Výrobky pre polovodičový priemysel
Aktuálne novinky
Suché vákuové čerpadlo Ganymede do náročnej prevádzky pre polovodičové aplikácie
Suché vákuové čerpadlá Nextgen pre náročné polovodičové procesy, zníženie TCoO, zvýšenie času prevádzkyschopnosti a podpora cieľov udržateľnosti výroby.
EUV Vizeon
Integrovaný systém subfab EUV litografie kombinujúci vákuum, manipuláciu s vodíkom a regeneráciu na zlepšenie efektivity, času prevádzkyschopnosti a nákladov.