Yarı İletken Uygulamaları için Ganymede Ağır İş Kuru Vakum Pompası
Ağır hizmet tipi yarı iletken prosesleri için yeni nesil kuru vakum pompaları, TCoO'yu azaltır, çalışma süresini iyileştirir ve fabrika sürdürülebilirlik hedeflerini destekler.
Verimliliği, çalışma süresini ve maliyeti artırmak için vakum, hidrojen işleme ve geri kazanımı bir araya getiren entegre EUV litografi alt fabrika sistemi.
