การบรรลุตัวชี้วัดประสิทธิภาพที่สําคัญ 6 ประการ ตั้งแต่ SubFab ไปจนถึงห้องปลอดเชื้อ

ปั๊มสุญญากาศและระบบบําบัดก๊าซเป็นส่วนสําคัญของกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยไม่คํานึงถึงประเภทอุปกรณ์หรือโหนดกระบวนการ มีปั๊มสุญญากาศและระบบบําบัดหลายร้อยหรือหลายพันเครื่องใน SubFab

จนกระทั่งเมื่อไม่นานมานี้ พวกเขายังถูกมองข้ามเป็นส่วนใหญ่เนื่องจากเป็นแหล่งที่มาของความผันแปรของกระบวนการและผลผลิต อย่างไรก็ตาม เนื่องจากมีการกําจัดหรือควบคุมตัวแปรที่รบกวน Fab อื่น ๆ ที่มีขนาดใหญ่ขึ้นและโดยตรงมากขึ้น การค้นหา "ตัวแปรที่ซ่อนอยู่" จึงเกิดขึ้น อุปกรณ์ SubFab อยู่ในรายชื่อผู้ที่น่าสงสัยเพื่อเพิ่มประสิทธิภาพและขับเคลื่อนความได้เปรียบในการแข่งขัน

การผลิตเซมิคอนดักเตอร์เป็นสภาพแวดล้อมที่มีระบบดิจิทัลและอัตโนมัติสูงอยู่แล้ว ซึ่งเครื่องมือการผลิตอัจฉริยะและหลักการของอุตสาหกรรม 4.0 กําลังเข้ามามีบทบาท ความซับซ้อนของกระบวนการผลิต ลักษณะพลวัตของการดําเนินงานประจําวัน และความจําเป็นในการพัฒนาและปรับปรุงอย่างต่อเนื่อง เน้นย้ําถึงความจําเป็นของแนวทางที่ขับเคลื่อนด้วยข้อมูล

ความปลอดภัย คุณภาพ การส่งมอบ ต้นทุน บุคลากร และสิ่งแวดล้อม (SQDCPE) เป็นตัวชี้วัดที่ใช้กันอย่างแพร่หลายในการวัดและติดตามประสิทธิภาพ

ระบบสุญญากาศและระบบบําบัดก๊าซจะถ่ายเทวัสดุอันตรายทั้งหมดที่ใช้ในการแปรรูปเซมิคอนดักเตอร์เพื่อทําให้วัสดุเหล่านั้นปลอดภัยสําหรับการกําจัดทิ้ง ก๊าซและผลิตภัณฑ์พลอยได้จํานวนมากเหล่านี้เป็นพิษ ไวไฟ ไพโรฟอร์ หรือเป็นอันตรายต่อสิ่งแวดล้อม และก่อให้เกิดภัยคุกคามร้ายแรงต่อสุขภาพและความปลอดภัยของบุคลากรในโรงงานและชุมชนโดยรอบ หากไม่ได้รับการจัดการอย่างระมัดระวัง สิ่งสําคัญคือต้องทบทวนตัวชี้วัดประสิทธิภาพหลัก (KPI) สําหรับความปลอดภัยและผลกระทบต่อทั้ง Fab และ SubFab อย่างไร ตัวบ่งชี้ทั่วไปของความปลอดภัยคือการสูญเสียเวลาเนื่องจากการบาดเจ็บ (อัตราการสูญเสียวันทํางานหรือ LWCR) และจํานวนรวมของเหตุการณ์ด้านความปลอดภัยที่สามารถบันทึกได้ (อัตราการบันทึกทั้งหมดหรือ TRCR)

เมื่อจํานวนขั้นตอนการแปรรูปที่จําเป็นสําหรับกระบวนการชั้นนําเพิ่มขึ้น ผลกระทบของสุญญากาศและการบําบัดในสายการผลิตและแม้กระทั่งผลผลิตของแม่พิมพ์ก็เพิ่มขึ้นเช่นกัน การตัดสินใจเลือกอุปกรณ์และการบํารุงรักษาเป็นสิ่งสําคัญในแต่ละขั้นตอนของกระบวนการ การตัดสินใจเชิงตอบสนองอาจก่อให้เกิดความไม่มีประสิทธิภาพ การหยุดทํางานของเครื่องมือในกระบวนการ และอันตรายต่อความปลอดภัยที่สําคัญ สิ่งที่ดูเหมือนจะเป็นการปรับปรุงผลผลิตเพียงเล็กน้อยอาจส่งผลกระทบอย่างมากต่อ KPI

เครื่องมือในกระบวนการยังคงสูญเสียเวลาหลายพันชั่วโมงในแต่ละปีเนื่องจากการบํารุงรักษาที่ไม่ได้วางแผนไว้ หากเหตุการณ์ที่ไม่คาดคิดใน SubFab ทําให้เครื่องมือหรือห้องทํางานขัดข้อง แผ่นชิพอาจสูญหายหรือล่าช้าเมื่อรอเครื่องมือและเวลารอบสําหรับแผ่นชิพเหล่านั้นจะเพิ่มขึ้น

ผลกระทบต่อค่าใช้จ่ายของแผ่นชิพอาจเกิดขึ้นโดยตรงหรือโดยอ้อม ค่าใช้จ่ายทางอ้อม รวมถึงค่าใช้จ่ายโอกาสในการสูญเสียการผลิตของเครื่องมือในกระบวนการนั้นมีค่าใช้จ่ายโดยตรงที่สูงกว่ามาก โดยเฉพาะอย่างยิ่งหากเครื่องมือที่ล้มเหลวเป็นเครื่องมือที่มีคอขวด

การสร้างวงจรรวมต้องการบุคลากรจํานวนมากที่มีทักษะที่หลากหลาย และความรู้ทั้งในทางทฤษฎีและในทางปฏิบัติ  ทักษะเหล่านี้ครอบคลุมถึงฟิสิกส์และเคมี วิทยาศาสตร์วัสดุ วิศวกรรมไฟฟ้าและอิเล็กทรอนิกส์ วิศวกรรมเครื่องกล ระบบควบคุม และอื่นๆ อีกมากมาย

จําเป็นต้องมีมาตรการมากมายเพื่อให้บรรลุวัตถุประสงค์ด้านความยั่งยืน - โปรแกรมประสิทธิภาพด้านพลังงาน โครงการริเริ่มด้านพลังงานหมุนเวียนเชิงกลยุทธ์ การลดการปล่อยก๊าซเรือนกระจก และการตอบโต้การเปลี่ยนแปลงสภาพภูมิอากาศที่กําหนดไว้