Bomba de vácuo a seco para trabalhos pesados Ganymede para aplicações em semicondutores
Bombas de vácuo a seco Nextgen para processos de semicondutores exigentes, reduzindo o TCoO, melhorando o tempo de atividade e apoiando os objetivos de sustentabilidade da fábrica.
Sistema integrado de subfábrica de litografia EUV que combina vácuo, manuseamento e recuperação de hidrogénio para melhorar a eficiência, o tempo de atividade e o custo.
