AIGX Active Ion Gauge - Datasheet
Közvetett nyomásmérő műszerek
Sokoldalú megoldások nyomásfigyeléshez
Közvetett nyomásmérő műszereink tökéletesek alacsony nyomású környezetekhez, pontos mérési eredményeket kínálva széles körű alkalmazhatóság mellett.
Ezek a mérőműszerek különböző gázfajtákhoz alkalmazkodnak a pontos eredmények érdekében. A fejlett vezérléshez fedezze fel digitális változatainkat, amelyek egyszerűen integrálhatók digitális rendszerekbe.
Ezeket a műszereket úgy tervezték, hogy zökkenőmentesen integrálhatók legyenek mind új, mind meglévő vákuumrendszerekbe, egyszerű megoldást nyújtva a széles körű vákuumos alkalmazásokhoz.
Találja meg az Ön igényeinek megfelelő mérőműszert.
Közvetett nyomásmérő műszerek: ideálisak alacsonyabb nyomásokhoz
A közvetett nyomásmérő műszerek nyomásfüggő tulajdonságokat, például hővezetőképességet mérnek, így ideálisak alacsonyabb nyomástartományokban történő használatra, ahol a részecskék számossága alacsony, és a közvetlen nyomásmérés pontossága korlátozott.
A nyomásmérések ezekkel a műszerekkel gáztípustól függőek, ezért korrekciós tényezők alkalmazhatók a rendszer specifikációinak megfelelő helyes nyomás leolvasásához.
Ezek a műszerek pontos mérési eredményeket kínálnak széles nyomástartományban, alkalmasak különféle ipari, félvezető és tudományos alkalmazásokhoz. Tekintse meg az áttekintést a technológiák összehasonlításához és a vákuumrendszeréhez legmegfelelőbb megoldás kiválasztásához.
A jobb integráció és szabályzás érdekében, digitális változatokat kínálunk néhány legnépszerűbb mérőműszerünkből, például:
- nAPG200 - Pirani nyomásmérő
- nAIM200 - Inverz mágnetron mérő
- nWRG200 - Széles tartományú mérőműszer
Ezek a digitális változatok RS232 vagy RS485 kommunikációs interfészeket tartalmaznak, amelyek lehetővé teszik a PC-kkel vagy PLC-kkel való egyszerű integrációt analóg vezérlők nélkül. Ez az opció különösen hasznos olyan rendszerek számára, amelyek közvetlen digitális bemeneteket és pontos felügyeletet igényelnek.
APG Pirani mérők
A Active Pirani Gauge (APG200) alkalmas minden vákuumpiac számára, az analitikai műszerektől, amelyek kihasználhatják a csökkentett méretet és a rugalmas kimeneteket, a félvezetőkig, akiknek az új interfészek és a világító gyűrűk jobb karbantartást tesznek lehetővé a rendszerekben, egészen a kutatás-fejlesztésig, ahol a helyi nyomásjelzés segíti a kísérletek nyomon követését a fő interfészektől távol.
A digitális változata az APG200 Pirani mérőnknek, amely nAPG200 néven ismert, RS232 vagy RS485 digitális kommunikációs lehetőségeket kínál. Ez lehetővé teszi a zökkenőmentes integrációt db-kkel vagy programozható logikai vezérlőkkel (PLC-k), így kiváló választás olyan rendszerekhez, amelyek közvetlen digitális bemeneteket igényelnek.
Mik az APG200 jellemzői?
- 360° LED fénygyűrűs nyomásjelző
- Kompakt méret
- Hosszú szál
- Integrált szűrő (szűrő nélküli változat elérhető)
- Kompatibilis csatlakozás
- Széles feszültségtartományú, 15-48V-os tápegység
- Digitális/Analóg
- Beállítási pont relé
APG200 Pirani nyomásmérő
APG200 aktív pirani mérő - robbantott ábra
0:11
APG200 aktív pirani mérő - forgó nézet
0:12
APG200 aktív pirani nyomásmérő - LED-fénygyűrű
0:20
AIM fordított magnetron mérők
Az Active Inverted Magnetron (AIM200) mérők pontos mérést biztosítanak a 1 x 10-2 és 1 x 10-9 mbar közötti vákuumtartományban.
Ez a mérőműszer megerősített és megbízható, és alkalmazások széles körében használhatja, a tudományos műszerektől az ipari folyamatokig.
Az AIM200 mérőműszer egy fordított magnetron mérőfej és mérővezérlő egyetlen kompakt egységbe integrálva, és nagyon alacsony külső mágneses térrel rendelkezik, továbbá egy továbbfejlesztett gyújtási mechanizmussal van ellátva, ami ideálissá teszi érzékeny analitikai műszerekkel való használatra vagy olyan alkalmazásokban, ahol a mérőt érzékeny berendezések közvetlen közelében kell felszerelni.
A nAIM az AIM200 digitális változata, amely támogatja az RS232 vagy RS485 kommunikációt, ugyanazt a helyigényt és teljesítményt biztosítva, mint az analóg változat, miközben könnyebb adatgyűjtést és szabályzást tesz lehetővé digitális rendszereken keresztül.
Mik az AIM200 jellemzői?
- 360° LED fénygyűrűs nyomásjelző
- Kisebb helyigény
- Többpontos csillagcsavarhúzó
- Nincs szükség külső vezérlőre
- Elérhető sofőrök
- Kompatibilis csatlakozás
- Széles feszültségtartományú, 15-48 V-os tápegység
- Új mágnesek
- Beállítási pont relé
- C-szorítóval kompatibilis változat
Aktív fordított magnetron mérőműszer (AIM200)
WRG hidegkatódos kombinált mérőműszerek
A Wide Range Gauge (WRG200) lehetőséget kínál egyetlen portos nyomásmérésre a légköri nyomástól egészen 10-9 mbar-ig, lefedve nemcsak a kamra kezdeti szivattyúzását, hanem a folyamatnyomásokat is egyetlen eszközben.
A WRG200 mérő megerősített és megbízható számos alkalmazásban, a tudományos műszerektől a félvezető- és ipari folyamatokig, mivel a legújabb szálas Pirani és hidegkatód technológiát használja.
Egy mindent egyben műszer, amely automatikusan vált a durva vákuumérzékelőről a nagy vákuumérzékelőre, és alacsony mágneses szórt térrel rendelkezik, hogy biztosítsa a környező környezet zavartalanságát.
A nWRG a WRG200 digitális megfelelője, amely megtartja ugyanazt a kisebb helyigényt és teljesítményt, miközben a digitális kommunikáció rugalmasságát kínálja. Ez ideálissá teszi olyan alkalmazásokhoz, ahol pontos és közvetlen digitális nyomásmérés szükséges.
Mik a WRG200 jellemzői?
- 360° LED fénygyűrűs nyomásjelző
- Kisebb helyigény
- Fejlett száltechnológia
- Nincs szükség külső vezérlőre
- Elérhető vezetők
- Kompatibilis csatlakozás
- Széles tartományú tápellátás 15-48V között
- Új mágnesek
- Beállító relé
- C-szorítóval kompatibilis változat
Széles tartományú mérő hidegkatódos/pirani (WRG200 és nWRG200)
Aktív Inverz Magnetron (AIM200) és Széles Körű Mérőműszer (WRG200) - Robbantott ábra
0:11
Aktív fordított magnetron (AIM200) és széles tartományú mérő (WRG200) - Forgó nézet
0:13
Aktív Inverz Magnetron (AIM200) és Széles Körű Mérőműszer (WRG200) - LED fénygyűrűs vizuális nyomásjelző nézet
0:27
APGX-H lineáris konvekciós vákuummérők
Az Aktív Lineáris Konvekciós Vákuummérő (APGX-H) széles mérési tartománnyal rendelkezik 1333-tól 3 x 10-4 mbar-ig.
A konvekciós technológia alkalmazása biztosítja, hogy pontosság és érzékenység a nyomástartomány tetejéig megmaradjon a hagyományos Pirani mérőkhöz képest, amelyek 100 mbar felett elveszítik pontosságukat.
A mérőműszer kompakt, és bármilyen irányban felszerelhető, ami egyszerűsíti a telepítést szűkös helyeken.
Aktív lineáris konvekciós vákuummérő (APGX-H)
AIGX ionmérők
Az Aktív Ionmérő (AIGX) egy kompakt aktív ionmérő, kettős ittriummal bevont irídium szállal, széles mérési tartománnyal 6,6 x 10-2 és 6,6 x 10-10 mbar között, valamint 1 Volt/decád lineáris kimenettel.
Az AIGX magában foglalja az ipari szabvány aktív mérési koncepciójának minden előnyét, beépített elektronikával és cserélhető csővel. A mérőműszer degázoló funkcióval rendelkezik, és tartalmazza azokat a jellemzőket, amelyek védik és meghosszabbítják a szálak élettartamát.
Az AIGX rendkívül alacsony töltött részecskék kibocsátásának köszönhetően kiváló választás olyan feldolgozásokhoz, ahol a háttérzaj nem kívánatos.
Aktív ionmérő (AIGX)
WRH forró katód kombinált mérőműszer
Az Active Hot Cathode Wide Range Gauge (WRH) lehetőséget kínál arra, hogy egyetlen mérőműszerrel mérjen a légköri nyomástól 10-10 mbar-ig, pontossággal és megismételhetőséggel.
A WRH mérőműszer 2 mérési módszert (Bayard-Alpert & Pirani) egyetlen csomagban használ, így mindent megad, amire szüksége van a rendszer méréséhez és szabályozásához.
Analóg és RS485 kimenettel, amely a D-SUB csatlakozón keresztül érhető el, 2 beépített relével és egyszerű kalibrációval, a vezérlés és megfigyelés egyszerű.
A mellékelt szoftver segítségével könnyedén nyomon követheti és rögzítheti rendszerének teljesítményét, valamint beállíthatja a műszerek viselkedését, például a beállítási pontokat vagy a kimeneti skálázást módosíthatja.
Ez a mérőeszköz a tökéletes társ számos alkalmazáshoz, az Értékelő intézetektől a csúcskategóriás tömegspektrometrián át az általános iparig.
Aktív forró katódos széles tartományú mérő (WRH)
Passzív mérőműszerek
Az Edwards passzív nyomásmérők elektronika nélküli mérőfejek: jól alkalmasak nagy sugárzásnak vagy nagyon magas környezeti hőmérsékletnek kitett környezetekhez.
Míg az aktív mérés most uralja a piacot, még mindig vannak olyan speciális alkalmazások, ahol a passzív mérés a legjobb. Ezek közé tartoznak azok az alkalmazások, ahol az elektronika közelsége a kísérlethez a készülék meghibásodását eredményezné.
Meghajtóelektronika továbbra is szükséges a mérőműszer vezérléséhez, de ezek távolról is elhelyezhetők a dedikált vezérlőnkben, amely akár 50 m távolságra is elhelyezhető a mérőműszertől, hogy „helyi” kijelzést és nyomáskimenetet biztosítson a rendszerének.
A rendszerhez csatlakoztatott fej csak a fizikai méréshez szükséges elemeket tartalmazza, míg az összes többi elektronika a vezérlőben található.
Ennek megfelelően a vezérlőnek és a kábelnek meg kell felelnie a kívánt mérőműszer típusának.
Masszív és pontos megoldások a legzordabb környezetekhez: tökéletesek a nagyenergiás fizika és K+F alkalmazásokhoz ahol a sugárzás károsítaná egy normál aktív mérőműszer elektronikáját. Ezek a mérőműszerek hosszú és bizonyított múltra tekintenek vissza ilyen környezetekben.
Mivel ezek az alkalmazások gyakran Ultra Nagy Vákuum nyomásokat igényelnek, passzív nyomásmérőink rendelkeznek a legszélesebb mérési tartománnyal, képesek mérni akár 2 x 10⁻¹² mbar nyomásig az IG40-EX sorozatunkkal.
Passzív műszercsalád
Gyakran ismételt kérdések az indirekt nyomásmérő műszerekről
Az Edwards műszerei integrálhatók a meglévő vákuumrendszerekbe?
Számos Edwards mérőműszer úgy lett tervezve, hogy egyszerűen integrálható legyen mind új, mind meglévő vákuumrendszerekbe, és elérhető analóg és digitális kommunikációs lehetőségekkel.
Milyen előnyökkel járnak az Edwards közvetett nyomásmérő műszerei?
- Zökkenőmentes integráció új és meglévő vákuumrendszerekkel
- Kiválasztott mérőműszerek házon belül készülnek
- Megtapasztalt Edwards vákuum szakértelem és műszaki támogatás
- Teljes vákuummérő portfólió a különféle nyomásmérési igényekhez
- Csökkentett átfutási idők kiválasztott mérőműszereknél*
- Megbízható termék-elérhetőség és globális szervizhálózat
A szállítási idők és az elérhetőség régiónként eltérő lehet
Milyen vákuummérőket használnak félvezető alkalmazásokhoz?
Semiconductor equipment often requires gauges capable of monitoring vacuum levels throughout pump-down, processing and venting. Edwards offers several suitable technologies, including Pirani, inverted magnetron and wide range gauges, depending on the pressure range and application requirements.
Mely vákuummérők alkalmasak analitikai műszerekhez?
Az analitikai műszerek gyakran stabil és pontos vákuummérésre szorulnak kompakt integrációval. Az APG200 és AIM200 mérőműszereket általában analitikai és tudományos alkalmazásokban használják.
- Dokumentáció
- Ügyfélvélemény
- További olvasnivalók
