Wir unterstützen die Produktivität unserer Kunden
Maximale Sub-Fab-Verfügbarkeit
In der schnelllebigen, vernetzten Welt von heute ist es uns bewusst, wie wichtig es ist, die Produktivität unserer Kunden zu maximieren. Wir erreichen dies, indem wir sicherstellen, dass ihre Technologie zuerst auf dem Markt ist, und gleichzeitig weiterhin bestrebt sind, die Risiken und Umweltprobleme zu reduzieren, die der Fertigungsprozess mit sich bringen kann.
Die integrierten Lösungen von Edwards bewerten die gesamten Anforderungen des Kunden an das Vakuum- und Abgasmanagement basierend auf unserer globalen Erfahrung mit den modernsten Technologien in der Branche. Unsere integrierten Systeme bieten die Vorteile von Produkt- und Service-Wiederholbarkeit sowie Platzersparnis. Sie ermöglichen höhere Produktivität, Sicherheit und Umweltverträglichkeit. Unsere integrierten Systeme bieten außerdem die direkten Vorteile von schnellerer Installation und Einrichtung, Einsparungen bei der Skalierung und verbesserter Sicherheit.
EZENITH bietet ein fortschrittliches Portfolio an Systemen, die voll integrierte Vakuum- und Abgasmanagementlösungen für alle Ihre Anwendungen in der Halbleiterindustrie bieten. EZENITH-Systeme sind einzigartig in ihrem Angebot:
- Prozesszentriertes Vakuum- und Abgasmanagement
- Vollständige Integration von Komponenten
- Unterstützung jeder Funktion durch eine leistungsstarke, integrierte Steuerschnittstelle
- Entwickelt für effiziente Raumnutzung – mit Einsparungen von bis zu 70 %
- Vollständige interne Verteilung, Regulierung und Überwachung von Diensten, was die Anschlüsse für Versorgungsleitungen um über 60 % reduziert und gleichzeitig einen reibungslosen und zuverlässigen Betrieb gewährleistet.
Mit nur einer Pumpe und einem Abgasreinigungsgerät sind Sie noch nicht bereit für den Prozessstart. Sie müssen den Pumpenauslass (und wo erforderlich Ihre Durchlauferhitzer) anschließen, Ihre Wasser-, Spül- und elektrischen Leitungen verlegen und dann alle Steuersignale vorbereiten. Sie müssen zudem Doppelgehäuse und Gasleckerkennung berücksichtigen und überlegen, wie Sie nach der Werkzeugwartung Leckprüfungen durchführen möchten. All dies kostet Zeit und Geld. Wir verstehen das Problem, deshalb haben wir integrierte, prozessspezifische Lösungen entwickelt.
Unsere integrierten Systeme sind bereits für die meisten Halbleiterprozesse vorentwickelt. Die Auslassheizungen sind auf die richtige Temperatur eingestellt, um Kosten zu minimieren und die Betriebszeit zu maximieren. Wir platzieren Leckprüfanschlüsse und Schieberventile dort, wo sie benötigt werden. Das gesamte System ist geschlossen, und vor allem müssen Sie jeweils nur eines der benötigten Betriebsmittel bereitstellen. Wir leiten Gas, Wasser, Elektrizität und Steuersignale dorthin, wo sie benötigt werden, und schaffen ein einsatzbereites System.