Nextgen tørvakuumpumper til krævende halvlederprocesser, der reducerer TCoO, forbedrer oppetiden og understøtter fabrikens bæredygtighedsmål.
Integreret EUV-lithografi sub-fab system, der kombinerer vakuum, håndtering og genvinding af brint for at forbedre effektivitet, oppetid og omkostninger.
