheet
3601-0613-01-WRH-Datasheet

PDF

407.2 kB

Passive Gauges and Controllers - Datasheet
3601-0307-01-Passive-Gauges

PDF

1.7 MB

PDF

1.7 MB

↓
AIM200 Active Inverted Magnetron Gauge - Datasheet
3601-0754-01-AIM200-Datasheet

PDF

768.1 kB