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間接圧力測定ゲージ

間接圧力測定ゲージ

圧力監視用の汎用ソリューション

当社の間接圧力測定ゲージは、低圧環境に最適で、幅広い範囲で正確な測定値を提供します。

このゲージは、さまざまなガスタイプに適合しており、正確な結果が得られます。高度な制御には、デジタルシステムに簡単に組み込めるデジタルタイプをご検討ください。

ニーズに合った適切なゲージをお探しください。

間接圧力測定ゲージ:低圧での使用に最適

間接圧力測定ゲージは、熱伝導率などの圧力依存性を測定するため、粒子の密度が低い低圧での使用に最適です。そのため、正確な圧力を直接測定することはできません。

これらのゲージを使用した圧力測定は、ガスタイプに依存するため、お客様のシステムの仕様に応じて補正係数を使用して正しい圧力を読み取ることができます。

これらのゲージは、さまざまな産業および科学用途に適した幅広い圧力で正確な測定値を提供します。ピラニゲージや電離ゲージなどの間接圧力測定ゲージの機能をご確認いただき、お客様固有の要件に合った適切なゲージを選択する方法をご確認ください。

組み込みと制御を強化するために、nAPG200(ピラニゲージ、nAIM200)逆マグネトロンゲージ、nWRG200(ワイドレンジゲージ)など、当社で最も人気のあるゲージのデジタルタイプを提供しています。これらのデジタルバージョンは、RS232またはRS485通信インターフェイスを備えておりアナログコントローラーなしでPCやPLCに簡単に組み込めます。このオプションは、特に直接デジタル入力と正確な監視を必要とするシステムに役立ちます。

APGピラニゲージ

アクティブピラニゲージ(APG200)は、より小型で柔軟性の高い出力を活用できる分析機器分野から、新しいインターフェイスとライトリングでシステムのメンテナンスを改善できる半導体分野、さらにはローカル圧力表示でメインインターフェイスから離れた場所でも実験を監視できる研究開発分野に至るまで、あらゆる真空市場に適しています

  • 360°LEDライトリング圧力インジケータ
  • コンパクトサイズ
  • 長いフィラメント
  • 一体型フィルタ(フィルタなしのバージョンもご用意しています
  • 幅広い互換性
  • 15~48V電源
  • デジタル/アナログ
  • セットポイントリレー

APG200ピラニゲージのデジタルタイプnAPG200は、RS232またはRS485のデジタル通信オプションを提供します。これにより、PCまたはプログラマブルロジックコントローラー(PLC)とのシームレスな統合が可能になり、直接デジタル入力を必要とするシステムに最適な選択肢となります。

エドワーズAPG200ピラニゲージ - 正面図

APG200ピラニゲージ

APG200アクティブピラニゲージ - 分解図
APG200アクティブピラニゲージ - 分解図のサムネイル
APG200アクティブピラニゲージ - 分解図
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APG200アクティブピラニゲージ - 回転図のサムネイル
APG200アクティブピラニゲージ - 回転図
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APG200アクティブピラニゲージ - LEDライトリングのサムネイル
APG200アクティブピラニゲージ - LEDライトリング
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AIM逆マグネトロンゲージ

アクティブ逆マグネトロン(AIM200)ゲージは、1 x 10-2 a 1 x 10-9 mbarの真空範囲で正確に測定します。

このゲージは、科学機器から産業プロセスまで幅広い用途で堅牢性と信頼性の高い製品です。

AIM200ゲージは、逆マグネトロンゲージヘッドとゲージコントローラーを1つのコンパクトユニットに統合したものです。また、非常に低い外部磁場で、優れた衝撃メカニズムを備えているため、高感度分析機器との併用や、感度の高い機器の近くにゲージを取り付ける必要がある用途に最適です

  • 360°LEDライトリング圧力インジケータ
  • 省スペース
  • マルチポイントスターストライカー
  • 外部コントローラー不要
  • ドライバの使用が可能
  • 幅広い互換性
  • 15~48V電源
  • 新しいマグネット
  • セットポイントリレー
  • Cクランプ対応の派生型

nAIMは、AIM200のデジタルバージョンで、RS232またはRS485通信をサポートし、アナログバージョンと同じ設置面積と性能を提供しながら、デジタルシステムによるデータ収集と制御を容易にします。

エドワーズのアクティブ逆マグネトロン(AIM200)ゲージ

アクティブ逆マグネトロンゲージ(AIM200)

アクティブ逆マグネトロンAIM200 - 分解図
アクティブ逆マグネトロンAIM200 - 分解図のサムネイル
アクティブ逆マグネトロンAIM200 - 分解図
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アクティブ逆マグネトロンAIM200 - 回転図のサムネイル
アクティブ逆マグネトロンAIM200 - 回転図
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アクティブ逆マグネトロンAIM200 - LEDライトリング視覚圧力インジケータ図のサムネイル
アクティブ逆マグネトロンAIM200 - LEDライトリング視覚圧力インジケータ図
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WRG冷陰極コンビネーションゲージ

ワイドレンジゲージ(WRG200)は、大気圧から10-9 mbarまでの範囲でシングルポート圧力測定が可能であり、初期チャンバポンプダウンだけでなく、プロセス圧力もすべて1つで処理できます。

WRG200ゲージは、最新のフィラメントピラニおよび冷陰極技術を利用しているため、科学機器から半導体および産業プロセスまで、幅広い用途で堅牢で、信頼性が高くなっています

オールインワンゲージは、低真空センサから高真空センサへの自動切り替えという利点を提供し、低浮遊磁場で周囲環境への干渉を防ぎます。

  • 360°LEDライトリング圧力インジケータ
  • 省スペース
  • 高度なフィラメント技術
  • 外部コントローラー不要
  • ドライバの使用が可能
  • 幅広い互換性
  • 15~48V電源
  • 新しいマグネット
  • セットポイントリレー
  • Cクランプ対応の派生型

nWRGは、WRG200のデジタル版であり、同じ設置面積と性能を維持しながら、デジタル通信の柔軟性を提供します。このため、正確かつ直接的なデジタル圧力測定が必要な用途に最適です

エドワーズワイドレンジゲージ(冷陰極/ピラニ)(WRG200およびnWRG200)

ワイドレンジゲージ(冷陰極/ピラニ)(WRG200およびnWRG200)

APGX-Hリニアコンベクション真空ゲージ

アクティブリニアコンベクション真空ゲージ(APGX-H)の測定範囲は、1333~3 x 10-4 mbarです。

コンベクション(対流)技術を使用することで、100 mbarを超えると精度が低下する従来のピラニゲージと比較して、圧力範囲の最高点まで精度と感度を維持します

ゲージは、コンパクトで、あらゆる方向に取り付けることができるため、スペースが限られている場所での設置が簡単です。

アクティブリニアコンベクション真空ゲージ(APGX-H)

アクティブリニアコンベクション真空ゲージ(APGX-H)

WRH熱陰極コンビネーションゲージ

アクティブホットカソードワイドレンジゲージ(WRH)は、1台のゲージで精度と再現性を備えており、大気圧から10-10mbarまで測定する機能を提供します。

WRHゲージは、1つのパッケージで2つの測定方法(Bayard-Alpertとピラニ)を利用しており、システムの測定と制御に必要なすべてを提供します。

D-SUBコネクタを介して利用可能なアナログおよびRS485出力、2つのオンボードリレー、および簡単なキャリブレーションにより、制御と監視が簡単になります

付属のソフトウェアを利用すれば、システムの性能を簡単に追跡および記録し、設定ポイントの設定や出力スケーリングの変更など、ゲージの動作を調整することもできます

このゲージは、研究開発機関からハイエンドの質量分析、一般産業まで、多くの用途に最適です

エドワーズ アクティブホットカソードワイドレンジゲージ(WRH)

アクティブホットカソードワイドレンジゲージ(WRH)

パッシブゲージ

エドワーズのパッシブゲージには、ゲージヘッドに電子機器が搭載されておらず、大量の放射線や非常に高い周囲温度といった環境に適しています

現在、アクティブゲージが市場を席捲している一方で、パッシブゲージが最適なニッチな用途も存在します。電子機器を実験場所の近くに置くと機器の故障につながる可能性がある用途などです。

ゲージを制御するには、依然としてドライブエレクトロニクスが必要ですが、これらは、ゲージから最大50 m離れた位置に配置できる専用コントローラーにリモートで保管して、システムに「ローカル」ディスプレイと圧力出力を提供できます。

システムに取り付けられたヘッドには、物理的測定に必要な部品だけが搭載されており、その他すべての電子機器はコントローラーに内蔵されています。

そのため、ゲージのタイプに応じたコントローラーとケーブルを使用する必要があります。

最も過酷な環境にも対応する堅牢で正確なソリューション放射線によって通常のアクティブゲージの電子機器が損傷するおそれがある、高エネルギー物理学および研究開発用途に最適です。このゲージは、過酷な環境下で長年にわたって培われた実績があります。

超高真空圧が必要になることが多いこれらの用途では、測定範囲が最も広いパッシブゲージのIG40-EXシリーズを使用することで、2 x 10⁻¹² mbarまで測定可能です

パッシブゲージファミリー

パッシブゲージファミリー

ゲージの概要:

WRH Active Hot Cathode Pirani Gauge - Datasheet

PDF

407.2 kB

Passive Gauges and Controllers - Datasheet

PDF

1.7 MB

PDF

1.7 MB

AIM200 Active Inverted Magnetron Gauge - Datasheet

PDF

768.1 kB

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