Pengukur digunakan untuk pelbagai sebab dalam sistem vakum, termasuk:
- Untuk menentukan tekanan (adakah tekanan UHV cukup rendah untuk mengoptimumkan eksperimen?),
- Bertindak sebagai 'inter-locks' atau 'switches' sistem (apabila pam sekunder boleh dihidupkan)
- Untuk 'mengawal' proses pengeluaran.
Apakah faktor-faktor yang perlu dipertimbangkan semasa memilih pengukur vakum?
Faktor-faktor seperti kebolehulangan ukuran, ketepatan, kestabilan, resolusi, lineariti, masa tindak balas, julat dinamik dan ketahanan serta kos adalah semua pertimbangan penting dalam memilih ukuran.
Pengukur vakum adalah sama ada Total - tekanan total adalah jumlah tekanan separa bagi setiap gas: undang-undang Dalton.
Separuh yang mengukur tekanan (separuh) bagi spesies gas individu.
Selain itu, pengukur mutlak disebut ‘primer’ kerana ia boleh dikalibrasi daripada sifat fizikalnya sendiri atau ‘sekunder’ bagi pengukur yang tidak boleh dilakukan demikian dan memerlukan kalibrasi berasingan.
Pengukur juga boleh dibahagikan kepada dua kumpulan utama: yang mengukur tekanan secara langsung (kuasa yang dikenakan oleh molekul gas yang bertembung) dan yang mengukur tekanan secara tidak langsung dengan mengukur sifat-sifat gas yang berubah mengikut tekanan. Pengukur tidak langsung mesti dikalibrasi (atau mempunyai bacaan yang disesuaikan) untuk gas tertentu yang ada – oleh itu, bacaan mereka adalah "bergantung kepada jenis gas". Pengukur langsung yang tersedia secara komersial mempunyai had bawah praktikal sebanyak 10-4 mbar, jadi penggunaan pengukur tidak langsung adalah perlu pada tekanan ini dan yang lebih rendah.
Pengukur langsung dibahagikan lagi kepada yang mana perbezaan antara tekanan yang diukur dan rujukan menggerakkan cecair atau elemen elastik/mekanikal.
Pengukur tidak langsung sering dikalibrasi untuk nitrogen. Sebagai contoh, jika kepekaan untuk nitrogen adalah SN2 dan tekanan yang ditunjukkan (diukur) = PN2, maka jika gas tersebut diketahui, tekanan gas sebenar (= Pgas) adalah:
Sgas = kepekaan relatif untuk gas.
Dalam kes di mana SN2 = 1 maka hanya
Apabila terdapat pelbagai spesies gas, maka situasi menjadi rumit. Pada peringkat awal, peratusan komposisi gas perlu diketahui.
Kemudian dari prinsip asas untuk pelbagai gas penyusun di mana ri = Pi/PN2 adalah komponen relatif gas ke-i dan kepekaan relatif gas ke-i adalah si = Pindicated(N2)/Ptrue , hubungan antara tekanan ‘benar’ (atau sebenar) dan tekanan yang ditunjukkan adalah seperti berikut: