เพิ่มประสิทธิภาพในการผลิตพร้อมกับลดต้นทุนและผลกระทบต่อสิ่งแวดล้อม
ในฐานะที่เป็นส่วนหนึ่งในการพัฒนาอย่างต่อเนื่องของเรา เราออกแบบการอัปเกรดเพื่อช่วยให้ลูกค้าของเราปรับปรุงประสิทธิภาพของเครื่องจักร ลดต้นทุนการเป็นเจ้าของ และบรรลุเป้าหมายด้านความยั่งยืน
- การดูเเลประสิทธิภาพของอุปกรณ์
- ลดต้นทุนรวมในการเป็นเจ้าของ
- การปรับปรุงด้านสิ่งแวดล้อม
การดูเเลประสิทธิภาพของอุปกรณ์
การอัปเกรดที่ออกแบบมาเพื่อปรับปรุงประสิทธิภาพของเครื่องจักรและเพิ่มความสามารถในการผลิตในการปฏิบัติงานของคุณ
การอัปเกรดโดยการลดอนุภาคบนเครื่องมือสําหรับปั๊มเทอร์โบ Maglev
ภารกิจที่ดำเนินอย่างต่อเนื่องของเราเพื่อพัฒนาประสิทธิภาพในการผลิตและผลผลิตของลูกค้า เราได้ออกแบบชุดโซลูชันที่ช่วยให้ลูกค้าสามารถลดการปนเปื้อนของอนุภาคบนแผ่นชิพ ที่ใช้ในงานเซมิคอนดักเตอร์ได้ โดยใช้เทคโนโลยีบนเครื่องมือสามอย่าง นั่นคือ เทคโนโลยีป้องกันการย้อนกลับ ฝาครอบถ้วยโรเตอร์ และการใช้ปั๊มอุณหภูมิสูง
เทคโนโลยีป้องกันการย้อนกลับ
ในระหว่างการผลิต อนุภาคต่างๆ อาจไหลย้อนกลับจากปั๊มเทอร์โบเข้าสู่ห้องอบ ซึ่งอาจทําให้แผ่นชิพปนเปื้อนและลดความสามารถในการผลิต เทคโนโลยีป้องกันการไหลย้อนกลับของเราช่วยลดการปนเปื้อนของอนุภาคได้อย่างมาก โดยทำให้อนุภาคเหล่านี้ผ่านปั๊มเทอร์โบเข้าสู่ท่อไอเสียได้อย่างง่ายดาย
ฝาครอบถ้วยโรเตอร์
เพื่อป้องกันการกัดกร่อนและการสะสมของอนุภาคบนถ้วยโรเตอร์ (ที่ทางเข้าของปั๊มเทอร์โบ) เราได้พัฒนาฝาครอบถ้วยโรเตอร์ที่ทนต่อการกัดกร่อน ซึ่งป้องกันทั้งการก่อตัวของตะกอนและการกัดกร่อนของชิ้นส่วนสแตนเลส
ปั๊มอุณหภูมิสูง
อีกสาเหตุของการปนเปื้อนเกิดจากการสะสมอนุภาคภายในปั๊มเทอร์โบ ซึ่งสามารถปล่อยให้อนุภาคเคลื่อนที่กลับผ่านปั๊มเทอร์โบและเข้าสู่ระบบได้ การใช้ปั๊มอุณหภูมิสูงจะทําให้เส้นทางก๊าซร้อนขึ้นจนอุณหภูมิสูงมาก ซึ่งช่วยลดการก่อตัวของตะกอน ปั๊มเหล่านี้ถูกเคลือบผิวด้วยสารที่ปล่อยความร้อนสูงเป็นพิเศษบนชิ้นส่วนสุญญากาศที่สําคัญ เช่น โรเตอร์และสเตเตอร์ และระดับอุณหภูมิของปั๊มได้รับการปรับให้เหมาะสมอย่างต่อเนื่องเพื่อผลลัพธ์ที่ดีที่สุด
ทั้งสามเทคโนโลยีการลดอนุภาคสามารถติดตั้งได้ในระหว่างการซ่อมบํารุงปั๊มตามปกติที่ศูนย์ให้บริการของเรา เพื่อให้แน่ใจว่าลูกค้าสามารถเพิ่มประสิทธิภาพการผลิตสูงสุดสําหรับทั้งอุปกรณ์ใหม่และอุปกรณ์ที่มีอยู่เเล้ว
เพิ่มผลผลิตเซมิคอนดักเตอร์ด้วยการอัปเกรดปั๊ม EUV
ในอุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่มีการแข่งขันสูง การเพิ่มผลผลิตให้สูงที่สุดเเละลดต้นทุนด้านพลังงานในโรงงานผลิตเป็นสิ่งสําคัญ การอัปเกรดปั๊มแห้ง EUV ของเราได้รับการออกแบบมาเพื่อเพิ่มประสิทธิภาพของอุปกรณ์ของคุณอย่างมีนัยสําคัญ เพื่อให้มั่นใจว่ามีการปรับปรุงผลผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่ดีที่สุด ด้วยการเพิ่มบริการอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง การอัปเกรดของเราไม่เพียงแต่ช่วยเพิ่มผลผลิตในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เท่านั้น แต่ยังช่วยประหยัดพลังงานได้อย่างมากอีกด้วย แนวทางแบบองค์รวมนี้เพื่อเพิ่มผลผลิตในกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ ช่วยให้มั่นใจได้ว่าโรงงานผลิตของคุณจะทํางานได้อย่างมีประสิทธิภาพสูงสุด
การป้องกันปั๊มแห้ง XCEDE สําหรับกระบวนการผลิตที่สมบุกสมบัน
เทคโนโลยีการป้องกันปั๊มแห้งของ XCEDE ช่วยป้องกันการกัดกร่อนของส่วนประกอบปั๊มที่สําคัญ และเพิ่มระยะเวลาระหว่างรอบการซ่อมบํารุง เพิ่มเวลาทํางานของลูกค้าให้สูงสุด เทคโนโลยีนี้มีประสิทธิภาพเหนือกว่าวิธีการของคู่แข่งทั้งหมด โดยการผสมผสานวิศวกรรมที่ซับซ้อนของการรักษาพื้นผิวและออกเเบบอันแม่นยําเพื่อลดการสึกหรอทางเคมีและกลไกภายในปั๊มสําหรับตระกูลปั๊ม iH, iXH และ iXM ของ Edwards
ลดต้นทุนรวมในการเป็นเจ้าของ
การปรับปรุงรูปแบบอุปกรณ์เพื่อเพิ่มระยะเวลาระหว่างการซ่อมบํารุงและเพิ่มประสิทธิภาพของอุปกรณ์ของคุณเพื่อลดต้นทุนรวมในการเป็นเจ้าของ
Porous Head ในการบําบัด
Edwards ได้พัฒนาหัวPorous Head ซึ่งเป็นการอัปเกรดบริการภาคสนามที่ใช้บล็อกโลหะแบบเผาที่มีรูพรุน ซึ่งจะกระจายการไล่อากาศอย่างสม่ําเสมอทั่วพื้นผิวเพื่อลดความเสี่ยงของการสะสมของผง แทนที่หัวฉนวนเซรามิกแบบดั้งเดิม
ในระหว่างกระบวนการบําบัด ของแข็ง ซึ่งโดยทั่วไปมักจะเป็นผงแป้ง อาจสะสมในบริเวณที่ไม่ต้องการของระบบ เช่น ด้านล่างของหัวทางเข้า การสะสมของผงนี้ทําให้เกิดการอุดตันที่ขัดขวางการไหลของก๊าซในกระบวนการ ทําให้เกิดซ่อมบํารุงที่ไม่คาดคิดบ่อยครั้ง ภายในหนึ่งปีสำหรับกระบวนการที่รุนแรง การสะสมของผงแป้งนี้อาจทําให้เกิดการหยุดเครื่องจักรมากกว่าเก้าครั้ง ซึ่งส่งผลให้ต้นทุนการเป็นเจ้าของเพิ่มขึ้นเนื่องจากการใช้แรงงานและชิ้นส่วนอะไหล่
ลูกค้าอัปเกรดมาใช้ Porous Headได้เปลี่ยนจากรอบการซ่อมบํารุงสิบรอบต่อปีเป็นเพียงสองรอบโดยเฉลี่ย ซึ่งช่วยลดเวลาหยุดทํางานของเครื่องมือโดยเฉลี่ย 64 ชั่วโมงต่อปีสําหรับลูกค้าที่ไม่มีระบบบําบัดสํารอง ส่งผลให้มีผลผลิตเพิ่มขึ้น $1.5 ล้าน
ลูกค้าที่มีระบบบําบัดสํารองพบว่าสามารถประหยัดชิ้นส่วนอะไหล่ แรงงานบํารุงรักษา และเพิ่มประสิทธิภาพด้านพลังงานได้อย่างมากโดยการลดการพึ่งพาระบบสํารอง
Liner Pro: ฉนวนเตาเผารุ่นใหม่
โรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์อยู่ภายใต้แรงกดดันอย่างต่อเนื่องเพื่อลดความเสี่ยงของการหยุดทํางานโดยไม่คาดคิด ควบคุมต้นทุนการบํารุงรักษา และปรับปรุงประสิทธิภาพการดําเนินงาน Liner Pro เป็นฉนวนในงานบําบัดที่ทนทาน ซึ่งออกแบบมาเพื่อรับมือกับความท้าทายที่เกิดขึ้นซ้ําๆ ในการบํารุงรักษาฉนวนเตาเผา ในระบบบําบัด เเละยังเป็นส่วนประกอบที่นํากลับมาใช้ใหม่ได้เพื่อส่งเสริมเป้าหมายด้านความยั่งยืนของคุณอีกด้วย การนำ Liner Pro มาใช้กับแผนการซ่อมบํารุง คุณสามารถเพิ่มประสิทธิภาพการดําเนินงาน ลดต้นทุนรวมในการเป็นเจ้าของ และรักษาประสิทธิภาพงานในกระบวนการที่มีความต้องการสูง
Life Services
กลุ่มเครื่องจักรที่มีการใช้งานมานานกว่าห้าปีมีความเสี่ยงที่อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ที่สําคัญจะเสียโดยไม่คาดคิด โดยไม่มีประสิทธิภาพเชิงกลมาเกี่ยวข้อง ซึ่งส่วนใหญ่จะได้รับการรักษาไว้โดยระบบการบํารุงรักษาที่มีประสิทธิภาพ
โซลูชัน Life Services ของ Edwards เป็นตัวเลือกที่ดีเยี่ยมในการปรับปรุงเครื่องจักรให้ทันสมัยและยืดอายุการใช้งานของกลุ่มอุปกรณ์ของคุณ Life Services ครอบคลุมชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ของระบบที่สําคัญทั้งหมดพร้อมกับรับประกันที่ขยายเพิ่มเติม ช่วยให้อุปกรณ์ของคุณทํางานได้ยาวนานหลายปี
Life Services พร้อมให้บริการผ่านเครือข่ายศูนย์เทคโนโลยีบริการทั่วโลกของเรา
การปรับปรุงด้านสิ่งแวดล้อม
การอัปเกรดที่ออกแบบมาเพื่อเพิ่มอายุการใช้งานของอุปกรณ์และผลกระทบต่อสิ่งแวดล้อมเพื่อช่วยให้คุณบรรลุเป้าหมายด้านความยั่งยืนของคุณ
ลดต้นทุนด้านพลังงานในการผลิตด้วยการอัปเกรดเพื่อประหยัดพลังงานของเรา
การอัปเกรดปั๊มแห้ง iXH1210 ของ Edwards เป็นการเปลี่ยนที่ง่ายดาย โดยทีมงานไม่ต้องทํางานเพิ่มในสถานที่ปฏิบัติงาน และไม่มีการสูญเสียเวลาในการหยุดทํางานระหว่างกระบวนการอัปเกรด
ซึ่งช่วยลดต้นทุนพลังงานในการดําเนินงานได้เกือบหนึ่งในสาม และช่วยลดผลกระทบต่อสิ่งแวดล้อมของคุณโดยการลดการปล่อยก๊าซคาร์บอนมากขึ้น ซึ่งช่วยสนับสนุนเป้าหมายด้านสิ่งแวดล้อมของคุณ ไม่น่าแปลกใจที่เราเรียกสิ่งนี้ว่าการอัปเกรดเพื่อประหยัดพลังงาน
ลองนึกดูว่าหากเราคูณตัวเลขเหล่านี้ด้วยจํานวนปั๊มที่สามารถอัปเกรดได้ในโรงงานของคุณ
นอกจากนี้ยังมีประโยชน์เพิ่มเติมที่ลูกค้าของเราไม่จําเป็นต้องวางแผนเงินทุนสําหรับปั๊มใหม่ เนื่องจากสามารถทําการอัปเกรดได้ผ่านกระบวนการอัปเกรด Intelligent Service ของ Edwards
การอัปเกรดการประหยัดพลังงานของ EUV ปั๊ม
ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ความยั่งยืนมีความสําคัญมากขึ้นเรื่อยๆ การอัปเกรดปั๊มแห้ง EUV ของเราได้รับการออกแบบมาเพื่อสนับสนุนความยั่งยืนโดยการลดการใช้พลังงานในกระบวนการ EUV และการใช้พลังงาน EUV ลงอย่างมาก ด้วยการอัปเกรดปั๊มของคุณ คุณสามารถเพิ่มประสิทธิภาพด้านพลังงานในการผลิต ซึ่งประหยัดพลังงานได้อย่างมากในขณะที่เพิ่มผลผลิต
เรียนรู้เพิ่มเติมเกี่ยวกับการประหยัดพลังงาน EUV ในเรื่องราวความสําเร็จของลูกค้าของเราด้านล่าง:
เครื่องแลกเปลี่ยนความร้อน
การปนเปื้อนของน้ําหล่อเย็นทั่วทั้งโรงงานเป็นความเสี่ยงที่เกิดจากระบบบําบัดที่ไม่มีกําหนดการบํารุงรักษาที่เข้มงวด ในหลายๆ ระบบ เครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนมีความเสี่ยงที่จะเสียหายจากการกัดกร่อนจากสารเคมีในกระบวนการที่เป็นกรด ซึ่งอาจทําให้เกิดการรั่วไหลเข้าสู่น้ําหล่อเย็นในกระบวนการของโรงงาน การปนเปื้อนนี้อาจทําให้เครื่องมือในกระบวนการอื่นๆ ที่ใช้วงจรน้ําหล่อเย็นเดียวกันเสียหายได้ นอกจากนี้ยังมีความเสี่ยงต่อสิ่งแวดล้อมเนื่องจากเป็นอันตรายต่อการกำจัด
ชุดอัปเกรดบริการภาคสนามสําหรับเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนเป็นโซลูชันที่มีประสิทธิภาพ ซึ่งจะแปลงเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนแบบบัดกรีที่มีอยู่ให้เป็นดีไซน์แผ่นและปะเก็นใหม่โดยไม่ต้องดัดแปลงระบบอย่างมาก ซึ่งช่วยต้านทานต่อการกัดกร่อนต่อกรดให้ดีขึ้นเมื่อเทียบกับเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนดั้งเดิม ให้อายุการใช้งานที่ยาวนานขึ้นประมาณห้าถึงสิบเท่า และลดความเสี่ยงของการปนเปื้อนของน้ําหล่อเย็นในโรงงานผลิต
