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Kryokühlerserie Edwards Polycold

Polycold-Kryokühler

Kryogene Kühlsysteme, die sowohl die Zeit der Vakuumerzeugung verkürzen als auch die Qualität verbessern.

Kryokühler

Polycold-Kryokühler sind kryogene Kühlsysteme mit geschlossenem Prozess, die eine Kühlung von bis zu 4.000 Watt ermöglichen. Sie können verwendet werden, um Wasserdampf und andere kondensierbare Substanzen innerhalb eines Vakuumprozesses einzufangen, um sowohl die Zeit als auch die Qualität der Vakuumerzeugung deutlich zu verbessern. Polycold-Produkte können auch in Direktkühlanwendungen eingesetzt werden, wie z. B. zum Abkühlen elektrostatischer Chucks in der Halbleiterfertigung oder zum Kühlen verschiedener Sensortechnologien zur verbesserten Signalerfassung.

 

Merkmale

  • Die Modelle bieten eine Kühlung zwischen 100 und 4000 Watt. 
  • Temperaturbereiche von -203 bis -98 °C möglich 
  • Ausgelegt für kontinuierliche Kühlung 
  • Erfüllt CE, SEMI F47 und SEMI S2
  • Kältemittelgase sind nach US EPA-SNAP zugelassen, FCKW-frei, HFCKW-frei und entsprechen den Gesetzen der Europäischen Union
  • Zuverlässige Leistung 
  • Lange Lebensdauer, mit geringem bis keinem Wartungsaufwand