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Productos para la industria de semiconductores
¿Qué hay de nuevo?
Bomba de vacío en seco de alta resistencia Ganymede para aplicaciones de semiconductores
Bombas de vacío secas de última generación para procesos de semiconductores exigentes, que reducen el TCoO, mejoran el tiempo de actividad y respaldan los objetivos de sostenibilidad de la fábrica.
EUV Vizeon
Sistema de subfábrica de litografía EUV integrado que combina vacío, manipulación de hidrógeno y recuperación para mejorar la eficiencia, el tiempo de actividad y el coste.