Your browser is not supported

Bạn đang sử dụng trình duyệt chúng tôi không còn hỗ trợ. Để tiếp tục truy cập trang web của chúng tôi, vui lòng chọn một trong các trình duyệt được hỗ trợ sau.

Search Edwards Vacuum

Máy đo áp suất gián tiếp

Máy đo áp suất gián tiếp

Các giải pháp linh hoạt cho việc giám sát áp suất

Các đồng hồ đo áp suất gián tiếp của chúng tôi hoàn hảo cho môi trường áp suất thấp, cung cấp các chỉ số chính xác trên một dòng sản phẩm đa dạng.

Các đồng hồ đo này thích ứng với các loại khí khác nhau để cho kết quả chính xác. Để kiểm soát nâng cao, hãy khám phá các biến thể kỹ thuật số của chúng tôi, với khả năng tích hợp dễ dàng vào các hệ thống kỹ thuật số.

Được thiết kế để tích hợp liền mạch vào cả hệ thống chân không mới và hiện có, các đồng hồ đo này cung cấp giải pháp đơn giản cho dòng sản phẩm đa dạng các ứng dụng chân không.

Khám phá đồng hồ đo áp suất phù hợp với nhu cầu của bạn.

Máy đo áp suất gián tiếp: lý tưởng để sử dụng trong áp suất thấp

Đồng hồ đo áp suất gián tiếp đo các tính chất phụ thuộc vào áp suất, chẳng hạn như độ dẫn nhiệt, khiến chúng trở nên lý tưởng để sử dụng ở áp suất thấp, nơi mật độ số lượng hạt thấp để đo áp suất trực tiếp chính xác.

Đo áp suất với các đồng hồ đo này phụ thuộc vào loại khí, do đó có thể sử dụng các hệ số hiệu chỉnh để đọc được áp suất chính xác theo đặc điểm cụ thể của hệ thống của bạn.

Các đồng hồ đo này cung cấp các chỉ số chính xác trên một phạm vi áp suất rộng, phù hợp cho nhiều ứng dụng công nghiệp, thiết bị điện tử và bán dẫn cũng như khoa học. Tham khảo tổng quan để so sánh các công nghệ và xác định giải pháp phù hợp nhất cho hệ thống chân không của bạn.

Để tăng cường tích hợp và kiểm soát, chúng tôi cung cấp các biến thể kỹ thuật số của một số đồng hồ đo phổ biến nhất của chúng tôi như:

  • nAPG200 - đồng hồ đo áp suất Pirani
  • nAIM200 - Đồng hồ đo Magnetron đảo ngược 
  • nWRG200 - Đồng hồ đo phạm vi rộng.

Các phiên bản kỹ thuật số này có giao diện truyền thông RS232 hoặc RS485, cho phép dễ dàng tích hợp với PC hoặc PLC mà không cần bộ điều khiển tương tự. Tùy chọn này đặc biệt hữu ích cho các hệ thống yêu cầu đầu vào kỹ thuật số trực tiếp và giám sát chính xác.

Đồng hồ đo áp suất Pirani APG

Đồng hồ đo Active Pirani Gauge (APG200) phù hợp với tất cả các thị trường chân không, từ các thiết bị phân tích có thể tận dụng kích thước nhỏ gọn và các đầu ra linh hoạt, đến chất bán dẫn với các giao diện mới và vòng sáng giúp bảo trì hệ thống tốt hơn, đến Nghiên cứu & Phát triển nơi chỉ báo áp suất tại chỗ giúp theo dõi các thí nghiệm xa các giao diện chính.

Biến thể kỹ thuật số của đồng hồ đo Pirani APG200 của chúng tôi, được gọi là nAPG200, cung cấp các tùy chọn giao tiếp kỹ thuật số RS232 hoặc RS485. Điều này cho phép tích hợp liền mạch với máy tính cá nhân hoặc bộ điều khiển logic lập trình (PLC), làm cho nó trở thành lựa chọn tuyệt vời cho các hệ thống yêu cầu đầu vào kỹ thuật số trực tiếp.

Các tính năng của APG200 là gì?

  • Vòng đèn LED 360° chỉ báo áp suất
  • Kích thước nhỏ gọn
  • Sợi dài
  • Bộ lọc tích hợp (phiên bản không có bộ lọc có sẵn)
  • Tương thích cắm vào
  • Nguồn điện đa dạng từ 15-48V
  • Kỹ thuật số/Tương tự
  • Rơ-le điểm đặt
Đồng hồ đo Pirani Edwards APG200 - nhìn từ phía trước

Đồng hồ đo Pirani APG200

Đồng hồ đo Pirani hoạt động APG200 - hình ảnh chi tiết phân rã
Đồng hồ đo Pirani hoạt động APG200 - hình ảnh chi tiết dạng nổ
Đồng hồ đo Pirani hoạt động APG200 - hình ảnh chi tiết phân rã
0:11
Đồng hồ đo Pirani hoạt động APG200 - hình thu nhỏ góc nhìn xoay
Đồng hồ Pirani hoạt động APG200 - góc nhìn xoay
0:12
Đồng hồ Pirani hoạt động APG200 - vòng đèn LED
Đồng hồ đo Pirani hoạt động APG200 - vòng đèn LED
0:20

Đồng hồ đo từ trường đảo ngược AIM

Các đồng hồ đo Active Inverted Magnetron (AIM200) cung cấp đo lường chính xác trong phạm vi chân không từ 1 x 10-2 đến 1 x 10-9 mbar.

Đồng hồ đo này bền bỉ và đáng tin cậy trong nhiều ứng dụng khác nhau, từ thiết bị khoa học đến các quy trình công nghiệp.

Đồng hồ đo AIM200 là một đầu đồng hồ đo magnetron đảo ngược và bộ điều khiển đồng hồ đo kết hợp trong một thiết bị nhỏ gọn duy nhất, và có trường từ bên ngoài rất thấp, kết hợp với cơ chế đánh lửa được cải tiến làm cho nó lý tưởng để sử dụng với các thiết bị phân tích nhạy cảm hoặc trong các ứng dụng nơi đồng hồ đo cần được gắn gần với thiết bị nhạy cảm.

The nAIM là phiên bản kỹ thuật số của AIM200, nó hỗ trợ giao tiếp RS232 hoặc RS485, cung cấp cùng diện tích bố trí và hiệu suất như phiên bản tương tự trong khi cho phép thu thập dữ liệu và điều khiển dễ dàng hơn thông qua các hệ thống kỹ thuật số.

Các tính năng của AIM200 là gì?

  • Chỉ báo áp suất vòng đèn LED 360°
  • Dấu chân giảm thiểu
  • Đầu phát đa điểm
  • Không cần bộ điều khiển bên ngoài
  • Tài xế có sẵn
  • Tương thích thả vào
  • Dải điện áp rộng từ 15-48V bộ cấp nguồn
  • Nam châm mới
  • Rơ-le điểm đặt
  • Biến thể tương thích với kẹp chữ C
Đồng hồ đo từ trường đảo ngược chủ động Edwards (AIM200)

Đồng hồ đo từ trường đảo ngược chủ động (AIM200)

Đồng hồ kết hợp Catốt Lạnh WRG

Đồng hồ đo phạm vi rộng (WRG200) cung cấp khả năng đo áp suất cổng đơn trong phạm vi từ áp suất khí quyển đến 10-9 mbar, bao phủ không chỉ quá trình bơm buồng ban đầu mà còn cả áp suất quá trình trong một thiết bị duy nhất.

Đồng hồ đo WRG200 bền bỉ và đáng tin cậy trong nhiều ứng dụng khác nhau từ thiết bị khoa học đến quy trình chất bán dẫn và công nghiệp vì nó sử dụng công nghệ Pirani dây tóc và cathode lạnh tiên tiến nhất.

Một đồng hồ đo đa năng mang lại cho bạn lợi thế chuyển đổi tự động từ cảm biến chân không thô sang cảm biến chân không cao và có trường từ tạp thấp để đảm bảo không gây nhiễu với môi trường xung quanh.

The nWRG là phiên bản kỹ thuật số của WRG200, giữ nguyên diện tích nhỏ hơn và hiệu suất trong khi cung cấp sự linh hoạt của giao tiếp kỹ thuật số. Điều này làm cho nó lý tưởng cho các ứng dụng yêu cầu đo áp suất kỹ thuật số chính xác và trực tiếp.

Các tính năng của WRG200 là gì?

  • Chỉ báo áp suất vòng đèn LED 360°
  • Dấu chân giảm thiểu
  • Công nghệ sợi tóc tiên tiến
  • Không cần bộ điều khiển bên ngoài
  • Tài xế có sẵn
  • Tương thích cắm vào
  • Nguồn điện đa dạng từ 15-48V
  • Nam châm mới
  • Rơ-le điểm đặt
  • Biến thể tương thích với kẹp chữ C
Đồng hồ đo phạm vi rộng cathode lạnh/pirani (WRG200 và nWRG200) của Edwards

Đồng hồ đo phạm vi rộng cathode lạnh/Pirani (WRG200 và nWRG200)

Magnetron Đảo Ngược Chủ Động (AIM200) và Đồng Hồ Đo Dòng Sản Phẩm Đa Dạng (WRG200) - Hình ảnh chi tiết
Active Inverted Magnetron (AIM200) và Đồng hồ đo Dòng sản phẩm đa dạng (WRG200) - Hình ảnh chi tiết phân rã
Magnetron Đảo Ngược Chủ Động (AIM200) và Đồng Hồ Đo Dòng Sản Phẩm Đa Dạng (WRG200) - Hình ảnh chi tiết
0:11
Magnetron Đảo Ngược Chủ Động (AIM200) và Đồng Hồ Đo Phạm Vi Rộng (WRG200) - Hình thu nhỏ góc nhìn xoay
Magnetron Đảo Ngược Chủ Động (AIM200) và Đồng Hồ Đo Dòng Sản Phẩm Đa Dạng (WRG200) - Góc nhìn xoay
0:13
Magnetron Đảo Ngược Chủ Động (AIM200) và Đồng Hồ Đo Phạm Vi Rộng (WRG200) - Vòng Đèn LED Hiển Thị Áp Suất
Active Inverted Magnetron (AIM200) và Đồng hồ đo Dòng sản phẩm đa dạng (WRG200) - Vòng đèn LED chỉ báo áp suất bằng hình ảnh
0:27

Đồng hồ đo chân không đối lưu tuyến tính APGX-H

Đồng hồ đo chân không đối lưu tuyến tính chủ động (APGX-H) có phạm vi đo rộng từ 1333 đến 3 x 10-4 mbar.

Việc sử dụng công nghệ đối lưu đảm bảo độ chính xác và độ nhạy được duy trì ở mức cao nhất của dải áp suất so với các đồng hồ Pirani thông thường, vốn mất độ chính xác trên 100 mbar.

Đồng hồ đo có kích thước gọn nhẹ và có thể được lắp đặt ở bất kỳ vị trí nào, giúp đơn giản hóa việc lắp đặt khi không gian hạn chế.

Đồng hồ đo chân không đối lưu tuyến tính chủ động (APGX-H)

Đồng hồ đo chân không đối lưu tuyến tính chủ động (APGX-H)

Đồng hồ đo Ion AIGX

Bộ đo Ion Chủ động (AIGX) là một bộ đo ion chủ động nhỏ gọn với hai dây tóc iridi phủ yttria, phạm vi đo rộng từ 6,6 x 10-2 đến 6,6 x 10-10 mbar, và đầu ra tuyến tính 1 Volt/decade.

AIGX kết hợp tất cả các lợi ích của tiêu chuẩn ngành trong khái niệm đo lường chủ động, với điện tử tích hợp và ống có thể thay thế. Đồng hồ đo có chức năng khử khí và bao gồm các tính năng để bảo vệ và kéo dài tuổi thọ của các sợi dây tóc.

AIGX có lợi thế từ lượng phát thải các hạt mang điện cực kỳ thấp, điều này làm cho nó trở thành một sự lựa chọn xuất sắc cho các quy trình mà tiếng ồn nền không mong muốn.

Đồng hồ đo ion hoạt động (AIGX)

Đồng hồ đo ion hoạt tính (AIGX)

Đồng hồ kết hợp Catốt Nóng WRH

Bộ đo Phạm vi Rộng Catốt Nóng Chủ động (WRH) cung cấp khả năng đo từ áp suất khí quyển đến 10-10 mbar chỉ với một đồng hồ đo, với độ chính xác và độ lặp lại.

Đồng hồ đo WRH sử dụng 2 phương pháp đo lường (Bayard-Alpert & Pirani) trong một gói duy nhất, cung cấp cho bạn mọi thứ cần thiết để đo và kiểm soát hệ thống của mình.

Với đầu ra tương tự và RS485 có sẵn qua đầu nối D-SUB, 2 rơ le tích hợp sẵn và hiệu chuẩn dễ dàng, việc kiểm soát và theo dõi trở nên đơn giản.

Sử dụng phần mềm đi kèm, bạn có thể dễ dàng theo dõi và ghi lại hiệu suất của hệ thống và cũng điều chỉnh hành vi của các đồng hồ đo, chẳng hạn như thiết lập điểm đặt hoặc thay đổi tỷ lệ đầu ra.

Thiết bị đo này là người bạn đồng hành hoàn hảo cho nhiều ứng dụng, từ các viện R&D đến phổ khối phổ cao cấp và cả các ngành công nghiệp tổng hợp.

Đồng hồ đo phạm vi rộng catốt nóng hoạt động Edwards (WRH)

Đồng hồ đo phạm vi rộng cathode nóng chủ động (WRH)

Máy đo áp suất thụ động

Đồng hồ đo áp suất Edwards Passive là đầu đồng hồ không có điện tử tích hợp: rất phù hợp với môi trường có lượng bức xạ cao hoặc nhiệt độ xung quanh rất cao.

Mặc dù hiện nay đo lường chủ động chiếm ưu thế trên thị trường, vẫn còn những ứng dụng ngách mà đo lường thụ động là tối ưu. Bao gồm bất kỳ ứng dụng nào nơi việc có thiết bị điện tử gần thí nghiệm sẽ dẫn đến thiết bị bị hỏng.

Điện tử điều khiển vẫn cần thiết để kiểm soát đồng hồ đo, nhưng những thiết bị này có thể được giữ ở xa trong bộ điều khiển chuyên dụng của chúng tôi mà có thể đặt cách đồng hồ đo lên đến 50m để cung cấp hiển thị “tại chỗ” và đầu ra áp suất cho hệ thống của bạn.

Đầu đo được gắn vào hệ thống chỉ chứa các thành phần cần thiết cho việc đo lường vật lý và tất cả các thiết bị điện tử khác đều được tích hợp trong bộ điều khiển.

Do đó, bộ điều khiển và cáp phải phù hợp với loại đồng hồ đo mong muốn.

Giải pháp bền bỉ và chính xác cho môi trường khắc nghiệt nhất: hoàn hảo cho các ứng dụng Vật lý Năng lượng Cao và Nghiên cứu & Phát triển nơi bức xạ có thể làm hỏng điện tử của đồng hồ đo hoạt động thông thường. Những đồng hồ đo này có lịch sử lâu dài và đã được chứng minh trong các môi trường như vậy.

Với các ứng dụng này thường yêu cầu áp suất Chân không Siêu cao, các đồng hồ đo áp suất thụ động của chúng tôi có phạm vi đo rộng nhất, có thể đạt được phép đo xuống tới 2 x 10⁻¹² mbar với dòng sản phẩm IG40-EX của chúng tôi.

Dòng máy đo thụ động

Dòng máy đo thụ động

Câu hỏi thường gặp về máy đo áp suất gián tiếp

Các máy đo Edwards có thể được tích hợp vào các hệ thống chân không hiện có không?

Nhiều đồng hồ đo Edwards được thiết kế để tích hợp dễ dàng vào cả hệ thống chân không mới và hiện có, đồng thời có các tùy chọn giao tiếp tương tự và kỹ thuật số.

Lợi ích của các đồng hồ đo áp suất gián tiếp Edwards là gì?

  • Tích hợp liền mạch với các hệ thống chân không mới và hiện có
  • Một số đồng hồ đo được sản xuất nội bộ
  • Chuyên môn chân thực về chân không Edwards và hỗ trợ kỹ thuật
  • Danh mục đồng hồ đo chân không hoàn chỉnh cho các yêu cầu đo áp suất đa dạng
  • Giảm thời gian giao hàng đối với các đồng hồ đo đã chọn*
  • Nguồn hàng đáng tin cậy và hỗ trợ toàn cầu

*Thời gian giao hàng và tính khả dụng có thể thay đổi theo khu vực

Loại đồng hồ chân không nào được sử dụng cho các ứng dụng chất bán dẫn?

Thiết bị bán dẫn thường yêu cầu các đồng hồ đo có khả năng giám sát mức chân không trong suốt quá trình bơm, xử lý và xả khí. Edwards cung cấp một số công nghệ phù hợp, bao gồm Pirani, magnetron đảo ngược và đồng hồ đo dải rộng, tùy thuộc vào phạm vi áp suất và yêu cầu ứng dụng.

Loại đồng hồ chân không nào là thiết bị phân tích phù hợp?

Thiết bị phân tích thường yêu cầu đo chân không ổn định và chính xác với tích hợp gọn nhẹ. Các đồng hồ đo APG200 và AIM200 thường được sử dụng trong các ứng dụng phân tích và khoa học.

AIGX Active Ion Gauge - Datasheet
3601-0131-01-AIGX-datasheet

PDF

525.6 kB

PDF

525.6 kB

↓
WRH Active Hot Cathode Pirani Gauge - Datasheet
3601-0613-01-WRH-Datasheet

PDF

407.2 kB

Passive Gauges and Controllers - Datasheet
3601-0307-01-Passive-Gauges

PDF

1.7 MB

PDF

1.7 MB

↓
AIM200 Active Inverted Magnetron Gauge - Datasheet
3601-0754-01-AIM200-Datasheet

PDF

768.1 kB

Edwards employees standing in corridor smiling
SERVICE SOLUTIONS

Eliminate Unplanned Downtime. Maximize Efficiency. Minimize Costs — Stay Ahead with ServicePlan™