Bomba de vácuo a seco para trabalhos pesados Ganymede para aplicações de semicondutores
Bombas de vácuo a seco Nextgen para processos de semicondutores de serviço pesado, reduzindo o TCoO, melhorando o tempo de atividade e apoiando as metas de sustentabilidade da fábrica.
Sistema integrado de subfábrica de litografia EUV que combina vácuo, manuseio e recuperação de hidrogênio para melhorar a eficiência, o tempo de atividade e o custo.
