Produkter til halvlederindustrien
Hvad er det nye?
Ganymede Harsh-Duty tørvakuumpumpe til halvlederapplikationer
Næste generations tørtløbende vakuumpumper til krævende halvlederprocesser, der reducerer TCoO, forbedrer oppetiden og understøtter fantastiske bæredygtighedsmål.
EUV Vizeon
Integreret EUV litografi sub-fab-system, der kombinerer vakuum, brinthåndtering og genvinding for at forbedre effektivitet, oppetid og omkostninger.