Capai tahap prestasi cryopump yang baru
CTI-Cryogenics On-Board® IS 320F XVS Cryopump mengekalkan tradisi Edwards dalam menyediakan cryopump implan yang paling boleh dipercayai dan berprestasi terbaik di pasaran.
Pam kriogenik On-Board® IS 320F XVS direka untuk memberikan prestasi pam hidrogen tertinggi bagi meningkatkan hasil proses dan kadar pengeluaran, menawarkan jawapan yang sempurna kepada cabaran aplikasi Implan Ion hari ini.
Sistem kawalan pintar yang terintegrasi dalam cryopump memastikan kualiti proses yang lebih baik, konsistensi vakum, dan masa operasi, sambil menyediakan maklumat sistem masa nyata untuk kawalan optimum suhu array. Kualiti vakum dipertingkatkan melalui penyesuaian automatik kepada keadaan beban haba/gas yang berubah.
- Prestasi Vakum Stabil
- Prestasi Vakum yang Ditingkatkan
- Keserasian Sistem
- Pengurangan Variasi Kelajuan Pam H2 Antara Regenerasi
- Kesan yang Dikurangkan terhadap Kelajuan Pam H2 akibat Pencemaran Fotoresist
- Suhu array stabil yang dioptimumkan
- Kelajuan Pam H2 Tinggi-15,500 L/S
- Kapasiti H2 Tinggi – 40 STD-L
- Sistem Cryopump IS Di Dalam Kapal
- IS-1000, IS-2000V, IS-1800 Pemampat XVS
