Ganymede nagy igénybevételre tervezett száraz vákuumszivattyú félvezetőipari alkalmazásokhoz
Nextgen száraz vákuumszivattyúk nagy igénybevételt jelentő félvezetőipari folyamatokhoz, csökkentve a TCoO-t, javítva az üzemidőt és támogatva az üzem fenntarthatósági céljait.
Integrált EUV litográfiai algyári rendszer, amely a vákuumot, a hidrogénkezelést és a visszanyerést kombinálja a hatékonyság, az üzemidő és a költségek javítása érdekében.
