-
...
- Polovodiče
- Výrobky pre polovodičový priemysel
Výrobky pre polovodičový priemysel
Aktuálne novinky
Suché vákuové čerpadlo Ganymede do náročnej prevádzky pre polovodičové aplikácie
Suché vákuové čerpadlá Nextgen pre náročné polovodičové procesy, zníženie TCoO, zvýšenie času prevádzkyschopnosti a podpora cieľov udržateľnosti výroby.
EUV Vizeon
Integrovaný systém subfab EUV litografie kombinujúci vákuum, manipuláciu s vodíkom a regeneráciu na zlepšenie efektivity, času prevádzkyschopnosti a nákladov.