Pam sekunder memerlukan pam utama untuk memulakan 'pengisian' mereka untuk operasi dan/atau untuk menyokong operasi berterusan mereka.
Terdapat beberapa faktor yang perlu dipertimbangkan untuk kombinasi atau 'padanan' pam utama dan sekunder yang betul bagi memastikan prestasi yang selamat dan dioptimumkan.
Mengapa penting untuk memilih kombinasi pam yang betul?
Akibat pemilihan yang salah boleh menjadi serius, dari pam difusi yang ‘terhenti’ (dan pencemaran minyak yang besar) hingga pemanasan berlebihan pam turbomolekul.
Yang berikut menerangkan keperluan ini yang diilustrasikan dengan contoh-contoh biasa.
Apakah kegunaan pam utama dan pam sekunder?
Pam vakum utama (PP) adalah pam yang mengeluarkan ke tekanan atmosfera.
Ini termasuk pam bilah putar yang disegel minyak (OSRV), diafragma, skrol, akar pelbagai peringkat, piston, skru dan pam cincin cecair.
Pam sekunder (SP) memerlukan pengosongan awal oleh pam utama dan kadangkala pam sekunder lain ke tekanan yang diperlukan sebelum beroperasi.
Sebagai contoh, pam penyebaran minyak (ODP), pam turbomolekul (TMP), pemacu wap (VB), penambah mekanikal (MB), pam pengambil ion (IGP), pam sublimasi titanium (TSP), pengambil tidak boleh menguap (NEG), pam kriogenik, pemindahan molekul dan pam regeneratif.
Dalam beberapa kes, pam sokongan tambahan diperlukan untuk operasi berterusan; ini adalah kes bagi pam ODP, TMP dan VB.
Faktor yang perlu dipertimbangkan semasa memadankan pam utama dan pam sekunder
Untuk mencocokkan PP dan SP, terdapat beberapa perkara yang perlu dipertimbangkan:
- Masa pemompaan awal oleh PP ke titik di mana SP ‘mengambil alih’ proses pemompaan. Ini sangat penting jika SP bermula pada masa yang sama dengan PP dan tekanan tertentu mesti dicapai dalam masa tertentu untuk mengelakkan SP daripada ‘habis masa’.
- Terdapat ‘lonjakan’ awal aliran gas dan lonjakan tekanan apabila SP bermula. Ini ditunjukkan oleh rajah di bawah di mana nXDS15i scroll adalah PP dan nEXT300D adalah TMP sekunder; lonjakan dalam throughput sepadan dengan peningkatan tekanan apabila SP ‘mengambil alih’ pengepaman.
Ini akan memberikan peningkatan yang bersesuaian sebanyak ~1.5 mbar dalam PP seperti yang ditunjukkan di bawah:
- Tekanan Sokongan Maksimum (MBP) / Tekanan Sokongan Kritikal (CBP) tidak boleh melebihi. Ini menetapkan had pada aliran gas maksimum. PP mesti mempunyai prestasi kelajuan yang mencukupi pada tekanan sokongan yang diperlukan dan bukannya menganggap kelajuan puncak/nominal PP.
- Nilai MBP mungkin dinyatakan oleh pengeluar untuk aliran sifar dan bukannya dengan aliran.
- Kebersihan (adakah pam kering diperlukan?).
- Adakah PP perlu boleh diintegrasikan dengan SP?
- Apakah atmosfera sisa tipikal PP – terutamanya apabila digabungkan dengan TMP berkaitan dengan pemampatan? Ini penting kerana, sebagai contoh, nisbah mampatan TMP untuk H2 yang relatif rendah mungkin mengehadkan tekanan akhir yang dapat dicapai jika tekanan separa H2 dalam pam sokongan adalah signifikan.
Muat turun nota permohonan lengkap
